チラーの製品一覧

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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減!】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録!ワークに応じた無料相談、テストも受付中!

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半導体製造工程のプラズマエッチングに最適!消費電力最大93%削減!騒音・振動も防止!

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フロンガス不使用のペルチェチラー 半導体製造工程のプラズマエッチングに好適!

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フロン対策はお済みですか?『ThermoRack1201』

『ThermoRack1201』は、素早い温度応答性と±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきを改善。 主要エッチャーメーカーの製品に対応。 温度制御部は7つのペルチェデバイスで構成され、1個のデバイスに 不具合が起きても、約85%の能力を維持したまま稼働します。 詳しくは、下記の関連製品ページまたはPDF資料をご覧ください。

コンパクト!消費電力大幅削減!低騒音・低振動!フロンガス不使用!ペルチェ冷却チラー

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フロン対策はお済みですか?ペルチェチラー『ThermoCube』

冷却能力200W、300W、400W、600Wの『ThermoCube』は、ささやきのような静粛性・ 低振動で、室温付近でさえも±0.05℃温度制度を維持します。 コアとなる電子温調モジュールは20万時間を越える寿命をもち、世界中の電源に 対応のユニバーサル電源を搭載。 オプションを多数用意しており、様々なカスタマイズが容易なデザインとなっています。 フロンガス不使用で環境に配慮したチラーです。 詳しくは、下記の関連製品ページまたはPDF資料をご覧ください。

フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適!消費電力最大60%削減!騒音・振動も防止!

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超小型!静かな動作音!正確な温度コントロール!ペルチェ冷却チラ- 

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MOCVD向けに環境に優しくコストパフォーマンスに優れた画期的な商品が登場しました!

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薬液の流路チューブをダイレクトに温度制御するので従来の間接温調方式に比べ95%もの電力消費を削減できます!

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省エネルギー設計の新型温度制御システムの採用により、省電力と低騒音を実現します。

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超小型!低振動・低騒音・高い温度安定性。小型レーザー装置の温度制御に最適なペルチェ温調チラ- 

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トリプルインバータで抜群の省エネ効果!いつでもどこでも簡単に冷却水をご用意できます!※「アセトン代替」洗浄剤サンプル進呈中!

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代替フロン不使用の環境配慮型で、高い冷却能力も実現。メンテナンスも簡単

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水風呂に欠かせないチラーについて詳しく解説します!

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1台のチラーで2系統を個別に温調可能!ヒーターレスによる加熱方式で消費電力17%削減

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保冷剤(PCM)を使用し、必要最低限しか内臓圧縮機の運転を行わない、圧倒的な省エネタイプの冷凍式ドライヤー!

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新冷媒R448A採用!ソフトスタートのため再起動が容易で、負荷に応じて優れた省エネ性を発揮

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インバータ増速による冷凍能力40%アップ!地球温暖化対策への新しいご提案

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業界トップクラスの能力・COPを実現!スクリュコンデンシングユニットを多数掲載

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押出シート、フィルム成形、ラミネート成形等、各種冷却ロールの水質改善(錆発生抑制)に役立ちます

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温度制御はデジタル設定!メンテナンスを簡易に行うことができる製品です

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高効率と省エネを実現!飲料工場・農園・産業プラントでの導入事例もご紹介

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静かで、振動も少ないペルチェ式チラーユニットです。

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  • ペルチェ素子
  • 冷却装置

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コンパクトな水熱源ヒートポンプ(水冷チラー)

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