カーボンヒーターの製品一覧
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本装置は、流路を有する単セル試験機としては世界最小クラスの電極面積（2cm2）を有し、種々の工夫がなされています。
- その他計測・記録・測定器
最高2,000℃まで迅速に昇温・降温が可能な小型の高温炉や、緻密な温度制御でムラなく加熱できる実験用ヒーターの導入事例をご紹介！
- 焼却炉・焼却装置
「いざ！という時に動く発電機」の為の負荷試験を実施します！発電電圧異常の発見に貢献します！
- 試験機器・装置
- その他の各種サービス
- 公共試験/研究所
従来製品の２倍以上の赤外線を放射するヒーターで乾燥の効率化を実現！測定誤差を解消する予備加熱モード搭載の赤外線水分計
- 食品試験/分析/測定機器
- その他計測・記録・測定器
最高使用温度2000℃ セミオート制御 超高温実験炉（カーボン炉、タングステンメタル炉） 小型・省スペース実験炉
- 加熱装置
- アニール炉
- 電気炉
多元マルチスパッタリング装置【MiniLab-125】Φ8"対応 SiCコーティング 1000℃ヒーターステージ 搭載！コンパクトサイズ！
多元マルチスパッタリング装置（Φ8inch基板対応） ・3元同時成膜 + 1元PulseDCスパッタ ・RF500W, DC850W両電源を3元カソード（Source1, 2, 3）へ自在に配置変更 ・5KW PulseDC電源も搭載 → 専用カソード（4）で使用 ・基板加熱ステージ Max800℃（SiCコーティングヒーターでMax1000℃も可能） ・MFC x 3系統（Ar, O2, N2）反応性スパッタリング ・メインチャンバー RIEエッチングステージRF300W ・LLチャンバー ＜30W 低出力制御ソフトエッチング ・独自の"Soft-Ething"技術で基板バイアスにより基板のダメージを軽減 ・タッチパネル又はWindows PC操作：操作が分散せず、全ての操作をタッチパネル/PCで行うことができます。 ・装置設置寸法：1,960(W) x 1,100(D) x 1,700(H)mm ・マルチチャンバー式も製作可能です。 ●抵抗加熱蒸着・有機材料蒸着・EB蒸着・PECVDなどの混在仕様も構成可能です。
最高使用温度2000℃ セミオート制御 超高温実験炉（カーボン炉、タングステンメタル炉） 小型・省スペース実験炉
- 加熱装置
BHシリーズ【UHV対応 超高温 真空薄膜実験用基板加熱ヒーター】Max1800℃
高真空対応 多彩なヒーター材質オプション。 PVD（スパッタ、蒸着、EB等）、高温真空アニール、高温解析用基板ステージ、などに応用いただけます。 様々なご要望仕様にカスタムメイド対応致します。 【特徴】 ● 予備ヒーター素線との交換が容易 ●設置、メンテナンスが容易（M6スタッドボルト、支柱） 【対応基板サイズ】 ◉ Φ1inch〜Φ6inch 【標準付属品】 ● 熱電対：素線タイプ アルミナ絶縁スリーブ付き ● 取付用スタッドボルト 【オプション】 ● 標準外ヒーター素線（Nb, Mo, Pt/Re, WRe他） ● 基板保持クリップ ● 取付ブラケット ● 基板ホルダー ● ホルダー設置用タップ穴加工 ● トッププレート材質変更（PBN, 石英, カーボン, Inconel, 他） ● 過昇温用追加熱電対 ● ベースフランジ、真空導入端子
卓上小型サイズ実験炉・省スペース 最高使用温度2000℃！ 還元雰囲気用メタル炉も製作致します。
- 加熱装置
BHシリーズ【UHV対応 超高温 真空薄膜実験用基板加熱ヒーター】Max1800℃
高真空対応 多彩なヒーター材質オプション。 PVD（スパッタ、蒸着、EB等）、高温真空アニール、高温解析用基板ステージ、などに応用いただけます。 様々なご要望仕様にカスタムメイド対応致します。 【特徴】 ● 予備ヒーター素線との交換が容易 ●設置、メンテナンスが容易（M6スタッドボルト、支柱） 【対応基板サイズ】 ◉ Φ1inch〜Φ6inch 【標準付属品】 ● 熱電対：素線タイプ アルミナ絶縁スリーブ付き ● 取付用スタッドボルト 【オプション】 ● 標準外ヒーター素線（Nb, Mo, Pt/Re, WRe他） ● 基板保持クリップ ● 取付ブラケット ● 基板ホルダー ● ホルダー設置用タップ穴加工 ● トッププレート材質変更（PBN, 石英, カーボン, Inconel, 他） ● 過昇温用追加熱電対 ● ベースフランジ、真空導入端子
赤外線加熱・乾燥プロセスにかかわる「知っておきたいシリーズ」第4弾！赤外線ヒータをプラスチックに利用した導入事例をご紹介！
- その他ヒータ
- 加熱装置
- 内装部品
熱エネルギーの有効活用が可能！円筒形や平板などの形状の材料でも的確に加熱できます
- 加熱装置
水銀不使用！通信、信号、電源を一体型でご提案。今すぐ当社へお問い合わせ下さい！
- スリップリング
- EMC対策製品
- その他電子部品
水銀不使用！メンテナンスフリー！通信、信号、電源を一体型でご提案できます。今すぐ当社へお問い合わせ下さい！
- その他電子部品
- スリップリング
- EMC対策製品
水銀不使用！通信、信号、電源を一体型でご提案。今すぐ当社へお問い合わせ下さい！
- スリップリング
- EMC対策製品
- その他電子部品
