カーボンヒーターの製品一覧
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水銀不使用！通信、信号、電源を一体型でご提案。今すぐ当社へお問い合わせ下さい！
- スリップリング
- EMC対策製品
- その他電子部品
カタログ ＜ SEMICON J ご来場への御礼！＞
昨年末 SEMICON J 2022での当社ブースへ、多くのお客様にお越しいただき、誠にありがとうございました。 「 Partner@yourFab 」 をコンセプトに、幅広いソリューションをご紹介しました。皆様のご支援のもと、盛況のまま無事終えることができました。厚く御礼を申し上げます。 開催中に配布いたしました製品カタログを、データとしてご用意しました。ご活用いただけましたら幸いです。
フレキシブル/ストレッチャブルな基材に対応した伸縮可能な配線 インモールドエレクトロニクス（IME）向け加熱成型対応配線
- 複合材料
- その他電子部品
最高2,000℃まで迅速に昇温・降温が可能な小型の高温炉や、緻密な温度制御でムラなく加熱できる実験用ヒーターの導入事例をご紹介！
- 焼却炉・焼却装置
「いざ！という時に動く発電機」の為の負荷試験を実施します！発電電圧異常の発見に貢献します！
- 試験機器・装置
- その他の各種サービス
- 公共試験/研究所
最高使用温度2000℃ セミオート制御 超高温実験炉（カーボン炉、タングステンメタル炉） 小型・省スペース実験炉
- 加熱装置
- アニール炉
- 電気炉
4元マルチスパッタ装置 【MiniLab-S070】
Φ2inchカソード x 4搭載 同時成膜：3元同時成膜（RF150W or DC780W）+ HiPIMS（PulseDC 5KW） x 1 プラズマリレーSWでHMI画面より自在に4カソードへの電源分配・配置設定の変更が可能 MFC x 3系統（Ar, O2, N2）反応性スパッタリング RIEエッチングステージRF150W（メインチャンバー） + <30Wソフトエッチング（LLチャンバー） 基板加熱：Max500℃, 800℃, 又は1000℃（C/C、又はSiCコート） 基板回転・上下昇降（ステッピングモーター自動制御） APC自動制御：アップストリーム（MFC流量調整）又はダウンストリーム（排気側バルブ自動開度調整） デポレート・膜厚レート制御 寸法：1,120(W) x 800(D) ●抵抗加熱蒸着・有機材料蒸着・EB蒸着・PECVDなどの混在仕様も構成可能です。
従来製品の２倍以上の赤外線を放射するヒーターで乾燥の効率化を実現！「自動停止モード」「時間停止モード」の２種類の測定モード完備。
- 食品試験/分析/測定機器
- 分析機器・装置
- 試験機器・装置
最高使用温度2000℃ セミオート制御 超高温実験炉（カーボン炉、タングステンメタル炉） 小型・省スペース実験炉
- 加熱装置
- アニール炉
- 電気炉
4元マルチスパッタ装置 【MiniLab-S070】
Φ2inchカソード x 4搭載 同時成膜：3元同時成膜（RF150W or DC780W）+ HiPIMS（PulseDC 5KW） x 1 プラズマリレーSWでHMI画面より自在に4カソードへの電源分配・配置設定の変更が可能 MFC x 3系統（Ar, O2, N2）反応性スパッタリング RIEエッチングステージRF150W（メインチャンバー） + <30Wソフトエッチング（LLチャンバー） 基板加熱：Max500℃, 800℃, 又は1000℃（C/C、又はSiCコート） 基板回転・上下昇降（ステッピングモーター自動制御） APC自動制御：アップストリーム（MFC流量調整）又はダウンストリーム（排気側バルブ自動開度調整） デポレート・膜厚レート制御 寸法：1,120(W) x 800(D) ●抵抗加熱蒸着・有機材料蒸着・EB蒸着・PECVDなどの混在仕様も構成可能です。
各テナントに設置されているの屋外用暖房機を山梨県森林由来のフジガス・カーボンニュートラルLPガスへ切り替えオフセットされた事例
- その他の各種サービス
卓上小型サイズ実験炉・省スペース 最高使用温度2000℃！ 還元雰囲気用メタル炉も製作致します。
- 加熱装置
- 電気炉
- アニール炉
4元マルチスパッタ装置 【MiniLab-S070】
Φ2inchカソード x 4搭載 同時成膜：3元同時成膜（RF150W or DC780W）+ HiPIMS（PulseDC 5KW） x 1 プラズマリレーSWでHMI画面より自在に4カソードへの電源分配・配置設定の変更が可能 MFC x 3系統（Ar, O2, N2）反応性スパッタリング RIEエッチングステージRF150W（メインチャンバー） + <30Wソフトエッチング（LLチャンバー） 基板加熱：Max500℃, 800℃, 又は1000℃（C/C、又はSiCコート） 基板回転・上下昇降（ステッピングモーター自動制御） APC自動制御：アップストリーム（MFC流量調整）又はダウンストリーム（排気側バルブ自動開度調整） デポレート・膜厚レート制御 寸法：1,120(W) x 800(D) ●抵抗加熱蒸着・有機材料蒸着・EB蒸着・PECVDなどの混在仕様も構成可能です。
【FOOMA JAPAN2024出展】ラインの自動化・省力化のご提案、異物選別装置実機を用いたブース内セミナーも随時開催！
- 外観検査装置
化学プラント工場のボイラーをすべて電気化し、約1000万／月のコスト削減も成功した工場づくりとは？小冊子を進呈中！
- その他ヒータ
高耐熱・低熱膨張のカーボン特性を活かした熱処理用グラファイト製部品！【ご要望に合わせた素材や加工をご提案！】
- 加熱装置
有機蒸着源〜800℃、金属蒸着源〜1500℃、真空用 高温加熱セルとしても使用できる高性能真空蒸着ソースです。
- 蒸着装置
- 加熱装置
- 電気炉
★☆★☆【MiniLab-026】R&D開発用 小型薄膜実験装置★☆★☆
モジュラー式コンポーネント・制御機器設計による豊富なバリエーション。様々な薄膜プロセス実験への応用が可能になります。小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。 マグネトロンスパッタ（最大3元）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源 最大2、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、RFエッチングも製作可能。 グローブボックス収納タイプもございます（*要仕様協議）。 フレキシブルにカスタマイズが可能な豊富なオプション部品を揃えております。 ◉ Φ2inchマグネトロンカソード（最大3元） ◉ 抵抗加熱蒸着源フィラメント、ルツボ、ボート式（最大4極 コントローラで自動切替） ◉ 有機蒸着セル：1cc or 5cc ◉ グローブボックス搭載可能（オプション 要仕様協議） ◉ その他オプション： 同時成膜、HiPIMS、自動成膜コントローラ、特注基板ホルダ、ロードロック、基板回転/加熱・冷却などオプション豊富。 ※ まずはご要求の仕様をご連絡下さい、ご要望に合わせシステム構成致します。
【2022年11月10日(木)～12日(土)】「2022 日本ダイカスト展示会」出展のお知らせ
株式会社ＴＯＫＡＩは2022年11月10日(木)～12日(土)にみなとみらいパシフィコ横浜にて開催される「2022 日本ダイカスト展示会」に出展いたします。 本展示会は、ダイカスト並びにダイカスト関連企業による新技術、新製品、設備、機器、副資材等を広く関係者に紹介することにより、ダイカスト及び関連業界の発展に寄与することを目的としています。 ▼当社展示製品 アルミニウム溶解保持炉、マグネシウム溶解保持炉・給湯装置 皆様のご来場心より待ちしております。
カーボンが保有する優れた特性に加え、高強度・高弾性率・軽量に優れ、省エネルギー・低ランニングコスト化を実現する超耐熱構造材料！
- その他の自動車部品
- その他高分子材料
- 複合材料
省エネ効果でカーボンニュートラル、カーボンプライシング対策に！ 温室効果ガスフリーで環境問題に貢献 ！
- その他環境機器
- その他半導体製造装置
