更新日： 集計期間:2026年01月07日～2026年02月03日
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2波長による紫外線とオゾンのダブル効果で有機汚染物質を除去！
『UVオゾンクリーナー』は、ダメージフリーの乾式洗浄法で、基板に付着 している有機汚染物質を、光化学的酸化分解プロセスによって除去できます。 洗浄室内が0.02MPaの加圧状態に保持することができる安心の密閉構造です。 また、その他の機種では標準装備のオゾンキラー（オゾン分解装置）に 接続することで、外部へのオゾン漏れを防ぎます。 【特長】 ■超音波洗浄だけでは除去できなかった基板上の有機汚染物質を容易に除去 ■湿式洗浄で使用した有機溶剤も除去 ■基板表面に損傷を与えないで、有機汚染物質の除去が可能 ■薄膜の製膜が容易 ■大気圧で使用可能な、真空装置不要のドライクリーニング装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
硝子等の基板面に金、銀、ニッケル、アルミ等の金属膜を、単層あるいは多層で蒸着加工
光を反射する鏡面として利用したり、硝子と金属をハンダ付けにより一体化する際、 硝子側の接合面として活用されます。
多層塗りによる厚膜の作製！スピンコータに液だれ防止が工夫されている装置
『積層薄膜作製装置』は、化学溶液法による積層薄膜作製プロセスである、 スピンコーティング、乾燥、焼成、冷却の各工程の繰り返しをロボットを 用いて行い、多層塗りによる厚膜の作製を自動で行う装置です。 コンピュータコントロールによるプログラム設定により、スピンコーティング、 乾燥、焼成、冷却の各工程の詳細な条件設定並びに、工程の省略、 工程フローの変更、工程の保存が任意に出来るプログラムとなっております。 【特長】 ■スピンコーティング、乾燥、焼成をCPUシステムにより、任意に変更可能 ■各工程は、手動、自動、両操作が出来る ■基板形状は丸、角、両方出来る ■スピンコータに液だれ防止が工夫されている ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
素材に新たな機能を吹き込む薄膜加工技術を解説した技術資料を進呈中！各種表面処理薄膜コーティング法を掲載！試作から生産案件まで対応
東邦化研株式会社では、イオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる機能性薄膜の受託加工（コーティングサービス）を行っております。 金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、合金膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、試作・開発・研究などの少量案件から、中小ロットの生産案件まで、幅広いご要望にお応えするべく体制を整えて参りました。 機能性薄膜をご検討の際は、お気軽にお声掛けください！ 柔軟な対応と35年以上の実績をもとに、お客様のご要望にお応えします！ また、本資料では各コーティング法の特徴の他、コーティング事例やパターン形成についても掲載しています。 ご興味のある方は資料をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
グローブボックス収納可能 PVDフレキシブル薄膜実験装置 高さ570mmトールチャンバー採用 蒸着時の均一性向上に寄与
80ℓ大容積MiniLab-080チャンバーをグローブボックスベンチ内に収納可能な構造にしたMiniLab-080のグローブボックスモデル。作業ベンチを最大限活用できるスライド開閉式チャンバー、メンテナンス性を考慮した背面開閉ドアを採用。プロセス処理後の試料を大気・水分に露出せずグローブボックス内の管理された環境内で一貫した処理ができます。GB, ガス精製機はGBモデルの仕様を参照下さい。 ・最大基板サイズ：Φ11inch ・抵抗加熱蒸着源 x 最大4元 ・有機蒸着源 x 最大4元 ・マグネトロンスパッタリングカソード x 4元 ・電子ビーム蒸着 ・基板加熱ステージ（標準500℃, Max1000℃） ・プラズマエッチング/<30Wソフトエッチング
4inchウエハー対応用ナノインコーター(離型剤塗布装置)
本装置は、最大4inchウエハー基板を離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。 処理は1ワークずつ行います。 SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。
金属酸化物を何十層にも積層させる誘電体多層膜ミラーや金属ミラーなどがあります
『Mirror Coating(反射膜)』は、レーザーなどの特定波長や 可視光域を効率良く反射させることができるコーティングです。 DFC同様にIAD(Ion Assisted Deposition)を用いることにより、 吸収・散乱の少ない高反射で高品質なミラーコーティングの作製を実現。 硝子基板のみならずプラスチック基板への成膜も可能で、様々な用途や ご要望に応じて波長帯や反射率を自由に設計、ご提案することが可能です。 【主な製品】 ■プロジェクター ■BD、DVD、CD ■デンタルミラー ■美容機器反射鏡 ■車載部品 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
UV/O3クリーナー・UVオゾンクリーナー
UV-300は、フォトレジストアッシング、シリコンウエハークリーニング、クロムマスククリーニングなど各種半導体プロセスの完全ドライ処理を高濃度オゾンと紫外線照射の相互作用で効率よく行うことを目的として開発された洗浄装置です。
スパッタカソード・蒸着ソース混在型薄膜実験装置 コンパクトフレームに金属蒸着・有機蒸着・スパッタカソードを設置
抵抗加熱蒸着源（金属蒸着）、有機蒸着源（有機材料）、マグネトロンスパッタ（金属・絶縁材）、3種類の成膜コンポーネントをチャンバー内に設置、様々な薄膜実験装置に1チャンバーで対応が可能です。 ◉組み合わせは3種類 1. スパッタカソード + 抵抗加熱蒸着源x2 2. スパッタカソード + 有機蒸着源x2 3. スパッタカソード + 抵抗加熱源x1 + 有機蒸着源x1（*DCスパッタのみ） ・蒸着範囲：Φ4inch/Φ100mm ・真空排気系：ターボ分子ポンプ + 補助ポンプ（ロータリー、又はドライスクロールポンプ） ・基板回転、上下昇降ステージ ・Max500℃基板加熱ヒーター ・水晶振動子膜厚センサー ・7”タッチパネルHMI操作（’IntelliLink’ WindowsPCリモート監視ソフト付属）
蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み立てることができるセミカスタムメイド薄膜実験装置
コンパクト/省スペース、ハイスペック薄膜実験装置 下記蒸着源から組合せが可能 ・抵抗加熱蒸着源 x 最大4 ・有機蒸着源 x 最大4 ・電子ビーム蒸着 ・2inchマグネトロンスパッタリングカソード x 4 ・プラズマエッチング：メインチャンバー、ロードロックチャンバーのいずれでも設置可能 【スモールフットプリント・省スペース】 ・デュアルラックタイプ（MiniLab-070）：1200(W) x 590(D)mm 【優れた操作性・直観的操作画面】 Windows PC、または７”タッチパネル。熟練度を問わない簡単操作、且つ安全に最大限配慮しております。
屋内と屋外の両環境下で使用可能！"クリスタルコート"の適用について各分野での事例をご紹介
当社で取り扱う、機能性コーティング『クリスタルコート』は 簡便な作業手順で塗布でき、防蝕・防水・ガス遮断・塩害対策と 木質の劣化の抑制に効果を発揮します。 当資料では皆様の参考になるべく、その適用について各分野での事例を掲載。 「什器・電気製品の塩害の現状」や「スマホの基板の腐食とレンズの劣化」 など写真でご紹介しております。 ぜひご一読ください。 【掲載内容(抜粋)】 ■機能性コーティング クリスタルコートの役割 ■塩害の現状 ■塩害による被害 5つの具体例 ■什器・電気製品の塩害の現状 ■スマホの基板の腐食とレンズの劣化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カレット・粘着物を強力除去！パネル反転機構を設置したテープ研磨付き洗浄装置
当社では、前後装置メーカーとの連携による装置の 新規事業を展開しております。 既開発装置として「テープ研磨付き洗浄装置」があり、従来のブラシ洗浄のみでは 落としきれなかったカレット・粘着物をより強力に除去します。 パネル反転機構を設置し、パネル表裏のテープ研磨が可能なほか、テープや ブラシ等の消耗部品のメンテナンスが容易です。 【特長】 ■2流体、高圧シャワー、特殊ブラシ等を組合せる事も可能 ■アンローダーにより、偏光板貼付装置とのドッキングが可能 ■ローダーにより、カセット・トレイからの自動供給が可能 ■確かな技術力かつ低コストを実現 ■デモ機によるテストが可能 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
OS-50,SiO2(E),SURFCLEAR100によるテクニカルデータ配布中！
現在、薄膜の利用は実にさまざまな産業の分野に及んでいます。 レンズ類の反射防止膜、ミラー、液晶ディスプレイパネル、等々。 それらの源となる材料、それが蒸着材料であり、多種多様な目的に 応じて多くの種類・形状・サイズのものが使用されます。 当資料では、水・油汚れを簡単に落とすことができるフッ素コーティング用材料 「SURFCLEAR 100」や、「OS-50」「SiO2(E)」によるAR+AFコーティングに 関するテクニカルデータを掲載しています。 【掲載内容】 1-1. 膜構成 1-2. 成膜条件 ［OS-50 ］ 1-3. 成膜条件［SiO2(E) ］ 基板より1層目および3 層目 1-4. 成膜条件［SiO2(E) ］ 基板より5層目 1-5. 成膜条件 ［SURFCLEAR 100］ 2-1. 分光特性 2-2. 水に対する接触角評価 ※詳しくは、当社ホームページのお問合せフォームよりお気軽にお問合せください。
エッジ部分まで均一に絶縁膜形成！薄膜のコーティングが放熱効果バツグン
「耐熱絶縁コーティング」はポリイミド系樹脂を電着塗料化しているため、耐熱性・耐薬品性に優れています。エッジ部分まで均一に薄い絶縁膜を形成し数μｍ～40μｍのコーティング膜が放熱効果を損ないません。基板温度は65℃から50℃への低下実績があります。電子、半導体業界など製造業で幅広く採用いただけます。 ※実例を解説したコーティング技術資料を無料プレゼント中！この機会にダウンロードください。 【特長】 ■凹凸のある複雑な形状品を薄膜で絶縁！ ■排気部品装置に付与する事で耐酸性を有し硝酸ガス等による腐食を防止！ ■水洗しながらのコーティングでゴミ、ホコリ対策が可能！ ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
独自のスパイラル構造により飛散を極小化！見切りが鮮明で、マスキングレスコーティングを実現
『SCシリーズ』は、中粘度の液剤を希釈無しで吐出可能な スパイラルコーターです。 自動車部品にメタリック塗料を塗装、基板に防湿剤を塗布といった 様々な用途に適用可能。 また、スパイラルコーターを搭載している「卓上型コーティング装置」 もご用意しております。 【特長】 ■中粘度の液剤を希釈無しで吐出可能(Max.1、500mPas) ■無溶剤や水系の液剤に対応可能で、VOC排出削減に貢献 ■ナノレベルの薄膜形成が可能 ■塗着効率90％以上を実現し、塗装ブースが不要 ■スパイラル噴霧技術により、凹凸面にも均一塗装が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
事前に粘着障害を防止！ACFテープ貼付治具にトシカルSコーティングを施した事例をご紹介
こちらのLSIメーカー様では、これまで熱硬化性エポキシ樹脂系接着剤を塗布した テープ(ACFテープ)を利用してフィルム基板を生産する際に、熱転写させた接着剤が はみ出して治具に付着してしまうことに悩まれていました。 従来はテフロンコーティングを採用されていたが、粘着障害は解決されず その効果には満足されていなかったそうです。 そこで当社にご相談があり、「トシカルS TS-1310」を採用。コーティング後は、 粘着障害が無くなり生産性と品質向上・歩留まりの向上に大きく貢献しました。 【概要】 ■お客様：LSIメーカー様 ■対象：半導体基板製造工程 ■施工：トシカルS TS-1310 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
きれいな景色をクリアなままで。ゴミ、ホコリをよせつけないコーティングです。
帯電防止コーティングはホコリを寄せ付けず、布拭き等においても発生する静電気をおさえることで、ホコリの再付着を防止できます。 防汚コート、反射防止膜、フィルター等との組み合わせでメンテナンス性を向上させる等のカスタマイズ設計が可能です。 また、樹脂材への低温加工も可能です。 ご希望の波長に応じて、設計、ご提案いたします。 【特徴】 ○基板を帯電させないことで、埃などを付着させにくくする ○反射防止膜や多層膜フィルタの分光特性を損なうことなく、 帯電防止効果を得ることができる ○樹脂基板への成膜も可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
パネル製造工程の保護フィルム剥離と洗浄の一体化による効率化とコスト低減を実現
当社では、前後装置メーカーとの連携による装置の 新規事業を展開しております。 既開発装置として、従来の人手による保護フィルム剥離工程を機械化することにより 人件費を削減する「保護フィルム自動剥離付き洗浄装置」がございます。 人手と同じようにコーナーより剥離し、なおかつ折れ目なく綺麗に剥離することが 可能なほか、洗浄部は2流体、高圧シャワー、特殊ブラシなど、様々な方式の洗浄ツールを 組合せることもできます。 【特長】 ■人件費を削減 ■洗浄装置との連結により作業効率（生産能力）の向上 ■様々な方式の洗浄ツールを組合せることも可能 ■カセット・トレイからの自動供給・収納が可能 ■デモ機によるテストが可能 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
誘電特性に優れ、エレクトロニクス機器・部品の保護に好適！超薄膜で寸法変化や重量増がほとんど気にならない基板コーティングです。
『パリレンコーティング』は、金属、樹脂、エラストマー、プラスチック、 セラミック、ガラスなど、真空環境下で安定した物質であればさまざまな基材 の表面に適用可能なコーティング剤です。 基材の角部や隙間、多層構造のエレクトロニクスパッケージの内部など、 さまざまな表面上で均一な被膜を形成します。 極薄なので、コーティングによる寸法変化や重量増もほとんど無視でき、 重さが問題になる部材にも問題がありません。 【特長】 ■優れた絶縁性 ■薬品および水に対する優れたバリア性 ■生体適合性および生物学的安定性に優れた保護特性 ■全ての表面を覆う極薄のコンフォーマルコーティング ■優れた隙間浸透力と層間浸透性 ■短時間使用で最高450°Cにも耐える耐熱性 ■優れた紫外線耐性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ISOクラス5規格に準拠したクリーンルームで製造！物理的で機能的な品質管理
『アミノシランコーティング』は、表面に形成したアミン基とマイナスに 帯電したDNA骨格のリン酸基とがイオン付着により結合するコーティングです。 非常に短いアミノシランを使用することで、一般的なアミノシランコート基板に 比べて高い信号感度と非常に低いバックグラウンドノイズ信号を実現。 また、ISO規格のクラス5クリーンルーム環境で標準化された工程を使用し、 厳しい品質管理システムを適用して製造しています。 【特長】 ■当社が最適化した独自の薄膜形成プロセス ■ロット内、ロット間のどちらにおいても、優れた再現性を実現 ■物理的で機能的な品質管理 ■ISOクラス5規格に準拠したクリーンルームで製造 ■診断会社のニーズに合わせた関連プロセスを準備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
医療用途・光学部品に！イニシャル、ランニングコスト低減ができるプラズマCVD装置
『ダイヤモンドライクカーボンの成膜装置』は、熱陰極PIG(ペニング イオンゲージ放電形式）プラズマCVD装置です。 低温かつ高真空での処理を可能とし､硬度と平滑性に優れた DLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜の形成を実現。 他方式に比べ基板に入射するイオンの量とイオンのエネルギーをそれぞれ 独立して制御できる為、極めて広範囲な膜質の制御が可能です。 また、東製株式会社では、超硬・ステンレス･工具鋼などへのダイヤモンド状 炭素膜の優れた特長を広くご活用いただける表面処理加工も行っております。 【特長】 ■低摩擦係数 ■対摩耗性 ■低攻撃性 ■非溶着性 ■絶縁性 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
スピンスプレー薄膜作製装置
フェライトめっきとは、室温〜90℃の水溶液中で、直接強磁性フェライト膜を作製できる革新的技術です。・1983年に東京工業大学 阿部正紀研究室で発明されて以来工夫を重ね、各種の薄膜磁性デバイス、バイオ・メディカルデバイスへの応用開発がなされ、一部は実用化されました。Fe2+イオンとNi2+などのイオンを原料として、Fe2+→Feの酸化反応を利用し各種のフェライトの薄膜作を可能にしたのが、フェライトめっき法の独創的なポイントです。最大ポイントは基板表面のOH基と金属イオンが共有結合性の化学結合を行う（単なる物理吸着ではない）ために強固な付着力が得られます。
東北大学技術のご紹介（T16-086）：簡便、低コスト、審美性あり、密着力が強い
従来、Tiを熱酸化処理させてできるのはルチル型結晶構造のTiO2であり、可視光照射下での光触媒活性は示さないと言われてきた。一方、TiO2にAuを添加することにより可視光域で光触媒活性を示すことが報告されている。 本発明は、貴金属(Au, Ag, Pt, Pd)を添加した貴金属-Ti基板を大気中で熱酸化[2]もしくはTi基板のAr-CO雰囲気で炭化後に大気中で熱酸化[3]させるという簡便かつ低コストな方法により、ルチル型もしくはアナターゼ型の結晶構造で、膜厚1 μm以下の可視光応答型の光触媒活性を有する貴金属含有TiO2コーティング膜を得ることを可能にした。その他本発明の特徴としては、表面の審美性があること、基材への密着力が強いことがある。 さらには、スパッタ等を用いて貴金属薄膜をコーティングした後のTiの熱酸化においても、貴金属含有TiO2コーティング膜を得ることができ、貴金属使用量の低減も可能である[4]。
接触角値によるぬれ性検査！切り出しのできないサンプル測定に！携帯型接触角計
『Contact Angle Gauge, ST-1』は、接触角値によるぬれ性検査が可能な 携帯型の接触角計です。 小さい接触面積により現場での素早い測定が可能で、 切り出しのできないサンプル測定に適しています。 また、電源等のユーティリティ（光源用電池除く）が不要です。 【特長】 ■接触角値によるぬれ性検査が可能 ■切り出しのできないサンプル測定に好適 ■携帯型、小さい接触面積により現場での素早い測定が可能 ■電源等のユーティリティ（光源用電池除く）が不要 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
デュアルステージコンベアを採用したtwin-air精密塗布装置 極小部品に対応したディスペンサ装置のご紹介
Twin-airディスペンサ搭載のインライン型装置 0402極小部品のはんだ塗布を実現、最小80μm デュアルステージ搭載により、Mサイズ基板 2枚を同時に高速塗布 自動アライメントによる高精度補正 ソフトウェアにより塗布サイズ・形状を部品やパッドごとに調整
ターボコート アクリル絶縁保護コーティング
絶縁保護コーティングの硬化時間を通常の1/3に短縮。 ３分で表面乾燥し次工程にとりかかる事が可能。 ブラックライトでQCチェックができるUVインディケーター配合 メチルエチルケトン、トルエン、キシレン不使用。
製品品質を向上させる プラズマナノコーティング技術
プラズマ放電による ナノコーティング技術を用い、 【防水・防湿・防滴・防油・防塵・防錆・絶縁・防硫黄】の高性能 を実現。 屋内外問わず、劣悪環境下で危惧される、 『水分、湿気、塩分、埃など』の悪条件から、お客様の製品を守ります。 その対象は、産業機器・電子機器にとどまらず、樹脂筐体・ガラスレンズと多岐に効果を発します。
プリント基板の防湿・絶縁を目的としたコーティング材を塗布！産業機器製品に対応した生産工程
モノづくり事業では『防湿コーティング』を承っております。 タッフィーをはじめ、ヒュミシールやペルガンZといった 3種類のコーティング材料に対応。 「マスキング＋スプレーコーティング」や、マスキングが不要な 「卓上自動コーティング」が可能です。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【防湿材の塗布方法】 ■自動コーティング ■スプレーコーティング ■筆や刷毛を使った手塗り ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
現場のIoT化・DX化をサポートします！
シリアル通信ポートしかもたない機器のデータをEthernet に接続できます。 Ethernet に接続することで長距離通信が可能になり、遠隔監視やクラウド接続など現場のIoT 化、DX 化にご利用いただけます。 ボード型なので機器への組込みにもおすすめです。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
50種類以上もの薄膜コーティングを1個からでも対応可能！薄膜形成ならお任せください！
薄膜とは「はくまく」「うすまく」と呼ばれ、 一般的に膜の厚みがナノレベルのコーティング（被膜）を指します。 薄膜は、真空装置の中で膜にしたい材料（金属等）を蒸発させたり叩き出したりして形成されます。 『真空蒸着法』 真空蒸着法は、真空中で膜にしたい材料（金属等）を加熱して蒸発させ、 その蒸気（粒子）が対象物に到達し、堆積していくことで膜を形成する方法です。 真空蒸着法は、気化した材料がそのまま対象物に到達するため、 対象物のダメージが少なく純度の高い膜が形成できるのが特徴です。 東邦化研株式会社では、イオンプレーティング・真空蒸着・P-CVD・スパッタによる、導電性、絶縁性、耐蝕性などの機能性薄膜の受託加工サービスを行っております。 様々な機能性薄膜を、試作から生産まで対応しております。 膜種・膜厚・成膜条件・対応基板(材質、サイズ、形状)への柔軟な対応と、35年の実績をもとに、マスキング成膜やメタルマスクでのパターン形成にも対応いたします。 お気軽にご相談下さい。
