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コーティング(膜厚) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

更新日: 集計期間:2026年04月29日~2026年05月26日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。

コーティングの製品一覧

61~90 件を表示 / 全 490 件

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切削工具 コーティング G6

色調はブルーグレー!工具の寿命に大きく影響するコーティング

当社で取り扱う、切削工具のコーティング『G6』を ご紹介いたします。 最高使用温度は1,100℃、膜厚は1-6μm。 摩擦係数(対SUJ-2、ドライ)は0.35です。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【仕様】 ■硬度(Hv0.05):3,200 ■摩擦係数(対SUJ-2、ドライ):0.35 ■膜厚(μm):1-6 ■最高使用温度(℃):1,100 ■色調:ブルーグレー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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切削工具 コーティング TiN

摩擦係数(対SUJ-2、ドライ)は0.4!黄金色の色調のコーティング

当社で取り扱う、切削工具のコーティング『TiN』を ご紹介いたします。 色調は黄金色、硬度(Hv0.05)は2,300、膜厚は1-5μm。 最高使用温度は600℃です。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【仕様】 ■硬度(Hv0.05):2,300 ■摩擦係数(対SUJ-2、ドライ):0.4 ■膜厚(μm):1-5 ■最高使用温度(℃):600 ■色調:黄金色 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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切削工具 コーティング LATUMA

バイオレットグレーの色調!1-6μmの膜厚のコーティングをご紹介

当社で取り扱う、切削工具のコーティング『LATUMA』を ご紹介いたします。 摩擦係数(対SUJ-2、ドライ)は0.25、1,100℃の最高使用温度。 硬度(Hv0.05)は3,000です。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【仕様】 ■硬度(Hv0.05):3,000 ■摩擦係数(対SUJ-2、ドライ):0.25 ■膜厚(μm):1-6 ■最高使用温度(℃):1,100 ■色調:バイオレットグレー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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表面処理『AS-F』PVDコーティング

離型不良・摺動不良・耐食不良でお困りの方に朗報!当社オリジナルの開発膜

『AS-Fコート』は、自社開発の専用炉を使用し、面の平滑さに優れているスパッタ方式により、 膜を結晶のないアモルファス状で形成し、摺動特性・離型特性・耐腐食性を 徹底的に高めました。 さらには、成膜管理を秒単位で行う特殊技術により、膜構成を変化させることで 密着力を高め、耐久性を向上させました。 【特長】 ■当社オリジナルの開発膜 ■得意分野:摺動・離型・耐腐食 ■最大0.7~20μmの膜厚制御による精密部品対応 ■長尺専用炉による大幅コストダウン ■低温処理で銅・アルミにも製膜可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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S-PVDコーティング (TiN厚膜)

TiNの耐衝撃性、耐摩耗性をさらに向上させた当社のロングヒット商品!

『S-PVDコーティング(金型用TiN)』は、TiNの持つ金属安定性に着目し、 当社が独自に開発したコーティングで、高硬度と厚膜化を両立させ、 金型の長寿命、高面圧に対応します。 また、当社のノウハウによりTiNのHv2,300を超えるHv2,600の硬度向上を実現。 安定性に優れたTiNの特性を活かしつつ、耐衝撃性、耐摩耗性向上に貢献します。 【概要】 ■色:金色 ■皮膜硬度:Hv2,600 ■耐熱温度:550℃ ■摩擦係数:0.45 ■処理温度:500℃以下 ■膜厚目安:4~6μm ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【非粘着性表面改質加工】トシカルS TS-1310コーティング

RoHS指令・PEACH規則をクリア!未加硫ゴムが全く付着しない地球環境に配慮したグレード

『トシカルS TS-1310コーティング』は、従来のTS-1000コーティングの 長所である非粘着性能はそのままに寸法精度を大幅に向上させたタイプです。 未加硫ゴムに対し越した非粘着性を発揮。膜厚は10μm以下、表面粗さは Rz10μm程度に仕上げられます。 地球環境に配慮し半導体や液晶などの電子部品製造分野にも安心して お使いいただけます。 【特長】 ■未加硫ゴムに対し越した非粘着性を発揮 ■導電性加工に付き、静電気障害を起こさない ■地球環境に配慮しRoHS指令・PEACH規則をクリア ■寸法精度を大幅に向上 ■膜厚は10μm以下、表面粗さはRz10μm程度に仕上げられる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【無料進呈】生産設備の刃物トラブル防止!非粘着・薄膜コーティング

【お試しセット進呈】粘着フィルムやテープの切断など生産設備で起こる刃物への粘着トラブル。刃のための非粘着・離型コーティングで解決

生産設備の”切断刃”に粘着剤がくっついて、切れ味を損なったり、製品を汚したりするトラブルはありませんか。 べたつくものや粘着剤のついたものを切る刃物には、『くっつき防止対策』をしないと、収益に悪影響を及ぼします。 【具体的な悪影響とは】 ■自動化の妨げ 工程の自動化には、人の手を必要としないことや連続が欠かせません。 刃物に粘着物が付着するような現象が起きている場合、そのラインを自動化するのは難しくなります。 ■清掃回数の増大 刃物の清掃が頻繁に必要な場合、想定時問内に生産ができないなど生産効率の低下します。 また、作業時問の増加による残業などのコスト増、さらには作業者の安全性への懸念もふくらみます。 ■製品への付着、製品汚れ 刃物についた粘着剤や材料が次にカッ卜する製品に付着すると不良品となったり、後工程での修繕が必要になったりします。 また刃物の切れ味が悪くなることで、カット形状が乱れて問題になる場合もあります。 吉田SKTにはそのようなトラブルを解決できるコーティングがあります。 ▽カット工程カイゼンの事例集・お試しセットのお申込はこちら▽

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【表面処理事例】リチウムイオン電池製造工程を効率化する表面処理

リチウムイオン電池製造に使用する粘着テープの付着防止。刃物に適した表面処理でメンテナンス期間延長とライン停止を防止を両立。

リチウムイオン電池の製造に使用される絶縁テープの切断設備の改善事例をご紹介します。 ■課題のポイント ・切断刃に粘着材が付着してラインが停止するトラブルが発生 ・刃物ははさみのように2枚の刃でせん断するタイプ ・ライン停止を防ぐため、頻繁に清掃を行い生産効率が低下 ■選定の経緯 ・市販の刃物を使用して表面処理を行いたい ・切れ味に変化のない表面処理の選定が必要 ・ライン停止を防止し清掃頻度を減らせるよう長寿命な表面処理が必要 ■コーティングの効果 ・市販の刃物のもともとの表面処理を剥離して加工が可能 ・粘着剤の付着がなくなり、清掃の工数を減らすことができた ・ライン停止の予防や、清掃のためのライン停止も不要になった 刃物への非粘着コーティングは、生産性向上、コストカット、安全性の向上に貢献します。 切断(カット)工程の改善事例集・お試しセットもご用意しております。 ▽カット工程カイゼンの事例集・お試しセットのお申込はこちら▽

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切削工具 コーティング OS-T(TiSi系)

最高使用温度は1,100℃!色調はカッパ・ゴールドのコーティング

当社で取り扱う、切削工具のコーティング『OS-T(TiSi系)』を ご紹介いたします。 膜厚は2-4μm、色調はカッパ・ゴールド、硬度(Hv0.05)は3,500。 摩擦係数(対SUJ-2、ドライ)は0.55です。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【仕様】 ■硬度(Hv0.05):3,500 ■摩擦係数(対SUJ-2、ドライ):0.55 ■膜厚(μm):2-4 ■最高使用温度(℃):1,100 ■色調:カッパ・ゴールド ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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  • その他金属材料
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切削工具 コーティング DIAMOND

8,000/10,000の硬度(Hv0.05)!膜厚は1-10μmのコーティング

当社で取り扱う、切削工具のコーティング『DIAMOND』を ご紹介いたします。 硬度(Hv0.05)は8,000/10,000、摩擦係数(対SUJ-2、ドライ)は0.51-0.2。 色調はブラックグレーで、最高使用温度は300℃です。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【仕様】 ■硬度(Hv0.05):8,000/10,000 ■摩擦係数(対SUJ-2、ドライ):0.51-0.2 ■膜厚(μm):1-10 ■最高使用温度(℃):300 ■色調:ブラックグレー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他切削工具
  • コーティング剤
  • 非鉄金属
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ステンレスベッセル オプション製品 テフロンコーティング

耐薬品性、非粘着性等フッ素樹脂の優れた特性をステンレスベッセルへ付加

テフロンコーティングは、耐薬品性、非粘着性等フッ素樹脂の優れた特性をステンレスベッセルへ付加することができます。膜厚30ミクロンの薄塗りから300ミクロン迄のノーピンホール仕様の厚塗りをご用途に応じて加工できます。詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

  • その他塗装機械
  • その他表面処理装置
  • コーティング

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切削工具 コーティング OS-C(CrSiN系)

工具の寿命に大きく影響!摩擦係数(対SUJ-2、ドライ)は0.4の製品

当社で取り扱う、切削工具のコーティング『OS-C(CrSiN系)』を ご紹介いたします。 硬度(Hv0.05)は2,500、最高使用温度は1,000℃。 膜厚は3-5μmで、色調はシルバーです。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【仕様】 ■硬度(Hv0.05):2,500 ■摩擦係数(対SUJ-2、ドライ):0.4 ■膜厚(μm):3-5 ■最高使用温度(℃):1,000 ■色調:シルバー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他切削工具
  • コーティング剤
  • その他金属材料
  • コーティング

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切削工具 コーティング MAYURA

コーティング材はta-C!膜厚は0.3、0.8、1.5μmの製品をご紹介

当社で取り扱う、切削工具のコーティング『MAYURA』を ご紹介いたします。 コーティング色はレインボー/レインボーブラック。 摩擦係数(ドライ)は<0.10、処理温度は<150℃です。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【仕様(一部)】 ■コーティング材:ta-C ■硬度HIT(GPa):>65 ■摩擦係数(ドライ):<0.10 ■最高使用温度(℃):>500 ■膜厚(μm):0.3、0.8、1.5 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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フッ素樹脂コーティング  「厚膜コーティングの耐食性」とは

薬品から基材を守るための耐食ライニングにも利用されるテフロン フッ素樹脂。フッ素樹脂厚膜コーティングの耐食性について解説します。

■「耐食性」とは 「耐食性」とは、腐食反応を起こしにくい・酸化しにくい性質のことです。 耐食(防食)性を必要とする防食の分野では、腐食性の程度に応じて 「軽防食」や「重防食」などの言葉を使いわけることがあります。 PDF資料では下記内容を詳しくご覧いただけます。 ーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーー 1. 耐食性とは? 2. 腐食を防ぐには 3. テフロン フッ素樹脂コーティングの耐食性 4. 耐食用途のテフロン フッ素樹脂コーティングの特徴  4-1. 塗膜にピンホールや欠陥がない  4-2. コーティング膜の厚膜化 5. テフロン フッ素樹脂コーティングの耐食性を利用してできること ーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーー ※詳しくは資料をダウンロード頂くか下記リンク先にてご覧いただけます。 ▼「薬品から基材を守る!」テフロンフッ素樹脂コーティングの耐食性を解説▼

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無機微粉末金属鱗箔コーティング『トモリック』

地球に「やさしい」無機塗料の誕生。 優れた性能は環境と共にある。

トモリックには以下のような特徴があります 1. 一液型の無機系防錆材 2. 鋼及びステンレスに塗布でき、溶融亜鉛めっきや金属溶射の補修用としても使用可能 3. 本製品のみ(単膜)で、優れた防錆効果を発揮 4. 一般塗料と同じように、スプレー・刷毛・ローラーでの塗付が可能 5. JIS K 5553 1種厚膜形ジンクリッチペイント規格試験に合格 6. NETIS(国土交通省 新技術情報提供システム)に登録〔KK-050124-V〕

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膜厚管理装置(透明インキ専用反射濃度計)『MKS-1000』

無線でパソコンに接続し、データ管理が可能な膜厚管理装置

『MKS-1000』は、これまで困難だったニスなど透明インキや 機能性塗布材等の膜厚管理が可能な透明インキ専用反射濃度計です。 LEDとレーザーセンサーが一体化し、持ち運びも可能なコンパクトサイズ。 計測結果がリアルタイムで表示されるため生産現場でも利用しやすく 操作も簡単に行うことができます。 【特長】 ■小型化・ハンディ化 ■LEDとレーザセンサーが一体化 ■無線でパソコンに接続・データ管理が可能 ■簡単操作で現場の品質管理アップをサポート ■リアルタイムで表示される計測結果 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

  • 膜厚計
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コーティング 「コーティングマシン(コータ)」

様々な塗工条件から、最適なコーティング方式の組合せをご提案します。

コーティングマシンは、紙・高分子フィルム・クロス・金属・木板の加工等、幅広い分野で利用されています。 薄膜高精度塗工を追求したコーティングヘッドの設計、コンピューター機器による計測管理(ドライヤーの温度コントロール・ウェブテンションコントロール)等により、株式会社ムサシノキカイはコーティング技術の進歩を常にリードしてきました。 数億円の費用を必要とする「コーティングマシン」、豊富な経験とデータを元に様々な塗工条件から、最適なコーティング方式の組合せをご提案いたします。 【コーティング方式の選択】 ○薄膜コーティングに向いている方式 ○厚膜コーティングに適した方式 ○塗工表面が平滑になる方式 ○高粘度の塗工が可能な方式 ○低粘度しか塗れない方式 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

  • コーター
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耐チッピング・耐摩耗性・摺動性 『OS-C2』(表記はCII)

耐チッピング性・耐摩耗性に優れた低速切削に強い【耐熱用金型】【ドライ加工用工具(低硬度材)】【低硬度材の低速切削】

OS-C2(正式表記はCII)は窒化クロム〈CrN〉にシリコンを添加した、セラミックコーティングの改良膜です。 —————————————————————— 【特長】 ■耐凝着性と耐摩耗性に優れ、Ni、Cu合金の切削や、 低速・大切込みの鉄系生材の低速加工工具・汎用加工などに最適です。 ■ウェット加工・高速ドライ加工も可能です。 【用途例】 ■ドライ加工用工具(低硬度材) ■HRC40以下の低硬度材の低速切削 ■耐熱用金型 など ※詳しい数値はカタログ、または公式HP製品情報をご覧ください

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□■□【MiniLab-090】フレキシブル薄膜実験装置□■□

グローブボックス収納可能 PVDフレキシブル薄膜実験装置 高さ570mmトールチャンバー採用 蒸着時の均一性向上に寄与

80ℓ大容積MiniLab-080チャンバーをグローブボックスベンチ内に収納可能な構造にしたMiniLab-080のグローブボックスモデル。作業ベンチを最大限活用できるスライド開閉式チャンバー、メンテナンス性を考慮した背面開閉ドアを採用。プロセス処理後の試料を大気・水分に露出せずグローブボックス内の管理された環境内で一貫した処理ができます。GB, ガス精製機はGBモデルの仕様を参照下さい。 ・最大基板サイズ:Φ11inch ・抵抗加熱蒸着源 x 最大4元 ・有機蒸着源 x 最大4元 ・マグネトロンスパッタリングカソード x 4元 ・電子ビーム蒸着 ・基板加熱ステージ(標準500℃, Max1000℃) ・プラズマエッチング/<30Wソフトエッチング

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  • スパッタリング装置
  • エッチング装置
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ZERO-I(ゼロワン)コーティング

SEAVACオリジナルPVDコーティングのZERO-I。高硬度、高耐熱、厚膜化により優れた耐摩耗性で金型の長寿命化に貢献。

自動車業界では、高張力鋼鈑(ハイテン材)や厚板化など、過酷な状況下での金型の使用が進んでおり、皮膜の剥離を誘発させる局所的弾性変形を抑制することが、課題となりました。SEAVACのオリジナルPVDコーティングのZERO-I(ゼロワン)では、その課題をクリアするとともに、TiCN、TiAlNを凌ぐHv3,500という高硬度を実現しました。

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UPLコーティング

どこをきっても均一な潤滑塗膜。優れたエッジカバー性を有しています

当製品は、水系の塗料で環境に配慮した超精密潤滑コーティングです。 低い摩擦係数に加えて塗膜の高低差が少なく、さらに優れた エッジカバー性を持つため、一般的なドライ潤滑に比べ、摺動特性が 長続きします。 ベアリング・軸受・ステアリング部品・エンジンピストンなどの用途に ご使用いただけます。 【特長】 ■優れたエッジカバー性 ■高度な膜厚制御技術 ■高潤滑・低摩耗塗膜 ■水系の塗料で環境に配慮 ■誤差の少ない膜厚形成が容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

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高機能膜 導電性ICF『ICFブルー』保護膜コーティングDLC

高機能膜 ICF ドーピング技術でDLCコーティングに導電性を付与

DLCから進化した高機能膜ICFは、導電性から絶縁性まで幅広く制御し、抵抗率の制御が可能です。静電気対策・電極保護膜には導電性ICFが有用、耐食性・低摩擦・半田付着防止・高硬度と導電性を両立できます。また、導電性ICFは、帯電防止を必要とする各種部品や耐摩耗性または耐食性が必要な各種電極へ応用することができます。従来の帯電防止コーティングの代替としてコスト削減などにつながることなどから導電性ICFは帯電防止としての機能も注目されています。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。

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テフロンコーティング『TF-8』

液晶パネル搬送機・検査機などに!工業用精密機器でガラス基材吸着に優れています

当社では、お客様のニーズにお応えするため、 使用目的・用途にあったコーティングを行っております。 『TF-8』は、吸着パットなど静電気発生を嫌う品物に 優れているテフロンコーティングです。 耐熱温度は200℃、膜厚は25~35μとなっております。 お問合せいただければ、サンプル帳の送付も可能です! 【特長】 ■工業用精密機器でガラス基材吸着に優れている ■吸着パットなど静電気発生を嫌う品物に適している ■耐熱温度:200℃ 膜厚:25~35μ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 塗料
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最強の耐摩耗・耐衝撃コーティング RESTAR

耐磨耗・耐衝撃コーティングにより重機による踏付け、落下試験による車のドアも現状保持・復元! どんな母材も最強膜で守ります!

耐過重・耐圧力! 母材が破壊しても形状保持、復元! 繰り返し圧縮にも抜群の威力! 瞬間硬化 10秒程度で効果完了。あっという間に吹き付け終了。

  • 粉末成形機
  • ゴム加工機
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耐摩耗コーティング『IRIS-CA1』

滑り性・低攻撃性・耐凝着性!コルソン材抜きプレス加工向け耐摩耗コーティングをご紹介

『IRIS-CA1』は、今までの「DLC-IRIS」でも過酷な条件のために ショット数が伸び悩んでいるコルソン材加工用のプレス金型(パンチ・ダイ)の 長寿命化対策のためにご提案させて頂いてる処理です。 特殊条件によりAlCrNを平滑な状態で「DLC-IRIS」のような面粗度に成膜可能。 膜厚が1μmで平滑な面粗度でのAlCrNの成膜を可能としましたので 精度の厳しい部品への付き回りも良好です。 (実測値でRa0.011 の鏡面テストピースへの処理にてRa0.017) 【特長】 ■ショット数が伸び悩んでいるコルソン材加工用のプレス金型(パンチ・  ダイ)の長寿命化対策 ■特殊条件によりAlCrNを平滑な状態でDLC-IRISのような面粗度に成膜可能 ■膜厚が1μmで平滑な面粗度でのAlCrNの成膜を可能 ■精度の厳しい部品への付き回りも良好 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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DLCコーティング「スリックコート」

プラズマを利用した気相合成法により合成されるダイアモンドライクカーボン(DLC)膜です。

DLCコーティング「スリックコート」は、プラズマを利用した気相合成法により合成される カーボン系薄膜(DLC(Diamond Like Carbon))です。 DLC膜の構造は、通常水素を若干含有した平滑な非晶質(アモルファス)構造で ダイヤモンド結合やグラファイト結合などを持つものと言われています。 また、DLCは、 ・作製方法によって特性が異なります。 ・膜中の水素の有無によって、膜の硬さおよび密着力が異なります。 ・使用する条件によって膜種を選択する必要があります。 ⇒是非ご相談ください。 【特長】 ○処理(生成)温度は200℃以下 ○高硬度(2500~3500HV)で耐摩耗性に優れる(スリックコート-H) ○低摩擦係数で潤滑性を持った被膜(スリックコート-H) ○処理膜厚が1μmなので高精度な製品にも利用可能(スリックコート-H) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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『バイオアーマー』車輛用抗菌・抗ウイルスSIAA認証コーティング

車のボディーの汚れ・小傷からの保護は勿論、菌・ウイルス・カビを抑制します。ガラスの保護膜に抗菌・抗ウイルス機能を付与しました!!

・一般社団法人抗菌製品技術協議会の厳しい抗菌試験を通過したSIAA認証製品 ・有機合成抗菌剤により300種類以上の菌・ウイルス・カビなどに有効 ・自動車・トラックなどの内装・外装に施工可能 ・ナノレベルのガラス成分が数珠状に繋がり膜厚を形成 ・900℃の高温から-70℃の極寒の環境でも劣化しない、圧倒的な耐候性

  • 車軸系部品
  • 内装部品
  • 電装備部品
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ICF導電コーティング(ICF−DT)

ICF導電コーティング(ICF−DT)

新たなドーピング技術により従来絶縁性であった DLCコーティングに導電性を付与した導電性ICFを開発! 『ICF導電コーティング(ICF−DT)』 従来では不可能であった高硬度と導電性の両立に成功! ■□■仕様■□■ ■抵抗率:10(−2)〜10Ω・cm(4深針法) ■硬度:10,000〜2,500HV(ナノインデンテーション法) ■摩擦係数:0.1〜0.25(ボールオンディスク法) ■膜厚:標準0.1〜2μm ※上記の値は、石英ガラス上における実験値データです。   コーティング品の形状・材質等で仕様は若干変更となります。  また、上記製品は特許申請済み品 ■□■特徴■□■ ■適応材質   Siウエハ、超硬合金・SKH・SKD・SUJ2・  SUS、ガラスなどの基材により中間層の成膜が必要 ■コートサイズ   φ100×100mm(1面のみ)   ※サイズ要相談 ■詳細は、お問い合わせ下さい。

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フッ素樹脂コーティング「コーティングによる、なじみ・かじり防止」

ケーシングとのなじみ、緩衝作用目的のふっ素樹脂コーティング!

ふっ素樹脂コーティングの持つ、耐熱性・緩衝性・防錆性を利用し、 仕上げ寸法の調整に使用されるケースについて紹介します。 「エアコン用コンプレッサー」では、約80μmのコーティング加工をすることにより、かじり防止となっています。 「スーパーチャージャー」では、800μm以上の膜厚でコーティング加工をすることにより、なじみ、かじり防止を実現しています。 【実用例】 ■エアコン用コンプレッサー ・約80μmのコーティング加工を行います。コーティング後にコーティング膜の切削加工をするため、塗膜内部に欠陥のないコーティング膜となっています。 ■スーパーチャージャー ・800μm以上の膜厚を実現しています。 ・ブローチ加工性を考慮した材料開発も行っています。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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□■□【MiniLab-080】フレキシブル薄膜実験装置□■□

蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。 高さ570mmトールチャンバー採用 蒸着時の均一性向上に寄与

80ℓ容積 400(W)x400(D)x570(H)mm D型ボックスチャンバーで構成されるML-080は、070と同等の構成で更にチャンバーを高くすることによりTS距離調整範囲が長く、大口径基板での蒸着時の膜均一性が向上、真空蒸着に最適なモデルです。ロードロック機構も追加できるML-070の上位機種。070同様に、コンパクトながら抵抗加熱蒸着(金属/絶縁物/有機材料),EB蒸着, RF/DC/PulseDC兼用マグネトロン式スパッタ, RIEプラズマエッチング, アニールなどの幅広い目的に対応。 ・最大基板サイズ:Φ11inch ・抵抗加熱蒸着源 x 最大4元 ・有機蒸着源 x 最大4元 ・マグネトロンスパッタリングカソード x 4元 ・電子ビーム蒸着 ・基板加熱ステージ(標準500℃, Max1000℃) ・*プラズマエッチング/<30Wソフトエッチング *プラズマエッチングはメインチャンバー、ロードロックチャンバーいずれも設置可能

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