エッジグリップチャック
裏面処理済みの接触不可のウェーハ等搬送用チャックです。
搬送時にウェーハのセンタリングが可能なため、落とし込みのステージなどへの搬送に適しています。 ウェーハの前後方向をエアシリンダによりガイドを前後させ保持します。 ウェーハの裏面を接触する事なく、ウェーハの外周を挟み保持 外周を挟む事により、ウェーハのセンタリングが可能 高速搬送が可能 ガイドの動作量によってウェーハの有無を確認
- 企業:株式会社ジェーイーエル
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2025年06月18日~2025年07月15日
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裏面処理済みの接触不可のウェーハ等搬送用チャックです。
搬送時にウェーハのセンタリングが可能なため、落とし込みのステージなどへの搬送に適しています。 ウェーハの前後方向をエアシリンダによりガイドを前後させ保持します。 ウェーハの裏面を接触する事なく、ウェーハの外周を挟み保持 外周を挟む事により、ウェーハのセンタリングが可能 高速搬送が可能 ガイドの動作量によってウェーハの有無を確認
反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適しています
反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハや薄物ウェーハの搬送に適しています。 チャック本体は高純度アルミナセラミックスを使用し、ワーク吸着面のみに多孔質セラミックスを使用しています。 平均細孔径20μmの気孔径を有している為、従来の吸着面に1.5mm程度の溝を掘って吸着するチャックと比較し、溝部分に集中する吸着圧力を分散させる事ができ、薄物のワークなどの変形をおさえて吸着する事が可能です。 メッシュ粒径はグレード#100、#220、#400から選択可能です。 ワーク吸着面に導電性テフロンコーティング処理も可能です。
メタルポーラスチャック
ポーラス(多孔質体)素材に、耐久性のあるメタルポーラスを使用したポーラスチャックです。 SUS素材のポーラスを選定することで、ワークとポーラス間で導通をとることができます。
ヒーターテーブル
ボンディング工程では高温での使用になるため、その環境に耐えられるよう製作されています。 主に半導体製造のボンディング工程で使用されるポーラスチャック。 ヒート駒とも呼ばれています
ワークの輪郭が鮮明に浮かび上がる!検査工程の作業性向上に大きく貢献
『面発光ポーラスチャック』とは、吸着した状態で裏面からバックライトが 照射される機能を保有した製品です。 バックライトの代わりとしてチャック部から光を発光し、 検査工程の作業性向上に大きく貢献いたします。 その他に、光素子の信号機能評価やアライメント補助用などにも期待できます。 【特長】 ■ワークの吸着固定にバックライト機能を追加 ■用途に合わせてサイズ変更可能 ■点発光では無く全面での発光 ■明暗のバラつきが無い ■最大10万ルクスまで調光可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
吸着しながら、加熱・冷却実験が可能!!
吸着しながら加熱実験(プローブ実験、加熱耐久実験等)を行えるユニットとなります。その他、ウェーハマウンターなどにも応用が期待されています。加熱温度としては、最大で250℃の加熱ができ、冷却機能を持たせているため、大気冷却より急勾配での冷却を行うことも可能であります。
導電性新素材ガラス状カーボン!発塵がほとんどないチャック
「カーボンポーラスチャック」は、導電性を持っているので帯電しにくいチャックです。 100%ガラス状カーボンという特殊素材で構成するポーラスなので、 発塵がほとんどなく、吸着面が滑らか。 耐腐食性・耐熱性に優れていて、吸着ワークへの傷がつきにくいです。 【特徴】 ○導電性(固有抵抗 2.4×10^-2[Ω・m]) ○腐食性ガス及び液体に対する耐腐食性、耐熱性に優れている ○ガラス状カーボンを使用しているため、黒鉛のような色写りがない 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
薄形、軽量コンパクトモデルの3方爪チャックがHPシリーズとして進化しました
高把持力と繰り返し精度±0.01mmを維持しながら、ハンドリング工程の長期安定稼働に貢献します。 【チューブ内径】φ16、φ20、φ25、φ32、φ40 【動作ストローク】4、6、8mm 【業種】組立、ハンドリング、検査 など
オプションチャックを取り付けるベースになるブロックです。一辺80mmの正方形で全面研磨仕上げです。
マニュアルチャックMC65A-J本体に、三つ爪レバーチャック又は、J.A.M.オリジナルG1チャックを搭載することによりご使用になれます。 注)把持部のみの載せ替えは出来ません。
把握部本体が0~90°の角度設定ができ、チャック本体部は360°旋回可能。
●本体はステンレス鋼を採用。 ●コンパクト設計ですので、限られた加工エリアでもご使用いただけます。 ●TDC76-Jは、TDC76本体に各オプション(レバーチャック、G1チャック、フリーブロック)のいずれかを搭載することによりご使用いただけます。 注)TDC76-J本体と各オプション(レバーチャック、G1チャック、フリーブロック)の組み合わせは現合精度調整がございます。
レバーチャック仕様
●MC65A(4角形ブロック)にレバーチャックを組み合わせた仕様です。 ●寸法は一辺80mmの正方形で全面研磨仕上げです。 ●90°分割としてもご使用いただけます。 ●J.A.M.精密サインバイスと併用することにより簡単に丸物ワークの角度加工が可能です。 ●MC65A-V本体質量:1.9kg
G1チャック仕様
●MC65A(4角形ブロック)にG1チャックを組み合わせた仕様です。 ●寸法は一辺80mmの正方形で全面研磨仕上げです。 ●9 0分割としてもご使用いただけます。 ●J.A.M.精密サインバイスと併用することにより簡単に丸物ワークの角度加工が可能です。 ●MC65A-Y本体質量:2.1kg
レバーチャック搭載仕様
●把握部本体が0~90°の角度設定ができ、チャック本体部は360°旋回可能。 ●本体はステンレス鋼を採用。 ●コンパクト設計ですので、限られた加工エリアでもご使用いただけます。 ●TDC76-Vは、TDC76本体にレバーチャック(セットアップ出荷)を搭載したモデルです。 ●TDC76-V本体質量:4.5kg
最高温度300℃対応!小型ウエハ・ガラス基板用ホットプレート。
加熱工程ウエハホットチャック PH070は小型ウエハ・ガラス基板用ホットプレートです。ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱します。ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。プレートはアルミ合金、黒アルマイト処理、レザーマーキングによるガイド表示、MSAデジタル温度コントローラーにて精密温度制御が可能です。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
最高温度300℃対応!小型ウエハ・ガラス基板用ホットプレート。
加熱工程ウエハホットチャック PH050は小型ウエハ・ガラス基板用ホットプレートです。ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱します。ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。プレートはアルミ合金、黒アルマイト処理、レザーマーキングによるガイド表示、MSAデジタル温度コントローラーにて精密温度制御が可能です。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。