リフトオフ装置 - 企業3社の製品一覧

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉による高速処理・高剥離力・低消費薬液でのリフトオフを実現！

厚膜のメタル、酸化膜など、エッチングで困難な厚膜のパターニングに好適な超高圧ジェットリフトオフ装置です。超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだんだん取れづらくなってきている… そんなユーザー様の声にお応えして超高圧ジェットリフトオフ装置が生まれました！【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム（オプション） 2流体スプレーの圧力を上げて高圧ジェットと呼んでいる会社もありますが、弊社の超高圧ジェットの圧力は脅威の20MPa！使い方によってはガラスも削れます。もちろん、弊社のスピン技術と組み合わせて正しく使用すれば、頑固なレジストも簡単に除去できます。また、DIP処理で問題となるバリやメタルの再付着がありません！まずはデモのご検討をお願いします！

企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
価格：応相談

レジスト装置

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段取り替えなし！インチ兼用自動リフトオフ装置

【複数サイズのウエハを段取り替えなしで処理！】複数サイズ兼用装置はダウンタイムが少なく、生産性が高いリフトオフ装置を実現！

ウエハサイズ違いによる段取り替えがなく、生産性UP！製品の種類によってインチサイズが違う、将来的に大きいサイズのウエハを処理したいというご要望が大変多いです。そこで、段取り替えをしないで複数サイズ処理が可能なリフトオフ装置をご提供します。【複数サイズ兼用の例】「2・3」、「2・4」、「3・4」、「4・6」、「6・8」インチ【薄型ウェハにも対応！】高圧ジェットはウェハ（基板）が薄いと割れるのではないか？という声をよくお聞きします。弊社では厚さ120umのGaAsのリフトオフの実績もございます（圧力3MPa）デバイスによって圧力調整なども自由に行えます。【複数サイズウエハの段取り替えがないメリット」】 ■ダウンタイムが少なく高稼働 ■段取り替え後の調整ミスによる装置、デバイスの破損を防ぐ ■自動ウエハサイズ認識で処理レシピ選択ミスの削減 ■バリの除去 ■メタルの再付着なしまずはデモのご検討をお願いします！

企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
価格：応相談

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Vertical & Spin枚葉リフトオフ装置

有機剥離にもご使用可能！サイクロンや複合金網でフィルター負荷の大幅低減できます

当装置は、リフトオフ処理時に発生する多量の剥離メタルゴミの再付着汚染等の各種問題点に対応したリフトオフ専用の枚葉処理装置です。剥離Dip槽ではダウンフロー/QDR/噴流/シャワー/側面US/揺動、洗浄乾燥Spin枚葉チャンバーでは特殊ノズル/MSリンス/HP-Jet等の組合わせで高効率で均一な短時間リフトオフや再付着汚れのない、高清浄度な基板表面が得られます。【特長】 ■有機剥離にもご使用可能 ■サイクロンや複合金網でフィルター負荷の大幅低減できる ■10年以上前から大手電子部品メーカー各社様に多数台の納入実績有り ■本システムは新型の「Spin/Dip型」や「UDS型」に代替可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。ウエハ、枚葉式洗浄装置、塗布・現象装置、基板洗浄装置、スピン洗浄装置、半導体製造装置、半導体、レジスト剥離装置、メガソニック、洗浄装置、レジスト、フォトレジスト、ウエハ洗浄装置、ウエハ洗浄機、ローダー、アンローダー

企業：株式会社ソフエンジニアリング
価格：応相談

その他洗浄機

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自動リフトオフ装置（メタル・レジスト剥離）Lift-off

高圧ジェットで驚きの剝離能力！当社独自の特殊ノズルで、枚葉による高速処理・高剥離力・低消費薬液でのリフトオフを実現しました！

物理力と化学力のW（ダブル）効果リフトオフ！ W効果リフトオフとは？・当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェット（MAX20MPa）により、物理力による剥離・溶剤にNMPやDMSOなどの有機溶剤を使用し、化学的な力で剥離また、枚葉による高速処理・高剥離力・高安定性を実現し、さらに薬液の使用量も削減できます。この他にレジスト、ポリマー、マスクの洗浄装置としても使用でき、熱処理後やドライエッチング後の頑固なレジストも剥離可能です。また、DIP処理で問題となるバリやメタルの再付着がありません。厚膜のメタル、酸化膜など、エッチングで困難な厚膜のパターニングに好適な高圧ジェットリフトオフ装置です。【特長】 ■W（ダブル）効果リフトオフによる驚きの剥離能力！ ■枚葉式によるプロセス安定性 ■リフトオフ時のバリの除去 ■再付着なし ■温調薬液のリサイクルシステム（オプション） ※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
価格：応相談

レジスト装置
その他半導体製造装置

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半自動リフトオフ装置（セミオートリフトオフ機）Lift-off

自動機よりも安く、マニュアル装置より使いやすいセミオートタイプのリフトオフ装置です。

ウェハ（基板）をセットするだけで自動で搬送・リフトオフ・リンスを行う装置です。リフトオフはASAP特殊ノズルによる高圧ジェットによりバリも除去し、メタル剥離を行います。カセット（キャリア）でセットをすることはできませんが、マニュアルと違いウェハ1枚1枚を自動搬送するので、偏心や位置ズレの心配がありません！ドライイン・ドライアウトで処理に関して作業者に薬液の付着の心配がありません。リフトオフの最大のメリットである厚膜メタルのリフトオフも高圧ジェットであれば一瞬で吹き飛ばし、リフトオフ可能！弊社の最大のメリットである温調した剥離液と高圧ジェットの組み合わせで取れずらいレジストも剥離可能です。ブラシ洗浄からの置き換え、圧力をかけて剥離をするようなプロセスを高圧ジェットなら簡単に置き換えることができます。【特長】 ■最大20MPaの高圧ジェットリフトオフ ■リフトオフ時のバリの除去 ■再付着なし ■温調と高圧JETの組み合わせ ■温調した薬液のリサイクルシステム（オプション）まずは無料デモでお気軽にお試しください！

企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
価格：応相談

レジスト装置

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枚葉式でDIP！？膨潤・高圧ジェット併用リフトオフ装置

【枚葉式でDIP並みの膨潤】リサイクル式循環ヒーターにより、高温・高剥離力・低消費薬液での膨潤・高圧ジェットリフトオフを実現！

【枚葉式の装置でDIP並みの膨潤】＋【超高圧ジェット】の組み合わせで、取れづらくなったレジストを完全除去！ ●【膨潤＋高圧ジェット】の繰り返し処理でがんこなレジストを除去可能！・高温ベークで取れづらくなったレジスト・ドライエッチング後のレジスト・微細パターンの奥深くのレジストまた、DIP処理で問題となるバリやメタルの再付着がありません！厚膜のメタル、酸化膜など、エッチングで困難な厚膜のパターニングに好適な超高圧ジェットリフトオフ装置です。 ●薄型ウェハにも対応！高圧ジェットはウェハ（基板）が薄いと割れるのではないか？という声をよくお聞きします。弊社では厚さ120umのGaAsのリフトオフの実績もございます（圧力3MPa）デバイスによって圧力調整なども自由に行えます。【特長】 ■DIP並みの膨潤！ ■MAX20MPaの超高圧ジェット ■【膨潤＋超高圧ジェット】の繰り返し処理可能！ ■バリの除去 ■メタルの再付着なし ■レジスト、ポリマー、マスクの洗浄で使用可能まずはデモのご検討をお願いします！

企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
価格：応相談

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量産向け枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

昇温した有機薬液による化学反応と、高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥離性能の高い枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置

通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した量産向けレジスト剥離・メタルリフトオフ処理装置。レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で、ランニングコストの削減にも寄与致します。 ※レジスト剥離・リフトオフだけでなく、有機洗浄装置としても転用が可能です。【特長】 ■高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ■多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減 ■枚葉化による品質・歩留り向上( クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上) ※詳しくはお問い合わせいただくか、PDFをダウンロードしてご覧ください。

企業：日精株式会社本社
価格：5000万円 ~ 1億円

高圧洗浄機

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試作開発枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

昇温した有機薬液による化学反応と、高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥離性能の高い枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置

通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発や、少量生産向けレジスト剥離・メタルリフトオフ処理装置。手狭なスペースでも設置可能なコンパクト設計（従来機から約40％コンパクト化）レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で、ランニングコストの削減にも寄与致します。 ※レジスト剥離・リフトオフだけでなく、有機洗浄装置としても転用が可能です。

企業：日精株式会社本社
価格：1000万円 ~ 5000万円

高圧洗浄機
レジスト装置

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研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

昇温した有機薬液による化学反応と高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥離性能の高い枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置【テスト可】

通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発向けメタルリフトオフ処理装置。コンパクトなTWPmから、搬送ユニットを省いてさらに小型化とコストメリットを追求したモデル。レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で、ランニングコストの削減にも寄与致します。 ※レジスト剥離・リフトオフだけでなく、有機洗浄装置としても転用が可能です。【特長】 ■省フットプリント　60%削減（当社比TWPmと比較） ■1チャンバー完結 ■薬液の裏面廻り込み防止（特許） ■液・ミストの飛散、再付着防止 ※詳しくはお問合せいただくか、PDFをダウンロードしてご覧ください。

企業：日精株式会社本社
価格：1000万円 ~ 5000万円

高圧洗浄機
その他半導体製造装置
レジスト装置

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