【分析事例】素子分離領域の歪解析
NBD：Nano Beam Diffractionによる微小領域の歪解析
NBD法では電子線が試料中で回折する角度（電子回折スポット位置）の変化から、格子歪に関する知見を得ることができます。任意の晶帯軸入射方向で、デバイスパターンに合わせた測定が可能です。 素子分離領域（LOCOS周辺）のSi基板について測定した結果、熱処理温度・結晶方向によって歪量が異なっていることが確認できました。
- 企業：一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- 価格：応相談
回折装置 - メーカー・企業11社の製品一覧とランキング
更新日： 集計期間:2025年12月24日～2026年01月20日
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回折装置のメーカー・企業ランキング
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- サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社／Thermo Fisher Scientific K.K. 東京都/試験・分析・測定
- 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST 東京都/試験・分析・測定
- 株式会社大同分析リサーチ 愛知県/サービス業
- 4 スペクトリス株式会社 マルバーン・パナリティカル事業部 兵庫県/試験・分析・測定
- 5 東芝ナノアナリシス株式会社 神奈川県/試験・分析・測定
回折装置の製品ランキング
更新日： 集計期間:2025年12月24日～2026年01月20日
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- ARL X’TRA Companion X線回折装置 (XRD) サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社／Thermo Fisher Scientific K.K.
- EBSD 主要な解析手法 株式会社大同分析リサーチ
- 卓上型X線回折装置（XRD） Aeris（ エアリス） スペクトリス株式会社 マルバーン・パナリティカル事業部
- 4 【分析事例】IGZO 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- 5 ［XRD］X線回折法 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
回折装置の製品一覧
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［ED］電子回折法
EDは、電子線を試料に照射することで得られた回折パターンから結晶構造を調べる手法です
EDは、電子線を試料に照射することで得られた回折パターンから結晶構造を調べる手法です。 ・物質の結晶学的情報が得られます。 透過電子顕微鏡の場合、単結晶では規則正しく並んだ回折斑点(スポット)、多結晶では同心円状の円環、非晶質ではブロードな円環状の電子回折図形となります。 ・透過電子顕微鏡で観察される微小領域の結晶構造を調べることができます。 ・結晶構造とEDX法での元素分析結果とを組み合わせることで、結晶性を有する物質を特定することも可能です。
- 企業：一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- 価格：応相談
【分析事例】IGZO膜の局所結晶構造解析
電子回折で結晶性・配向性を連続的に評価
IGZO膜はディスプレイ用TFT材料として研究開発が進んでいる材料です。 薄膜中の結晶構造の有無はTFT特性や信頼性に影響する可能性があり、デバイス中における局所的な結晶評価が必要になります。 TEMの電子回折測定を用いてIGZO膜中の結晶構造を連続的に評価した事例をご紹介します。
- 企業：一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- 価格：応相談
【分析事例】XRDを用いた負荷印加前後の金属材残留応力測定
非破壊で引張・圧縮応力を定量することが可能です
残留応力測定は部材が様々な応力条件下に耐えられるかを調べる重要な方法の一つです。XRD（X線回折法）では、格子面間隔を測定することで残留応力を求めることが可能です。本資料では引張試験用にアルミニウム板の左右をＶ字加工した試料を作製し、引張試験用装置で引張負荷を印加する前後の残留応力の比較および、印加後の試料で残留応力の分布を確認した事例について紹介します。なお、残留応力値はsin2ψ法を用いて求めています。 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
- 企業：一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- 価格：応相談
【分析事例】二次電池正極活物質の劣化評価
結晶構造から活物質の劣化状態を評価
リチウムイオン二次電池の正極活物質のLiCoO2は充放電時のリチウムのインターカレーションにより結晶の面間隔等が変化します。また過充電や長期サイクル試験により組成や結晶構造が大きく変化して充放電特性の低下が起きることが知られています。今回はXRDやRaman分光法を用いることでそれらを評価した事例を紹介いたします。更にin situ（オペランド）XRD測定を行うことで、各充電状態（SOC：State of Charge)の結晶構造評価も可能です。 測定法： XRD・Raman・SEM、 製品分野：二次電池 分析目的：組成評価・同定、組成分布評価、形状評価、構造評価、製品調査 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
- 企業：一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- 価格：応相談
【分析事例】X線回折・散乱技術を用いた高分子材料の階層構造評価
ラメラ等の構造解析が可能！WAXS(X線広角散乱法)でも同様の評価ができる
弊団では、X線回折・散乱技術を用いた高分子材料の階層構造評価を 行っております。 両親媒性物質が造り出す高次構造の違いにより皮膚組織に対する保湿性や 浸透性が変化することが知られており、これらの構造を把握することは 材料の機能性を評価する上で重要となります。 ～数nmの構造にはXRD(X線回折法)を、～数十nmの構造にはSAXS(X線小角散乱法)を 用いて、高分子の階層構造を評価した事例を紹介します。 【測定法・加工法】 ■［XRD］X線回折法 ■［SAXS］X線小角散乱法 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- 価格：応相談
【DL可/EBSD】線材(ばね材)の金属組織 観察
EBSDで金属組織を観察することで材料選定や材料変更の検討がスムーズに行えます
電子線後方散乱回折法EBSD（Electron Backscatter Diffraction Pattern）は走査電子顕微鏡SEMと組み合わせることで以下が可能です ・結晶系の異なる相の分離 ・分離相ごとに分布割合や結晶方位解析 本事例では EBSDによる「線材(ばね材)の金属組織観察」を紹介しています ばね材の加工工程（伸線Φ1.00mm、0.07mm）における金属組織変化を調査して、伸線後に金属組織が変化している様子を確認できました この測定技術は、金属材料選定や材料変更時の比較に大いに役立ちます ぜひお試しください なお、弊社ではEBSDとSEMに加え、TEMによる各種断面解析、XPSによる表面分析なども行っており多面的に解析分析を行えます 営業だけでなく技術者も直接対応しますので、お気軽にご相談いただければ幸いです セイコーフューチャークリエーション 公式HP https://www.seiko-sfc.co.jp/
- 企業：セイコーフューチャークリエーション株式会社
- 価格：応相談
【資料DL可/EBSD】EBSD を用いたアルミスパッタ膜の評価
電子線後方散乱回折法EBSDはアルミスパッタ膜の性能評価や下地材料の選定に役立ちます
電子線後方散乱回折法EBSD（Electron Backscatter Diffraction Pattern）は走査電子顕微鏡SEMと組み合わせることで以下が可能です ●微小領域の結晶粒の形状および方位の測定 ●基準方位に対する結晶の配向の確認 ●結晶方位差の情報から材料内部の歪の測定 本事例では 「EBSD を用いたアルミスパッタ膜の 評価」を紹介しています この測定技術は、アルミスパッタ膜の性能評価、下地選択に役立ちます 磁石の方位評価や結晶性があればセラミック材料にも応用可能です ぜひお試しください なお、弊社ではEBSDとSEMに加え、TEMによる各種断面解析、XPSによる表面分析なども行っており多面的に解析分析を行えます 営業だけでなく技術者も直接対応しますので、お気軽にご相談いただければ幸いです セイコーフューチャークリエーション 公式HP https://www.seiko-sfc.co.jp/
- 企業：セイコーフューチャークリエーション株式会社
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【資料DL可：EBSD】サマリウムコバルト磁石のEBSD 測定
SEMとEBSDによって磁石の方位分布がわかり、製品の性能や経年による変化などを把握できます。
電子線後方散乱回折法EBSD（Electron Backscatter Diffraction Pattern）は走査電子顕微鏡SEMと組み合わせることで材料の結晶方位分布を把握できます 本事例では「サマリウムコバルト磁石のEBSD 測定」を紹介しています この技術を各種磁石の性能評価、性能向上に役立てているお客様が多数いらっしゃいます ぜひPDF資料をご覧ください なお、弊社ではEBSDとSEMに加え、TEMによる各種断面解析、XPSによる表面分析なども行っており多面的に解析分析を行っております 営業だけでなく技術者も直接対応しますので、お気軽にご相談いただければ幸いです セイコーフューチャークリエーション 公式HP https://www.seiko-sfc.co.jp/
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『X線回折試験』
環境粉じんの定量分析にも最適！高温下での測定も可能なＸ線回折装置！
『X線回折装置』は、回折したX線の角度やX線強度を測定することによって、 結晶構造つまり物質名を調べる装置です。 定性分析時の回折位置や積分強度から、リートベルト解析法による物質ごとの 定量分析も行うことができます。 また、高温下（常用で室温～1300 ℃）での測定も可能です。 【試験項目】 ■結晶構造の同定、定量分析 ■結晶格子の大きさや格子ひずみ測定 ■環境粉じんの定量分析 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：コベルコ溶接テクノ株式会社
- 価格：応相談
RHEEDユニット『PHD-30K-034』
30kV対応かつコンパクトな制御電源！1Pa台まで使用可能な差動排気設計
『PHD-30K-034』は、超真空下で加速収束された電子線を基板に照射し、 表面キャラクタリゼーションを行うための反射高速電子線回析システムです。 コンパクトサイズでICF34フランジマウントの電子銃は、その小ささから 取り付けやメンテナンスが容易。 また、標準的な回折像観察に加えて、オプション追加により高圧条件下での 測定またはサンプル面内スキャン機能を実現することができます。 【特長】 ■30kV対応かつコンパクトな制御電源 ■1Pa台まで使用可能な差動排気設計 ■2段差動排気（オプション）により100Pa台でのモニター可能 ■スキャンコイル（オプション）による電子線スキャニングで、 同一条件での多数回折が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社パスカル
- 価格：応相談
高温時の物質形態変化の観察（高温X線回析測定）
測定温度の間隔を細かくすることで、⽣成する温度も知ることが可能！高温X線回析測定をご紹介
物質は、加熱や冷却により化合形態や結晶構造が変化し、高温X線回折装置に より観察することができます。 当社所有の装置では、半導体検出器による超高速（数分）の測定、 室温から1200℃までの測定などが可能。また、昇降温速度、 保持時間を設定できます。 塩化カリウム（KCl）と塩化亜鉛（ZnCl2）を混合して、温度を変化させて 測定した例では、塩化カリウム（融点776℃）と塩化亜鉛（融点365℃）から 低融点物質（K2ZnCl4）が比較的低温で生成することが判りました。 【所有装置の特長】 ■半導体検出器による超高速（数分）の測定が可能 ■室温から1200℃までの測定が可能 ■昇降温速度、保持時間を設定できる ■各種ガス雰囲気での測定が可能（腐食性ガス、有害性ガスは不可） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：川重テクノロジー株式会社
- 価格：応相談
X線回析装置のご紹介
２次元検出器や多軸ステージの導入により材料分析メニューが充実しました
この度、当社では新たにＸ線回折装置を導入いたしました。 この装置は、大型２次元半導体検出器や大型多軸ステージを搭載し、 従来に比べ高効率、高精度の分析が可能になりました。 これにより粉末を対象とした分析に加え、 金属部品の微小部測定や高配向材料（結晶方位が制御された材料） の解析など、材料分析への適応範囲が拡大しました。 ここでは、腐食調査に関する分析例や新たに測定可能になった結晶方位解析に 関する分析事例をご紹介します。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：川重テクノロジー株式会社
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XRDによるハイドロキシアパタイト顆粒の化合物同定
大気下も含め、様々な環境下での測定が可能！内部に埋もれた物質の測定も可能
当社で行う「XRDによるハイドロキシアパタイト顆粒の化合物同定」について ご紹介します。 構成元素は同じで性状の異なる化合物は数多く存在します。例えばリン酸 カルシウムと呼称される化合物は多く存在し、薬用成分としても用いられる ハイドロキシアパタイト(HAp)もその一種ですが、元素分析では原則として 化合物種までは識別できません。 X線回折(XRD)では結晶構造同定により、構成元素が同じ化合物の識別が可能です。 【特長】 ■原子の周期性を検出 ■XRDパターンのデータベースとの照合などにより、 元素分析だけでは 困難な化合物の同定が可能 ■リートベルト法が適用できる場合など、結晶相の定量が可能な場合もある ■絶縁物・有機物の測定が可能(非破壊分析) ■測定領域は、サブmm～数cm ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：東芝ナノアナリシス株式会社
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蛍光バックグラウンドを根本から解決するXRD装置 鉄含有サンプル
粉末X線回折装置XRDynamic 500は、X線管の交換と新しいシステムセットアップの完全自動アライメントを簡単に行えます
XRDynamic 500は、卓越したXRDデータ品質と最大限の効率性を実現します。粉末XRD、非大気下XRD、PDF解析、SAXSなどの最適なソリューションにより、幅広いアプリケーションをカバーする多目的プラットフォームを活用できます。 直感的な操作性と、完全に自動化された光学系のアライメントルーティンにより、初心者から熟練者まで、誰もがエラーを最小限に抑えながら、最高品質のXRDデータを迅速に収集することができます。 ラボ用装置を使った X 線回折測定は、通常、Cu-Kα 線を用いて行われます。しかし、サンプルに鉄が含まれる場合は、蛍光 X 線が原因でバックグラウンドが高くなり、サンプルからの回折強度が見えにくくなってしまいます。このようなサンプルには波長の異なる適切な X 線源を選択することで、蛍光バックグラウンドを根本から解決し、短いスキャン時間でも高品質のデータを得ることができます。
- 企業：株式会社アントンパール・ジャパン
- 価格：応相談
