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全回折パターンをリアルタイムに同時取得できる、独自のCPS検出器を搭載したX線回折装置（XRD)
卓上型のARL EQUINOX 100 X線回折装置はコンパクトな卓上型で、材料の研究開発、動的挙動解析、製薬業界のQA/QCのルーチン分析、大学などの教育機関において、迅速な分析、in situ実験、結晶相の形成と転移に関する解析などを実現します。 ARL EQUINOX 100には、独自のCPSCPS（Curved PositionSensitive）検出器を搭載しており、全回折パターン（～110°/2θ）を短時間かつ同時に測定できます。また、薄膜測定（GIXRD、XRR）が可能で、測定に応じて多種多様なアタッチメントをご用意しています。
開発から品質管理まで！さまざまな形態の試料解析を可能にした超高性能のX線回折装置
多目的X線回折装置Empyrean（エンピリアン）に搭載された新開発MultiCore Opticsは、多様なサンプルを簡単な操作で測定することを可能にしました。 1つの装置で、粉末から薄膜、ナノ材料から固形物まで、原料が持つ様々な見どころを色々な角度でとらえる多目的XRD機能を搭載！ 標準構成にいくつかのスリットや分析ソフトウェアを追加しただけの単純なものから、専用の光学系、光源、および検出器を使用したトップパフォーマンス構成に至る様々な方法でアプリケーションを処理することができます。 【特長】 ■原料、処方違いの製品評価 ■未知試料や開発品を急いで解析したい時に強力サポート ■多様なサンプルの効率的な測定に好適 ■簡単操作 ■サンプルスループット30％以上向上 ■40％以上高い感度や速度で不純物検出 ■複数の測定条件の設定ミスや漏れの削減 ■ユーザートレーニング時間を30％短縮 ※詳しくはウェブサイトをご参照下さい。
薄膜成長を調節！リアルタイムでのプロセスモニタリングのための診断ツールをご提供
『High-Pressure Reflection High-Energy Electron Diffraction(RHEED)』は、 高圧反射高エネルギー電子回折です。 PLD/PEDシステムに対してin-situにおけるリアルタイムでの プロセスモニタリングのための診断ツールを提供。 振動強度と回折による構造データから薄膜成長を調節します。 【特長】 ■振動強度と回折による構造データから薄膜成長を調節 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
最上位精度の全自動多目的X線回折装置による定性・定量分析
XRDynamic 500は、卓越したXRDデータ品質と最大限の効率性を実現します。粉末XRD、非大気下XRD、PDF解析、SAXSなどの最適なソリューションにより、幅広いアプリケーションをカバーする多目的プラットフォームを活用できます。 直感的な操作性と、完全に自動化された光学系のアライメントルーティンにより、初心者から熟練者まで、誰もがエラーを最小限に抑えながら、最高品質のXRDデータを迅速に収集することができます。 X線光学系を正しく選択すれば、XRDデータの品質を大幅に向上させ、定量・定性分析を容易にし、回折データに潜む重要な情報を見落とさずに実験を進めることができます。
XRDは、回折パターンから試料の結晶構造情報を得る手法です。
・結晶性物質の同定が可能 ・結晶子サイズの評価 (数nm～100nm)が可能 ・結晶化度の評価が可能 ・配向性の評価が可能 ・歪み量・応力の評価が可能 ・非破壊で分析が可能 保有装置の特徴 ・室温～1100℃までの加熱分析が可能 ・ビーム径100μmまでの微小部測定が可能 ・N2、He、Ar、真空での雰囲気制御が可能
昇温しながらXRD測定が可能
材料が昇温に伴って化学反応・相変化を経て結晶構造に変化が起こる場合、昇温しながらXRD測定を行うことが有効です。高温XRD測定を行うことで、硫酸銅五水和物の熱分解生成物の同定を行った事例を紹介します。測定の結果、熱分解が起こる温度で回折ピークが変化し、結晶構造が変化する様子を明瞭に確認できました。 MSTでは昇温しながらOut-of-plane XRD測定・In-plane XRD測定を行うことが可能です。
昇温過程での相転移・結晶性変化を追跡評価
Pt をSi 基板にスパッタ蒸着させた試料に対して、昇温させながらOut-of-plane XRD、 In-plane XRD 測定をそれぞれ行いました。両測定で、Pt(111) は500℃より高い温度ではピーク強度が増加し、半価幅が小さくなり、結晶化が進行していることが分かりました。 また、温度が上昇するにつれ、熱膨張によりピークが低角度側（格子間隔が広がる方向）にシフトしていることを確認できました。
EBSDで金属組織の形状変化確認と内部歪み測定を行うことで板バネ、ひげぜんまい等の曲げ加工が適切かを判断できます
電子線後方散乱回折法EBSD（Electron Backscatter Diffraction Pattern）は走査電子顕微鏡SEMと組み合わせることで以下が可能です ・断面形成後の結晶方位解析 ・金属組織の形状変化と内部歪み分布の確認 本事例では EBSDによる「線材の内部歪み測定」を紹介しています この測定技術は、板バネ、ひげぜんまい等の曲げ加工が適切か、加工条件決めに役立ちます ぜひお試しください なお、弊社ではEBSDとSEMに加え、TEMによる各種断面解析、XPSによる表面分析なども行っており多面的に解析分析を行えます 営業だけでなく技術者も直接対応しますので、お気軽にご相談いただければ幸いです セイコーフューチャークリエーション 公式HP https://www.seiko-sfc.co.jp/
EBSDにより材料の結晶構造や結晶方位の評価が可能です。
弊社では、調査目的に応じて、適切な手法によるEBSD解析が可能です。
【2021年透過測定・薄膜測定オプション登場】卓上型X線回折装置(XRD)!1％以下の低濃度の結晶相まで検出可能な高感度分析装置
スペクトリス(株)マルバーン・パナリティカル事業部は、卓上型粉末X線回折装置Aerisで、この度大きく機能を追加したリニューアルモデルを発売しました。 薄膜XRD（GIXRD）測定の機能拡張により、薄膜やコーティング材料の結晶性や残留応力の測定が可能になったほか、透過率測定機能の拡張により、サンプル前処理時の配向の影響を低減し、製剤試料のような試料でも、より正確なデータが得られるようになりました。 今回のリニューアルで、以前は床置き型の大型装置でのみ対応していた機能が搭載できるようになりました。 新しいAerisは、多結晶材料から高品質のデータをスループットよく提供することが出来る卓上型の多目的X線回折装置であり、すべての環境で使用できるように設計されています。 また従来のAerisでも定評のあったユーザフレンドリな操作性、X線暴露の心配のない安心設計、詳細な解析が可能な大型の床置き装置と同じ解析ソフトウエアは今回のリニューアルでもしっかりと引き継がれています。 製品の詳細説明、測定事例のご紹介、お見積りのご要望などは是非お問合せください！
最上位精度の全自動多目的X線回折装置
XRDynamic 500は、卓越したXRDデータ品質と最大限の効率性を実現します。粉末XRD、非大気下XRD、PDF解析、SAXSなどの最適なソリューションにより、幅広いアプリケーションをカバーする多目的プラットフォームを活用できます。 直感的な操作性と、完全に自動化された光学系のアライメントルーティンにより、初心者から熟練者まで、誰もがエラーを最小限に抑えながら、最高品質のXRDデータを迅速に収集することができます。
![[EBSD]電子後方散乱回折法](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/bef/387108007/IPROS4688397342881936146.jpg?w=280&h=280)
容易に広い領域の結晶情報を得ることが可能
EBSDを利用して結晶性試料の方位解析ができる手法です。 電子回折法より容易にかつ広い領域の結晶情報を得ることができます。 EBSP：Electron Backscatter Pattern、SEM-OIM、OIMとも呼ばれます。 ・単一結晶粒の面方位の測定が可能 ・測定領域の配向測定が可能 ・結晶粒径観察が可能 ・双晶粒界（対応粒界）観察が可能 ・特定結晶方位の抽出が可能 ・隣接結晶粒の回転角の測定が可能 ・透過法により10nm以上のグレインを評価可能
NBD：Nano Beam Diffractionによる微小領域の歪解析
NBD法では電子線が試料中で回折する角度（電子回折スポット位置）の変化から、格子歪に関する知見を得ることができます。任意の晶帯軸入射方向で、デバイスパターンに合わせた測定が可能です。 素子分離領域（LOCOS周辺）のSi基板について測定した結果、熱処理温度・結晶方向によって歪量が異なっていることが確認できました。
EDは、電子線を試料に照射することで得られた回折パターンから結晶構造を調べる手法です
EDは、電子線を試料に照射することで得られた回折パターンから結晶構造を調べる手法です。 ・物質の結晶学的情報が得られます。 透過電子顕微鏡の場合、単結晶では規則正しく並んだ回折斑点(スポット)、多結晶では同心円状の円環、非晶質ではブロードな円環状の電子回折図形となります。 ・透過電子顕微鏡で観察される微小領域の結晶構造を調べることができます。 ・結晶構造とEDX法での元素分析結果とを組み合わせることで、結晶性を有する物質を特定することも可能です。
昇温しながらの結晶化度の変化が評価可能
プラスチックは高分子鎖が規則正しく配列した結晶性部分と、高分子鎖がランダムに存在する非晶性部分が混在しています。結晶性プラスチックの機械強度・密度・熱的性質などは結晶化度に大きく影響を受けるため、結晶化度を知ることは重要になります。 今回、結晶性プラスチックであるポリプロピレン製フィルムについて、昇温しながらXRD測定を行うことで、結晶化度の変化を調査しました。
