ARL X’TRA Companion X線回折装置 (XRD)
さまざまな産業におけるルーチン分析用 卓上型 X線回折装置 (XRD)
ARL X'TRA Companion X線回折装置 (XRD)は、産業ラボのルーチンQC/QAに最適なコスト効率の高いソリューションです。堅牢かつ高精度な卓上型X線回折装置であり、先進の技術を搭載することで精度・安全性・操作性を追求し、日常の分析業務に最適です。
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さまざまな産業におけるルーチン分析用 卓上型 X線回折装置 (XRD)
ARL X'TRA Companion X線回折装置 (XRD)は、産業ラボのルーチンQC/QAに最適なコスト効率の高いソリューションです。堅牢かつ高精度な卓上型X線回折装置であり、先進の技術を搭載することで精度・安全性・操作性を追求し、日常の分析業務に最適です。
開発から品質管理まで!さまざまな形態の試料解析を可能にした超高性能のX線回折装置
多目的X線回折装置Empyrean(エンピリアン)に搭載された新開発MultiCore Opticsは、多様なサンプルを簡単な操作で測定することを可能にしました。 1つの装置で、粉末から薄膜、ナノ材料から固形物まで、原料が持つ様々な見どころを色々な角度でとらえる多目的XRD機能を搭載! 標準構成にいくつかのスリットや分析ソフトウェアを追加しただけの単純なものから、専用の光学系、光源、および検出器を使用したトップパフォーマンス構成に至る様々な方法でアプリケーションを処理することができます。 【特長】 ■原料、処方違いの製品評価 ■未知試料や開発品を急いで解析したい時に強力サポート ■多様なサンプルの効率的な測定に好適 ■簡単操作 ■サンプルスループット30%以上向上 ■40%以上高い感度や速度で不純物検出 ■複数の測定条件の設定ミスや漏れの削減 ■ユーザートレーニング時間を30%短縮 ※詳しくはウェブサイトをご参照下さい。
薄膜成長を調節!リアルタイムでのプロセスモニタリングのための診断ツールをご提供
『High-Pressure Reflection High-Energy Electron Diffraction(RHEED)』は、 高圧反射高エネルギー電子回折です。 PLD/PEDシステムに対してin-situにおけるリアルタイムでの プロセスモニタリングのための診断ツールを提供。 振動強度と回折による構造データから薄膜成長を調節します。 【特長】 ■振動強度と回折による構造データから薄膜成長を調節 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
XRDは、回折パターンから試料の結晶構造情報を得る手法です。
・結晶性物質の同定が可能 ・結晶子サイズの評価 (数nm~100nm)が可能 ・結晶化度の評価が可能 ・配向性の評価が可能 ・歪み量・応力の評価が可能 ・非破壊で分析が可能 保有装置の特徴 ・室温~1100℃までの加熱分析が可能 ・ビーム径100μmまでの微小部測定が可能 ・N2、He、Ar、真空での雰囲気制御が可能
酸化物半導体のXRD・XRR分析事例
透明酸化物半導体であるIGZO薄膜はディスプレイ用TFT材料として研究開発が進んでいます。 IGZOは膜の組成・酸素欠損の有無・結晶性で大きく特性が変化する材料でもあり、膜質との相関を考慮することが重要です。加熱温度の異なる3種類のIGZO薄膜の結晶性・膜厚・膜密度をXRD・XRRにて測定し、比較を行った事例をご紹介します。高温では結晶化が進み、膜密度が高くなっている様子を非破壊で確認することができました。
昇温過程での相転移・結晶性変化を追跡評価
Pt をSi 基板にスパッタ蒸着させた試料に対して、昇温させながらOut-of-plane XRD、 In-plane XRD 測定をそれぞれ行いました。両測定で、Pt(111) は500℃より高い温度ではピーク強度が増加し、半価幅が小さくなり、結晶化が進行していることが分かりました。 また、温度が上昇するにつれ、熱膨張によりピークが低角度側(格子間隔が広がる方向)にシフトしていることを確認できました。
TEM:透過電子顕微鏡法
透過電子顕微鏡での電子回折法は、試料への電子線の入射の仕方によって3つに分類されます。それぞれの特徴とデータ例を示します。評価対象物のサイズや分析目的に応じて、適切な手法を選択する必要があります。
EBSDで金属組織の形状変化確認と内部歪み測定を行うことで板バネ、ひげぜんまい等の曲げ加工が適切かを判断できます
電子線後方散乱回折法EBSD(Electron Backscatter Diffraction Pattern)は走査電子顕微鏡SEMと組み合わせることで以下が可能です ・断面形成後の結晶方位解析 ・金属組織の形状変化と内部歪み分布の確認 本事例では EBSDによる「線材の内部歪み測定」を紹介しています この測定技術は、板バネ、ひげぜんまい等の曲げ加工が適切か、加工条件決めに役立ちます ぜひお試しください なお、弊社ではEBSDとSEMに加え、TEMによる各種断面解析、XPSによる表面分析なども行っており多面的に解析分析を行えます 営業だけでなく技術者も直接対応しますので、お気軽にご相談いただければ幸いです セイコーフューチャークリエーション 公式HP https://www.seiko-sfc.co.jp/
温度条件による相変化・化学反応・格子定数の変化を知るために有効な手段!
当社で行う「高温XRDによる極薄膜の結晶性評価」についてご紹介いたします。 高温でのX線回折(XRD)は、各種材料の温度条件による相変化・化学反応・ 格子定数の変化を知るために有効な手段です。 添付のPDF資料にて、nmオーダの極薄膜の結晶構造の変化をIn-PlaneXRD+ 高温測定で評価した事例をご紹介しておりますので、ぜひご覧ください。 【高温+In-Plane XRD 特長】 ■極低角でX線を入射して面内方向に検出器を走査させる方法 ■入射X線は表面から深くまで入らず、かつ表面に対して 垂直な回折面のみを検出することができる ■数nmの極薄膜についても結晶の情報を得ることができる ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
二次電池の充放電過程における正極/負極材料の粒径・ひずみ量評価などの用途に!
当社で行う「リートベルト解析によるX線回折データの定量分析」 についてご紹介いたします。 X線回折データにリートベルト解析を適用することにより、標準試料を 必要とせずに、試料に含まれる結晶相の質量分率、結晶子サイズ、 均一ひずみの定量が可能です。 ご用命の際は、当社までお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■標準試料を必要とせずに、試料に含まれる結晶相の質量分率、 結晶子サイズ、均一ひずみの定量が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
In-Plane XRDによる薄膜の結晶性評価や、XRRによる薄膜の物性測定が可能!
当社で行う「薄膜X線回折(XRD)」についてご紹介します。 数nmレベルの薄膜の結晶構造同定に加え、X線反射率測定による 多層膜の膜密度・膜厚・粗さの解析も可能。 平行性の良いX線を試料に極浅い角度で入射させることで、X線の 侵入深さを極めて浅くすることができ、In-Plane XRDによる薄膜の 結晶性評価や、XRRによる薄膜の物性測定ができます。 【特長】 ■In-Plane XRD(面内回転測定) 数nmレベルの結晶性薄膜の評価 ■XRR(X線反射率測定) 膜密度・膜厚・(表面・界面)粗さの評価 ■一般的な薄膜法(θ固定2θ走査)も対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
EBSDにより材料の結晶構造や結晶方位の評価が可能です。
弊社では、調査目的に応じて、適切な手法によるEBSD解析が可能です。
【2021年透過測定・薄膜測定オプション登場】卓上型X線回折装置(XRD)!1%以下の低濃度の結晶相まで検出可能な高感度分析装置
スペクトリス(株)マルバーン・パナリティカル事業部は、卓上型粉末X線回折装置Aerisで、この度大きく機能を追加したリニューアルモデルを発売しました。 薄膜XRD(GIXRD)測定の機能拡張により、薄膜やコーティング材料の結晶性や残留応力の測定が可能になったほか、透過率測定機能の拡張により、サンプル前処理時の配向の影響を低減し、製剤試料のような試料でも、より正確なデータが得られるようになりました。 今回のリニューアルで、以前は床置き型の大型装置でのみ対応していた機能が搭載できるようになりました。 新しいAerisは、多結晶材料から高品質のデータをスループットよく提供することが出来る卓上型の多目的X線回折装置であり、すべての環境で使用できるように設計されています。 また従来のAerisでも定評のあったユーザフレンドリな操作性、X線暴露の心配のない安心設計、詳細な解析が可能な大型の床置き装置と同じ解析ソフトウエアは今回のリニューアルでもしっかりと引き継がれています。 製品の詳細説明、測定事例のご紹介、お見積りのご要望などは是非お問合せください!
最上位精度の全自動多目的X線回折装置
XRDynamic 500は、卓越したXRDデータ品質と最大限の効率性を実現します。粉末XRD、非大気下XRD、PDF解析、SAXSなどの最適なソリューションにより、幅広いアプリケーションをカバーする多目的プラットフォームを活用できます。 直感的な操作性と、完全に自動化された光学系のアライメントルーティンにより、初心者から熟練者まで、誰もがエラーを最小限に抑えながら、最高品質のXRDデータを迅速に収集することができます。
容易に広い領域の結晶情報を得ることが可能
EBSDを利用して結晶性試料の方位解析ができる手法です。 電子回折法より容易にかつ広い領域の結晶情報を得ることができます。 EBSP:Electron Backscatter Pattern、SEM-OIM、OIMとも呼ばれます。 ・単一結晶粒の面方位の測定が可能 ・測定領域の配向測定が可能 ・結晶粒径観察が可能 ・双晶粒界(対応粒界)観察が可能 ・特定結晶方位の抽出が可能 ・隣接結晶粒の回転角の測定が可能 ・透過法により10nm以上のグレインを評価可能