フッ素コート加工【レジストの付着防止に】＜フォトマスク向け＞
【受託加工】フォトマスクへ「レジストの付着防止」機能を付与！テスト可能
有機ナノ薄膜処理技術 「NANOS（ナノス）」は、特殊なフッ素系高分子をスプレー処理・真空蒸着によってステンレス（SUS)やニッケル（Ni）などの金属やガラス基材に対して、撥水性・撥油性・防汚性（耐指紋性）・滑り性（動摩擦係数）向上などの機能膜を付与することが出来る技術です。 プロセス全体の最高温度が80℃と基材への熱影響が小さく、無色・透明のため、光学特性への影響もほとんどありません。 【採用例】 ■対象：フォトマスク ■目的：レジストの付着防止 【特徴】 ○優れた撥水性・撥油性 純水：110°以上・n-ヘキサデカン：68°以上 ○薄い膜厚をコントロール可能 スプレー処理：5～10nm（任意に１nm刻みでコントロール） 真空蒸着：5～45nm（任意に5nm刻みでコントロール） ○光学特性への影響が少ない（無色・透明） ○低温プロセス 弊社の表面処理方法には、蒸着とスプレー方法の２つがございます。処理方法の指定はもちろん、お任せいただいても構いません。ぜひ一度ご相談ください！(機械本体の販売については要相談)
- 企業：株式会社カツラヤマテクノロジー T&K事業部
- 価格：応相談
