更新日： 集計期間:2025年11月12日～2025年12月09日
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堆積膜・反応生成物を塩化揮発で選択除去！母材の寸法や表面粗さを維持します
「小型塩素炉」は、Cl2/HClによる“選択塩素化→揮発"を用いた治具向け ドライクリーニング装置です。 MOCVD/エピ炉サセプタ、石英ボート・管等に付着したGaN/AlN/Si系生成物を 対象に、材料に応じた温度段階とガス組成で塩化物へ変換し、低温で揮発除去。 また、酸洗い不要で廃液負担を抑え、寸法変化・歪み・粒界損傷を最小化します。 【特長】 ■選択塩素化×段階温度：付着物を塩化物化→低温で揮発、 母材ダメージを抑制 ■乾式で廃液最小：酸洗いレス、洗浄・乾燥工程を短縮 ■寸法・表面を維持：負圧運転/酸素分圧制御で歪み・粗さ変化を抑える ■多材料対応：石英・SiC・C/C・金属(Mo/W/Al系)などの治具に適用可 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
SiC/TiC/ZrCを高温・極低酸素で“速く・再現よく"。固相炭化・複合炭化(B4C併用)や炭素供給条件の最適化を短サイクルで
当社では、真空→不活性ガスへ段階置換できる小型の「カーボン炉」を 取り扱っております。 固相炭化(粉末混合法・被覆法・浸炭)や複合炭化(B4C併用など)による 高硬度化、炭素供給条件の最適化(炭素材の種類・比率・接触状態)などの 実験・プロセスに使用可能です。 ご要望の際は、当社までお気軽にお問い合わせください。 【当社カーボン炉が選ばれる理由(一部)】 ■短時間で高温域へ ・1600-2800℃＊＊を安定到達・保持 ・炭化に効く温度目安：SiC 1600–2000℃、TiC 1500–2100℃、ZrC 1800–2300℃ ■極低酸素分圧で副反応を抑制 ・真空引き→Ar/N2へ置換 ・炉材カーボンのゲッタリングで残存酸素を低減、CO生成を抑える ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
AMS規格（米国航空宇宙規格）にも対応可能な技術でお客様に合わせてオーダーメイドで製作します。
アルミは軽くて強くて錆びにくい金属で、電気や熱を伝えやすいなど優れた特性がありますが、熱処理をすることによりその特性を強化することができます。焼鈍、T6処理（エイジング処理）なども製作可能です。サンファーネスは処理量やワークサイズ、用途、前後工程などご要望をお聞きし、周辺領域も含めて最適なアルミ熱処理炉をご提案いたします。 【特長】 ● AMS規格（米国航空宇宙用熱処理規格）に対応可能です。 ● 精密な温度分布を出すことが可能です。 ● バッチ連続式の炉の取扱いがあります。 【課題解決】こんな課題を解決しました ■ 溶体化時間を自動記入させたい ■ 建屋内に炉（溶体化+時効）が収まるようにしたい ■ 溶体化→時効工程への移動をフォークリフトで行っていた 省エネ化、自動化、環境配慮、安全性など新しい課題やご相談がありましたら、お気軽にお声がけください。
破断試験片・引張試験片・衝撃試験片・発光分光試験片やテストピースなど 1台でさまざまな形状を鋳造できる溶解炉
試験片用溶解炉はインダクション（高周波誘導加熱）で金属を溶解後 カーボン型や銅鋳型、鉄鋳型に注ぎ入れて形にします。 型を変更するだけで、さまざまな形状の試験片を製作することが可能です。 また切削加工で出るダライ粉からの製作も可能です。 鉄系・非鉄系合金など、高周波誘導加熱又はアークで溶解可能な金属は全て対象です。 その他金属の特性に合わせてオプション機構も取り付けられます。 ■溶解時／傾注時の真空加圧 ■鋳型回転 ■不活性ガス置換 ■真空中攪拌 ■真空中での添加元素 ■鋳型の冷却機構 ■アーク溶解 【その他の特長】 ～大がかりな設備投資がいりません～ キャスター移動式のコンパクトサイズのため配線・配管設備等の工事だけでご使用いただけます。 ～カスタマイズにも柔軟に対応します。～ ご希望の金属や溶解量、オペレーションや安全機構など、ヒアリングを行い適切な装置をご提案いたします。 オーダー機械の実績も多数ございますので、お気軽にお問い合わせください。 ～充実したアフターフォロー～ 機械メンテナンスだけでなく、導入後の技術的な伴走型支援を行います。
卓上小型サイズ実験炉・省スペース 最高使用温度2000℃！ 還元雰囲気用メタル炉も製作致します。
◉ 卓上サイズ 省スペース：328(W) x 220(D) x 250(H)mm（*2inch用チャンバー参考値） ◉ カスタマイズ自在なヒーター構造： - 円筒状ヒーター：るつぼ内サンプル焼成（固形物、粉体、粒形、ペレット形状サンプル用） - 面状ヒーター：Φ1"〜Φ6"ウエハー、小片チップ焼成用 ◉ 昇温時間最速約15分（1500℃）、降温1500℃→100℃まで約40分（真空、およびガス置換雰囲気） ◉ ハイスペック&ハイコストパフォーマンス ◉ シンプルな構成、優れた操作性 実験室での小片試料の超高温加熱実験、新素材研究開発などのさまざまな試料加熱実験が、簡単な操作で行えます。 本体は小型でありながらよりさまざまな分野の研究開発にお使いいただけます。
工業炉内の温度計測の設定、安全装置などカスタマイズも可能です
設計時に熱計算のシミュレーションや電気容量の計算を行うことで炉内の温度を正確に制御することができます。また、安全対策をはじめとしたお客様のニーズに合った仕様での製作が可能です。 サンファーネスでは設計、製作、据付、メンテナンスまでトータルでサポートします。また、ヒーターや熱電対などの消耗品は長く御使用いただける高品質なものを選定いたします。 【特長】 ● 帯鋼や線材などの光輝熱処理が可能です。 ● 線材を熱処理する『ストランド式線材焼鈍炉』の取扱いがあります。 ● 工業炉内の温度計測の設定、安全装置などカスタマイズも可能です 【ステンレス鋼の鋼種による熱処理方法】 ● オーステナイト系：固溶化（溶体化）、安定化、応力除去、時効 ● フェライト系 ：焼きなまし ● マルテンサイト系：焼きなまし、焼きならし、焼入れ、焼戻し 【課題事例】こんな課題を解決しました ■ ステンレス板のプレスと焼鈍を行いたい ■ テンションアニール炉（張力焼鈍炉） ■ ステンレス鋼板の焼鈍で水素ガスシール性を向上させたい ステンレス熱処理のお悩みがございましたらお気軽にご相談ください。
Φ6〜8inch超高温ウエハーアニール装置 研究開発から小規模生産まで多目的に幅広く対応するハイパフォーマンス機
◾️ Max2000℃ ◾️ 有効加熱範囲：Φ6〜Φ8inch 枚葉式、又はバッチ式（多段5枚カセット） ◾️ ヒーター制御：1ゾーン、又は2ゾーン（カスケード制御） ◾️ ヒーター材質： ・C/Cコンポジット：Φ6〜Φ8inch ・PGコーティング 高純度グラファイト：Φ6〜Φ8inch ◾️ 使用雰囲気： ・真空（1x10-2Pa）、不活性ガス（Ar, N2） ◾️ PLCセミオート運転 ・真空/パージサイクル、ベントの自動シーケンス制御 ・フルオート自動運転（オプション） ・タッチパネル操作、操作が分散せず一元管理が可能です。 ◾️ プロセス圧力制御 ・APCコントロール（MFC流量、又は自動開度調整バルブ PIDループ制御） ・MFC最大3系統流量自動制御、又はフロートメーター/ニードルバルブの手動調整 ◾️ PLOT画面グラフ表示、CSVデータ出力
