顕微鏡膜測定や非透過サンプル膜厚測定も可能！非接触膜厚計
お持ちの顕微鏡とドッキングも可能！顕微鏡膜測定と２D分光放射オプションとの組み合わせで詳細な面内の膜厚分布の測定も可能です。
『FF8』は、サンプルの反射率（干渉波形）を測定し、 膜厚演算方法の中のFFT（フ－リエ変換膜厚計）や、 カーブフィット膜厚計等によって 膜厚値の解析を行う非接触多ポイント膜厚測定が可能です。 膜厚測定の他にフィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も行うことができ、 オプションにより、多層膜・カーブフィット法・顕微鏡・マッピング測定・ 色測定・成分濃度解析も可能です。 オプションでは、顕微鏡膜測定や非透過サンプル膜厚測定も可能です。 顕微鏡膜測定では、カラーフィルターのRGBパターンや基板上の配線パターン等、 マクロでは測定が困難な微細領域の膜厚測定を行えるように、 顕微鏡を使用して測定スポットサイズを小さくし測定できるようにします。 非透過サンプル測定では、空気層の厚みを測定することで 非透過サンプルの厚みを測定、演算します。 通常、光の干渉を用いる測定方式では、 非透過サンプルの膜厚測定はできませんが、 本測定方式を用いることで測定が可能となります。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社システムロード
- 価格：応相談
