更新日： 集計期間:2025年10月08日～2025年11月04日
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技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。
【要旨】 近年、高感度ならびに低消費電力デバイスの需要が高まり、スピントロニクス分野では磁気メモリや磁気センサーなどが注目を集めている。これらのデバイスには、高い磁気抵抗効果が得られることからMTJ（magnetic tunnel junction）構造が広く用いられている。このMTJ構造は数nm程度の薄い積層膜から成り、原子レベルでの膜厚やラフネスおよび結晶性が特性を左右する。また、アニール温度によって磁気特性が変化することから、本稿ではin-situ TEMを用いて、加熱に伴う結晶性や元素分布の変化過程をnmレベルで分析した事例を紹介する。 【目次】 １．はじめに ２．試料と評価方法 ３-１．結晶性の変化 ３-２．結晶配向の解析 ３-３．面内結晶配向の解析 ４．まとめ ５．謝辞 ６．おわりに
電子ペーパーやMEMSの観察・位置ずれ・寸法計測を一台で実現。両面同時観察と自動計測で、測定の効率と精度を大幅に向上。
当社のTOMOSシリーズ は、電子ペーパー、MEMS、水晶振動子、半導体線幅パターンなどの 精密デバイスを対象に、表裏同時観察・計測を実現する両面顕微鏡システムです。 落射・透過照明対応で粒子・流体・フィルターなど両面同時観察の可能で、 位置ずれ・寸法計測も自動化し高精度・効率化を実現します。 TOMOSシリーズは用途に応じた複数モデルをラインナップしており、観察・計測の目的や対象に最善な選択が可能です。 研究・解析・製造・検査の現場で、高精度・高再現性・効率化を追求する方に好適なソリューションです。 【ダウンロードカタログ内容】 ■コンパクトタイプ 表裏位置ずれ計測システム TOMOS-50 ■6インチステージ 表裏位置ずれ計測システム TOMOS-60 ■リング照明付き低倍率両面顕微鏡システム TOMOS-50R1 ■6インチ電動XYステージ 両面顕微鏡システム TOMOS-60XY ■8インチ電動XYステージ 両面顕微鏡システム TOMOS-80XY ■高速オートフォーカスユニット Mimic II-AF/CL ■高感度近赤外線カメラ FS-1700IRP
EDXが装着されており、試料観察と同時に元素の種類・量・分布状態を調べることが可能です！
『FE-SEM』は、電子線を絞り細い電子線を試料に照射し、表面を観察する 電界放出型走査顕微鏡です。 超高分解能観察が可能。汎用SEMと同様に電子線を絞り電子ビームとして 対象に照射し、対象物の表面から放出される二次電子や反射電子を検出 することで、対象の表面の観察を実施。 また、JSM-7100Fでは、EDS及びEBSD解析装置が装着されているため、 高分解能の観察だけでなく元素分析や結晶性試料の方位解析(EBSD解析)が できます。 【特長】 ■サブミクロンオーダーでの観察が可能 ・汎用SEMより高倍率で形態観察が可能で、より鮮明な像を取得可能 ■EDX(エネルギー分散型分析装置)による定性分析 ・EDXが装着されており、試料観察と同時に元素の種類・量・分布状態を 調べることが可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
光学式非接触方式なので、ワークに変形や打痕の影響なく計測可能！
『TAHシリーズ』は、顕微鏡光学系に「フォーカスナビマーク」を 搭載することにより、フォーカスナビマークを合わせることで Z軸移動量による高さ・深さ・段差を非接触で計測できる顕微鏡です。 フォーカスナビマークの搭載により、オペレーターに依存せず再現性を大幅に向上。 三眼タイプ・直筒タイプの2種類をラインアップし、 用途に合わせて選択可能です。（カメラはCマウントタイプ） 【特長】 ■対物レンズは無限系のf=180タイプとf=200タイプの2種類の選択が可能 ■コンパクトサイズ ■計測用スコープとして装置に取付け可能 ■目的に応じて測定ステージ、TVカメラ装置、計測ソフトウェアを組合せ可能 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
汎用性の高いオールインワン蛍光顕微鏡を200万円（税別）で手に入るチャンス！
■ 汎用性の高い機能を搭載 オートフォーカス、Z-スタック機能、タイムラプス動画の取得など高性能な機能を備えています。さらに、観察位置情報の記録ができるため、いつでも興味のある細胞を確認できます。 ■ オンボードソフトウエアで解析がスムーズ 機械学習に基づいて、コンフルエンシーの測定や自動セルカウントを行います。 ■ 高性能モノクロカメラによる多彩な高解像画像 高画質のマルチカラー蛍光画像を取得でき、多彩なLEDライトキューブにより、透過光でのカラー画像の取得も可能です。
金属組織観察や相解析などTEM、FE-SEM、EBSD等による断面観察および構造解析に関する事例を多数ご紹介します！
当事例集では『断面観察及び構造解析』にかかる事例についてご紹介します。 「線材（ばね材）の金属組織観察」、「2相ステンレスの相解析」、「STEM-EDSによる半導体絶縁膜評価」の目的や手法、結果などを含めた分析事例を多数掲載。 他にも、観察や相解析、絶縁膜分析や測定などご紹介しています。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容】 ■線材（ばね材）の金属組織観察 ■2相ステンレスの相解析 ■STEM-EDSによる半導体絶縁膜評価 ■サマリウムコバルト磁石のEBSD測定 ■STEMによるコネクタ端子接点不良解析 ■生体試料（モルフォ蝶鱗粉）の断面観察 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
分子間相互作用解析と明視野イメージングの融合システム！
『SPR顕微鏡』は、表面プラズモン共鳴（SPR）を利用した分子間相互作用の解析と、 明視野でのイメージングを同時に実施する革新的なシステムです。 in vitro環境下ラベルフリーで細胞上の膜タンパク質の結合活性および細胞動態を 計測するシステムとしてデザインされています。 そのため、結合活性の分布（SPR二次元マッピング画像）と細胞構造（明視野画像）を 同時に取得でき、細胞レベルでの変化を調べることができます。 【特長】 ■分子間相互作用解析装置と光学顕微鏡の融合 ■in vitro環境下における細胞レベルでのラベルフリー結合活性のマッピング ■細菌、ウイルス、ナノ粒子のナノメートルレベルでの結合応答測定 ※こちらのPDF資料は英語版となります。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
自動欠陥検査機能、低ノイズ、高スループット！正確な原子間力顕微鏡をご紹介！
『Park NX-Wafer』は、欠陥のイメージングと解析を完全自動で行う AFM計測手法により、欠陥検査における生産性を1,000％向上する 原子間力顕微鏡です。 正確でハイスループットのCMPプロファイル測定のための低ノイズ 原子間力プロファイラー。 サブÅの表面粗さを極めて正確に測定し、チップ間のバラツキを最小化します。 【特長】 ■欠陥のイメージングと解析を完全自動で行うAFMソリューション ■欠陥レビューにおける生産性を最大1000％向上 ■低ノイズ原子間力プロファイラーで正確且つ高スループットなCMP計測を実現 ■非常に正確で、チップーチップ間のバラツキも最小にしたサブÅ表面粗さ計測 ■原子間力プロファイラー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
AFM :原子間力顕微鏡法
AFMは微細な探針で試料表面を走査し、ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測する手法です。 金属・半導体・酸化物などの材料評価だけでなく、毛髪やコンタクトレンズなどのソフトマテリアルまで幅広い材料を測定可能です。 本資料では、様々な材質のAFM像をご紹介します。
細胞や組織を自動で定量化。暗室不要でウェル・スライドを一括解析できる顕微鏡【カタログ・撮影事例付き資料進呈】
オールインワン蛍光顕微鏡『BZ-X800』は 全ウェルの観察に対応した大型電動ステージや、 クリアな画像が撮影できる高感度モノクロ冷却CCDカメラ等を搭載し、 自動解析による定量化が簡単に行えます。 ◎製品の特長は「導入活用事例集」「製品カタログ」に詳しく掲載しております。 ダウンロードボタンから、ご覧ください。 【導入活用事例集の内容】 ■カニクイザルの心臓の線維化率の計測 ■ウェルプレートを用いたiPS細胞コロニーカウント ■脂肪細胞の定量解析 ■核内の染色体カウント ■胃癌の免疫染色を定量化 ■培養細胞のトランスフェクション効率の計測
クライオミクロトームとAFMで軟らかい高分子材料の各種高分解能観察が可能です
AFM走査型プローブ顕微鏡とは、探針と試料表面の間に働く様々な物理的相互作用を検出し、微少領域の表面形状観察、電気・機械物性計測を行う装置です。 その物理的相互作用には、原子間力、摩擦力、静電気力などがあります。 また、大気中、真空中の様々な環境において測定ができ、導電性、絶縁性を問わず試料表面の観察が可能です。 また、クライオミクロトームを用いることで、凍結下で樹脂など軟らかい高分子材料の超薄切片作製が可能です。 このAFMとクライオミクロトームを使いポリイソプレンゴムをいろいろな角度から観察しています。 ぜひPDF資料をご一読ください。 本技術はゴム以外にも樹脂、プラスチック、各種高分子材料に応用可能です。 また、弊社では本分析装置に加えXPS、AES、GD-OESなどの各種表面分析を行っております。 お気軽にご相談いただければ幸いです。 セイコーフューチャークリエーション 公式HP https://www.seiko-sfc.co.jp/ ※その他の資料もあります。問い合わせボタンからご用命いただければ送付いたします。
撮影視野1倍での両面広視野撮影が可能！(視野9mm x 7mm）
『TOMOS-50R1』は、撮影視野1倍での両面広視野撮影が可能な 広視野リング照明付きの両面顕微鏡システムです。 水晶振動子、MEMS、プリント基板の穴など、電子部品の表裏を 同時に撮影が可能です。 また、表裏のパターンやアライメントマークのずれを繰り返し精度 ±0.010mm精度で測定できます。 【特長】 ■顕微鏡表裏の光軸ずれや、レンズ倍率誤差、カメラのθずれを 高精度に画像処理補正 ■表と裏をひっくり返す手間無く寸法測定も可能 ■水晶振動子、MEMS、プリント基板の穴、電子部品の表裏を同時に撮影 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
ｐｎ判定を含む拡散層の構造を明瞭に観察可能
市販LSI内のNPNバイポーラトランジスタについて全景からエミッタ部の拡大まで詳細に観察が可能です。 エミッタ電極の中心を通る断面を露出させ、AFM観察、SCM測定を行った事例です。 AFM像と重ねることで、配線との位置関係がはっきりします。
Na、Mg、Liなど。自動車・電子機器・機械部品分野における新素材・新製品の開発をサポート
当社では、『個々のニーズに応じた分析サービス』を提供。中でも、リチウム、ナトリウム、カリウム等、空気中の水分や酸素に触れると表面の状態が変化する物質を、活性な状態のままで分析を可能とする『空気非接触環境での分析サービス』でお役に立てます。 自動車・電子機器・化学・機械部品の研究・開発における 新素材・新製品の開発／隠れた性質の発見／基礎データの確認といったニーズにお応えしています。 ◎要望例 ・製造過程で溶け込んだ油分の熱分解の挙動が、水素、窒素など任意の雰囲気で違いが現れるかを知りたい ・合金等が、水素、窒素などの雰囲気ガスと反応するか、また、その反応する温度等を知りたい ・雰囲気を変えたらどうデータが変わるのかを知りたい ◎取扱品目 走査電子顕微鏡(SEM) 熱重量・示差熱・昇温脱離質量数分析(TG-DTA-MS) 粉末X線回折(XRD) 圧力－組成等温線(PCT)測定 高圧示差走査熱量分析(DSC) フーリエ変換赤外分光分析(FT-IR) ※空気非接触環境での分析サンプルはPDFダウンロードよりご覧いただけます。 お問合せ・分析のご依頼もお気軽にどうぞ。
試料を冷却してSEMで観察できます。
PP3010Tは、含水試料や電子ビーム、真空ダメージを受けやすい試料を凍結させ電子顕微鏡で観察を行う装置です。 大気非暴露で試料の移動が可能なサンプルトランスファーが標準付属。 自動ガス流量コントロール機能やクライオSEMに最も必要な温度コントロール機能を重要視した設計がなされています。試料をより自然の状態に保ちSEM観察を行うPP3010T装置は動植物、医療、食材、ポリマー、塗装、温度上昇に敏感な半導体材料などの測定に活用されています。
