更新日： 集計期間:2026年01月07日～2026年02月03日
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日揚科技は用途に合わせて多様なタイプの真空バルブを供給しています。
真空バルブ「真空バルブシリーズ」は低真空から超高真空まで対応できます。ストレート(Y型及びZ型）バルブを使用する場合、配管を曲げなくでもバルブをうまく接続できます。日揚科技は用途に合わせて多様なタイプの真空バルブを供給しています。それらはアングルバルブ、ストレート(Y型及びZ型）バルブ、ボールバルブ、オートメートルバルブ、手動式と圧空式、またはベローズツキとベローズナキを選択できます。真空バルブを使用する目的はガスを調節するや流量をコントロールすること。そのため、多くの真空チャンバー、真空システム装置、真空成膜装置に応用しています。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
真空チャンバー内での直線移動に使用する直線導入機です。
直線導入機（シャフト型） ZLDP/ZLDM/ZLDSシリーズは真空チャンバー内での直線移動に使用する直線導入機です。廉価版から高精度型まで種々取り揃えております。詳しくはお問い合わせください。
各種線源やトランスデューサなどを装着し真空中を移動させられます。
直線導入機（中空型） ZLTMシリーズはチャンバー取付けフランジとシステムフランジがベローズで接続された、中空型の直線導入機です。各種線源や、トランスデューサなどを装着し、真空中を移動させることができます。詳しくはお問い合わせください。
高品質・コンパクトな高真空バルブ
HVA社の高真空バルブ・超高真空バルブは、半導体製造装置をはじめ、研究機器など様々 な分野に対応する多種多様のゲートバルブ、スリットバルブを取り揃えております。
製品多様真空部品-アダッブタシリーズ
真空配管や真空装置などによく使用される真空継手の一種です。 それらの製品は変換フランジアダッブタ、ストレス変換フランジアダッブタ、VCRメス、オスアダッブタ、Swagelog接続のメス、オスアダッブタを含めています。規格品を提供可能以外に客先のニーズを応じて特製品を提供できます。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
半導体や表面分析アプリケーションに使用できるポンプ/チャンバー用真空遮断バルブ
-パーティクル発生が少ない -メンテナンスが容易 -低コスト
バックラッシュを最小に抑え再現性よく高精密なガスコントロールを実現。
高性能バリアブルリークバルブ ＺLVMシリーズはガス源から真空チャンバー内にガスを導入する際に、微小なガスフローを制御するために使用します。バックラッシュを最小に抑え、ナイフエッジと銅合金パッドの材質・構造を工夫することにより、再現性よく、高精密なガスコントロールを実現しました。詳しくはお問い合わせください。
フルコンダクタンスが可能な高真空シリンダーバルブ
大きなコンダクタンスが要求される高真空アプリケーションの排気およびベント用バルブ -過酷な環境にも対応（腐食に対しての高い耐性）します。 -穴の開いたシリンダーが回転するため、フルコンダクタンスが可能です。 -O-リングがバルブボディに隠れる回転構造。腐食性ガスからO-リングを守り、長寿命を実現します！
「シングルゲートバルブ」と「デュアルゲートバルブ」をラインアップ！
当製品は、半導体製造装置のプロセスチャンバー用の真空ゲートバルブです。 カム駆動式による逆圧対応の「シングルゲートバルブ」と完全水平移動の為、 Oリングの擦れが無い「デュアルゲートバルブ」をラインアップ。 お客様ご要求仕様に基づくカスタマイズも承ります。 【特長】 〈デュアルゲートバルブ〉 ■完全水平移動の為、Oリングの擦れが無い ■左右の独立駆動によりPM/TMチャンバーのメンテナンス性が向上 ■コンパクト設計(シングルバルブと同サイズ) ■開口45×450mmに対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
開閉動作をエアシリンダーで行うことで衝撃とパーティクルを低減し、超寿命化を可能に
エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適。 -real L-MOTIONによるゲートシールの均一な押し付けおよび長寿命化 -サービスカバーからの簡単なメンテナンス -開または閉位置での圧空ロック機構 -パーティクルフリー、ショックフリー -シール材に合わせてシール力を調整可能 -低ショック
大手装置メーカー様にゲートバルブ製品数千台の納入実績あり！ 半導体Φ300ｍｍ／液晶G10_3000mmサイズにも対応可能！
大型マシニングセンタにより、深堀形状となるゲートバルブ本体や構成製品を、高精度に製作致します。 これまで多数の製品を出荷し、大手製造装置メーカー様より高い評価をいただいております。 半導体・液晶製造装置に欠かせないゲートバルブ製品を高精度に 製作致します。 また真空チャンバーや上部・下部電極などチャンバー内パーツについても 製作実績がありますので、あわせてご相談ください。 【製品紹介】 ■液晶製造装置用ゲートバルブ本体 ■ゲートバルブ製品に必須なアリ溝加工やシール面加工、ヘール加工も高精度に加工致します。 ■液晶製造装置G10_3000mm超などの非常に大きな開口サイズでも対応可能です。 ■実績：約20年間で数千台の加工実績があります。 見積・製作のご依頼に関しては、お気軽にお問い合わせください。 ※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。
上質なソリューションと先進技術を活用し、お客様と緊密に連携し、現実世界の課題を解決する製品を開発しています
当社は、品質、納期、コストパフォーマンスにおいて顧客満足度の業界 標準を確立する製品、ソリューション、そしてサービスを提供することに 尽力している企業です。 ゲートバルブ類・フランジ・ビューポート・フィードスルー・真空チャンバー等、 真空機構を必要とされる製造装置、機器等用の各種真空用部品の取扱いを実施。 また、アングルバルブやバタフライバルブ、インラインバルブ/リークバルブ、 ガス配管などもございます。他にも取り扱っておりますので、 製品に関しては、お問い合わせください。 【市場ソリューション】 ■産業と研究 ■半導体 ■航空宇宙および防衛 ■ライフサイエンスと医療 ■契約製造 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
チャンバー内を汚染しにくい構造！Oリングへのストレス低減、高い耐久性能を実現
『PCAシリーズ』は、バルブ開閉、スロー排気、調圧が可能なバルブです。 新開発のシートリング機構が、フラッパーに取り付けられたO-RINGの ねじれや脱落の問題を解消。また、フラッパーシール部がグリスレスのため、 反応室を汚染しにくい構造です。 シートリング機構採用により、Oリングへのストレス低減、高い耐久性能を 実現しました。 【特長】 ■バルブ開閉、スロー排気、調圧が可能 ■低真空から高真空まで圧力調整が可能 ■新開発のシートリング機構を採用 ■高耐久：全開・全閉動作 300万回 ■独自ヒーティングによる内部副生成物の低減 ■副生成物の多いプロセスへ優れた適応性を発揮 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
SEMI/FPDプロセスにおけるダウンストリームの圧力制御および真空封止用バルブ。高度なエッチングプロセスに最適。
-パーティクルフリーな動作で均等排気を可能にする -卓越した圧力制御の実績 -サービスポート装備（USBでPCとControl Performance Analyzer(CPA)ソフトウェアの接続用）
スロー排気ライン用のバイパスバルブとメインバルブが一体構造になっている、省スペースのバルブ！
「IVB_X,VX」シリーズは、チャンバー内部で発生するパーティクルの 巻き上げを防止します。 メインバルブとバイパスバルブが一体となっており、大気から真空に 排気する場合、若しくは真空から大気に戻す場合に起こる急激な圧力 変動を抑え、メインバルブ開閉前にバイパスバルブでスロー排気により 圧力コントロールをします。 バイパスバルブには流量の固定と排気スピードが調整可能なタイプの 2種類を用意しており、このバイパスバルブは15Aサイズを除く「IVB」 「IVBL」「IVBH」シリーズ全てに対応可能です。 【特長】 ■従来のスロー排気ラインがメインバルブと一体構造 ■省スペース化が可能 ■排気ラインの低コスト化が可能 ■バイパスバルブは機種によって複数台取り付けることが可能 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
Max180℃まで任意の温度に設定可能！メンテナンス期間を大幅に延長できます
『UXG/LGシリーズ』は、半導体真空装置の反応炉とトランスファーチャンバー 間の仕切りを行うために開発した角型のゲートバルブです。 ボディはアルミニウム製で、複動式エアーアクチュエーターにより作動。 ヒーター付き仕様は固定されたボディに内蔵している外部ヒーターによる 加熱だけでなく、可動部である弁体内部にもヒーターを持ち、外部と内部 の両方から加熱することにより、高い均熱性能を特長としています。 【特長】 ■メンテナンス期間を大幅に延長できる ■内部と外部の温度を個々に設定可能 ■バルブを開閉作動する時に、パーティクルが発生しにくい無摺動構造 ■バルブクローズを保つラッチロック機構を装備 ■ゲートのOリング材質として、フッ素ゴム・KALREZ・Chemraz等を用意 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高速応答性を実現！高圧のまま気体状にジェット噴射が可能なパルスバルブ
『L.TEX8900シリーズ』は、超臨界状態の流体を所定の間隔で高圧のまま気体状にジェット噴射が可能なパルスバルブです。 従来のものは圧力が10MPa程度の噴射が限界でしたが、駆動源に高性能圧電素子（ピエゾ素子）を採用したことにより、30MPaまでの高圧下での安定した噴射が可能となりました。 【特徴】 ○バルブ開閉時間100μs以下の高速応答性を実現 ○お客様のご要望に対応したカスタムメイドが可能 →バルブヘッド部の温調(～100℃)や真空チャンバーへの取り付けなど 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
異なる流体の混合を防止！絶対に混ぜたくない、または高い衛生・安全性を求める工程でご使用いただけます。
『漏れ検知バタフライバルブ』は、異なる流体の混合を防止できるほか、 クロスコンタミネーションの防止、またメンテナンスの負担やコストを 削減する二重シートバタフライ弁です。 従来のバタフライバルブは1枚のディスクにて開閉がコントロール されていましたが、こちらは2重シートとその中間にあるチャンバーとの 一体型(ダブルブロック＆ブリード)設計により、シャットオフと 漏れ検出が容易になりました。 絶対に混ぜたくない、または高い衛生・安全性を求める工程で使用でき、 CIPシステムでお使いいただけます。 【特長】 ■交差汚染を防止 ■衛生管理を強化し、メンテナンスの負担を軽減、稼働時間を最大化 ■エネルギー、運用、メンテナンスコストを削減 ■信頼性、効率、性能を向上 ■厳しい使用条件にも対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
真空シールに最適！高精度・高品質な成形ベローズで、半導体製造を進化させましょう。
半導体製造において、真空環境の維持は製品品質に大きく影響します。しかし、従来の真空シールでは、リークや耐久性の問題が発生することがありました。そこで、当社は高精度・高品質な成形ベローズ『NW-KF』を開発しました。本製品は、真空シールに最適な設計と材質を採用することで、高い気密性と耐久性を両立しています。 【活用シーン】 - 半導体製造装置の真空チャンバー - 真空搬送システム - 真空蒸着装置 - プラズマ処理装置 - 真空計測機器 【導入の効果】 - 真空環境の安定化による製品品質の向上 - リークによるダウンタイムの削減 - 長寿命化によるメンテナンスコストの削減 - 高い信頼性による製造工程の安定化
高真空・高精度接続を実現！分析機器の性能向上に貢献
分析機器の接続部で求められる高真空・高精度を実現する、成形ベローズ『NW-KF』をご紹介します。分析機器は、微量な物質を検出するため、接続部のリークは重大な問題となります。当社の成形ベローズは、高精度な加工技術と厳しい品質管理により、高い気密性と耐久性を誇ります。 【活用シーン】 - 分析機器の接続部：質量分析計、ガスクロマトグラフ、HPLCなど - 高真空環境での接続：真空チャンバー、真空ポンプなど - 複雑な形状への対応：特殊な形状の接続部にも対応可能 - 温度変化への対応：温度変化による性能変化を抑制 【導入の効果】 - 高真空環境を実現することで、分析精度が向上 - リークによる測定誤差を抑制し、信頼性の高いデータ取得が可能 - 接続部の耐久性向上により、メンテナンス頻度を低減 - 多様な材質とバネ定数調整により、幅広い用途に対応可能
均等なガスフローで高度なプロセスに最適
-パーティクルフリーな動作で均等排気を可能にする -卓越した圧力制御の実績 -サービスポート装備（USBでPCとControl Performance Analyzer (CPA)とソフトウェアの接続用）
真空・高圧環境に対応！高精度な接続を実現する成形ベローズ
研究開発において、真空や高圧環境下での精密な接続は、実験の成功を左右する重要な要素です。従来の接続方法では、リークや耐久性の問題が発生しやすく、実験結果の信頼性に影響を与えることもありました。そこで、当社は、高精度な接続を実現し、実験の信頼性を向上させる成形ベローズ『NW-KF』を開発しました。 【活用シーン】 - 真空チャンバー: 真空環境下での精密な接続が必要な実験装置 - 高圧反応容器: 高圧環境下での接続が必要な化学反応実験 - 分析機器: 高精度な接続が必要な分析装置 【導入の効果】 - 実験の信頼性向上: 高い気密性により、リークによる実験結果の誤差を抑制。 - 装置の耐久性向上: 柔軟性により、装置への負担を軽減し、耐久性を向上。 - 作業効率向上: 接続作業の簡素化により、作業時間を短縮。 - メンテナンス性の向上: 接続部の分解・組立が容易で、メンテナンスが容易。
