更新日： 集計期間:2026年01月07日～2026年02月03日
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バルブ・チューブ、フィルター、治工具なら株式会社エボルシオンへ！
当社は、主に純水や薬液用バルブの設計・販売などを行っている会社です。 薬液・純水用フィッティングやテフロンコーティング、PFA・PTFEフレキ チュ－ブ、フッ素樹脂収縮チュ－ブなど、多岐に渡る製品を取り扱っており、 自社製品としましては、薬液・純水用バルブ、PFAチュ－ブ関連、薬液・ 純水用フィルターなどがあります。 純水及び薬液用バルブのことならぜひ当社へお任せください。 【事業内容】 ■純水・薬液用バルブ設計・販売 ■テフロンチューブ加工品製造販売及びテフロン溶接・溶着製造販売 ■純水・薬液用フィルター販売 ■バルブBOX製造販売 ■各種配管部品販売 ■樹脂・金属加工品販売 ■石英槽・石英加工部品製造販売 ■シリコンウェハ関連品販売 ■洗浄関連治具製造販売 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
全ての薬液、高純度のアプリケーションの流体制御に、最適に設計されております。
Malema社製のフローコントローラーは、高純度薬液用に接液部をオールテフロン製で、制御・モニター製品をはじめ各種半導体製造装置の標準部品として世界各国で使用されています。 また、今まで流量のモニター、制御が難しかった発泡性薬液、CMP用スラリーなどの薬液の制御に特化したコリオリ式のフローコントローラーも取り揃えております。
全ての薬液、高純度のアプリケーションの流体制御に最適な設計です
Malema社製の『フローコントローラー』は、高純度薬液用のため接液部が オールテフロン製です。 制御・モニター製品をはじめ各種半導体製造装置の標準部品として世界各国で 使用されています。 また、今まで流量のモニター、制御が難しかった発泡性薬液、 CMP用スラリーなどの薬液の制御に特化したコリオリ式のフローコントローラー も取り揃えております。 【特長】 ■超音波流量計では出せない発泡性薬液やスラリーの高精度制御 ■流体の粘度の変化に影響されず、高精度で流量モニターや制御が可能 ■被計測流体の特性による調整、設定が不要 ■30％以内の気体含有液を制御可能 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
腐食性の高い薬液にも対応！！GEMÜ製高純度フッ素樹脂バルブ
半導体製造の特に洗浄・エッジングにおいて必ず高純度の高い腐食性がある流体を使用します。またその薬液を装置に供給する装置では多くのバルブを使用し、コンポーネントは常にダメージを受けています。ダメージを受け続け、薬液が漏れトラブルが起きた際は、 ・半導体生産能力の低下による大きな損失 ・復旧作業における時間の損失 ・作業員の方への被害 など様々なリスクがございます。 バルブにおけるその大きな要因は腐食性の高い薬液によるステンレス製パーツの腐食です。 長年使用すると、ステンレス製パーツは薬液による浸透で腐食が始まります。そうするとバルブの故障による事故になりかねません。 GENÜ製品は腐食性の高い薬液に対して対策を行っております。 ・標準品で高純度なA4(SUS316L相当)のステンレスを採用 ・オプションでステンレスに対してPFAコーティング 弊社製品を使用いただくことで長期間安心して使用いただけます。 是非お困りの方はお問い合わせください！
最大2インチ薬液大量供給! 高Kv値・省スペース化実現の薬液供給＆分配高純度フッ素樹脂バルブ
半導体生産工程の洗浄・エッチング等で使用される高純度薬液を大量に供給するフッ素樹脂バルブをご紹介します。1 1/4～2インチサイズの配管径に対応し、安定した大量供給を実現したバルブを発表しました。大型配管径にも関わらず省スペース・高Kv値を実現しました。世界の半導体工場にて安定した半導体生産を支えます。その他にもタンク下の大流量が必要な際はこちらのバルブを使用いただけます。
酸、有機系薬液などの定量吐出管理用の液体フローコントローラー
「精密流量コントロールバルブ」は、高精度、高速で流量制御を行う酸・有機系 薬液などの定量吐出管理用のFuturestar社製液体フローコントローラーです。 流路部品は全てテフロン樹脂製ですので幅広い耐薬液性を有しています。用途により、流量計タイプをカルマン渦流量計と超音波流量計の2種類より、 ご選択頂けます。 また、液体流量コントローラー単体でも販売しています。(商品名：AutoValve) 【特長】 ■液体流量コントローラと流量計を1つのシステムに統合 ■セットした流量をモニタリングしフィードバック ■高再現性と高信頼性を実現 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
フッ素樹脂チェックバルブ
フッ素樹脂製のチェックバルブです。 液体の逆流防止をするバルブです。 金属埋め込みのフッ素樹脂スプリングを使用しているため、ほとんどの溶剤・薬液に使用可能です。 接続の種類により、３種類ご用意しております。
酸、有機系薬液などの定量吐出管理用の液体フローコントローラーです。高精度、高速で流量制御を行います。
流路部品は全てテフロン樹脂製ですので幅広い耐薬液性を有しています。用途により、流量計タイプをカルマン渦流量計と超音波流量計の2種類よりご選択頂けます。また、液体流量コントローラー単体でも販売しております（商品名：AutoValve）。 詳しくはお問い合わせください。
新しい形で半導体薬液供給にかかわる排圧弁のソリューションを提案！幅広い用途に合わせて選択できます。
GEMÜ半導体製造向けフッ素樹脂バルブは世界各地の半導体工場で薬液やCMPスラリー供給設備の部分において活躍しております。その中でも弊社コントロールバルブを排圧弁としても使用いただいております。 排圧弁は特に薬液を安定的に供給するため、1次側の圧力を一定に保つために2次側に圧力を逃します。 特にCMPなど薬液の供給量が一定であることはウェハーの品質を保つ重要なポイントになります。 そこで弊社のバルブでは3種類のコントロールバルブをご提案できます。 ・iComLine C50＋GEMÜ 1434μPos ポジショナー 小流量制御、素早いON/OFFも可能 ・iComLine C53 電動コントロールバルブ より制御が細やかなバルブ、CMPでも実績あり ・CleanStar C60＋GEMÜ 1434μPos ポジショナー CMPに最適、ON/OFFも可能 どれも4-20mAで制御が可能で、バルブを用意していただくだけで、精密レギュレーターなど別部品は必要ありません。 PLC制御盤で制御が可能です。制御盤から管理していただくことで、異常時の発見も容易です。
普通のバルブメーカーではありません！フィルターやセンサーなどを組合せた「ユニット集積バルブ」など要望に合わせて幅広く製作可能！
多様なバルブ、機器類を一体化して製作するゲミュー社オリジナルのカスタマイズ集積バルブを使用することで、 「配管内デッドスペースの削減」「複雑な配管を簡素化」「継手数削減による漏れリスクの最小化」「製造組立工数の削減」が期待でき、製造プロセスの生産性アップに大幅に貢献できます。 半導体/化学/医薬業界など高純度薬液や純水を使用する業界で長年の実績がございます。 【ゲミュー社カスタマイズバルブの特徴】 ■ フィルター、流量/温度/圧力センサーや逆止弁などを組合わせてユニット化することが可能 ■ CMPスラリーなど粘性が高く複雑な組成の流体に適した流路で設計が可能 ■ プロセスに合わせてPTFE,PVDF,PP,PVC,SUSなど様々な材質に対応 ■ 他社で廃盤となってしまったバルブの同等仕様、寸法で特殊品が製作可能
薬液や純水ラインでの逆流防止に！接液部が全てPTFEなので様々な腐食性流体に対応しております。
半導体製造装置や薬液配管の流体の逆流を防ぐ逆止弁（チャックバルブ）です。スプリングなどの接液部は全てPTFE製で、低いクラッキング圧力で作動します。Oリングなしでシールが可能で、高純度流体に最適です。
透析液・熱湯・次亜ソ（希釈液）・酢酸（希釈液）が使用可能！耐薬品性・気密性が高い薬液バルブです
新電元メカトロニクスが販売する『薬液バルブ』は、 透析液・熱湯・次亜ソ（希釈液）・酢酸（希釈液）など幅広い薬液に対応しております。 〈採用業界例〉 産業用機械 植物プラント コーヒーサーバー（浄水器） etc 粘度や成分の異なる分野においても精度の高い制御が可能となっており、 液体漏れ、つまりの抑制などに貢献します。 また、ダイヤフラムに特殊フッ素ゴムを採用しているため、耐薬品性・気密性に優れて、 防水性能IPX4(コネクタ部除く)も実現しており、使用環境を選びません。 【特長】 ■接液はダイヤフラム(フッ素ゴム)とバルブボディのみ ⇒透析液・熱湯・次亜ソ(希釈液)・酢酸(希釈液)が使用可能 ■コイル部分がモールド樹脂で封止されている ⇒IPX4の防水性能を実現 ■ダイヤフラムに特殊フッ素ゴムを採用 ⇒耐薬品性・気密性が高い ■ソレノイド可動部が防音構造 ⇒作動音が気にならない(研究室・病室等の静穏環境での使用を考慮) ■シンプルな接手構造 ⇒そのまま薬液ホースを繋いで使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい
メッキ液・等の強酸液に適合する樹脂製電磁弁
【特長】 ○ 流体がプランジャー・等金属に接触しないアイソレーション構造 ○ 呼び径 φ１～５０A ○ 小型～中型の幅広い機種 ○ メッキ装置用に最適 【仕様】 流体：強酸・強アルカリ・等の薬液用 呼び径：１A～50A 流体圧力：０～0.6Mpa 口径：G1/8～G1/2 本体材質：PVC・PP・PTFE ◎詳しくはお問い合わせまたはカタログをご覧ください。
緊急時はバイパス弁も自動で遮断可能！薬液充填ラインなどで省スペース化に役立ちます
当製品は、バイパス弁もエアー駆動により、自動で開閉が可能なバルブです。 緊急遮断機能付きで、緊急時はバイパス弁も自動で遮断することが可能。 大流量・小流量の切替を1台のバルブで可能にし、薬液充填ラインなどで 省スペース化に役立ちます。 【特長】 ■バイパス弁もエアー駆動により自動で開閉が可能 ■大流量・小流量の切替を1台のバルブで可能 ■薬液充填ラインなどで省スペース化に役立つ ■緊急時はバイパス弁も自動で遮断することが出来る ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ノズル先端からの液だれを防止！塗布工程や薬液充填工程等で、定量精度の向上に役立ちます
当製品は、流体を停止した時にノズル先端からの液だれを防止する サックバック機能付バルブです。 サックバック機能のみの「サックバック弁単弁」と、液体のON/OFF、 サックバック機能の「サックバック弁＋ON/OFF自動弁一体型」をご用意。 塗布工程や薬液充填工程等で、定量精度の向上に役立ちます。 【特長】 ■サックバック機能付 ■流体を停止した時にノズル先端からの液だれを防止 ■塗布工程や薬液充填工程等で定量精度の向上に役立つ ＃サックバックバルブ ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
モードコイルの採用で高い防水性！医療・分析・食品などで使用される豊富な液体に対応
当社で取り扱う、『薬液用2ポートバルブ』をご紹介いたします。 医療・分析・食品などで使用される豊富な液体に対応。 ダイアフラムに耐薬品性、気密性に優れた三元系フッ素ゴムを採用しています。 また、モードコイルの採用で高い防水性を持ち、シンプルな継手構造で 薬液ホースを直接接続可能です。 【特長】 ■医療・分析・食品などで使用される豊富な液体に対応 ■モードコイルの採用で高い防水性 ■シンプルな継手構造で液体ホースを直接接続可能 ■ダイアフラムに耐薬品性、気密性に優れた三元素系フッ素ゴムを採用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
薬液用小形２・３ポート弁PVRシリーズは医療分析向けに特化した小形大流量バルブです。
１：医療分析向け、小形大流量バルブ。 ２：PVR16:オリフィスΦ1.6と、PVR20: オリフィスΦ2をラインナップ。 ３：内部流路の最適化により内部容積を最少化。 ４：ロッカータイプ採用により内部容積の変化を最少化。 ５：接液部メタルフリーで、耐食性を向上。 ６：省電力回路を標準装備し、低消費電力化。 ７：1000万回の長寿命を実現。（当社試験条件による）
コンパクトで大流量の高純度アプリケーション向け3方切替弁です！
GEMÜ iComLine C58は供給源から2つの出口間の切り替えを行う超高純度3/2ウェイプロセスバルブです。また逆流方向での作動も可能です。操作は空気操作式になります。 このバルブを使用していただくことで、 ・これまで分岐の際に使用していたバルブ。接手を最小限に抑えこれ一台で切替ができる。 ・装置のコンパクト化 を実現できます！ また ・ポジションインジケーターを搭載しており、目視での開閉確認。 ・漏れが発生した際のリークポートの搭載 ・様々な耐久テストのクリア をしていますので、安全性も抜群、故障の検知も用意です。 高純度PTFEを使用しており半導体製造装置や半導体製造にかかわる薬液供給装置にて活躍いたします。
真空配管やシール材、継手バルブ各種など！消耗パーツをグローバル調達
株式会社エム・エー・シーテクノロジーでは、半導体、液晶などの 製造工程における『部材・パーツの調達』を行っております。 真空、薬液、ガス、メカ部に使用される消耗パーツをグローバル調達。 販売から製作まで様々な業務を担当いたしますので、 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【取り扱い主要品目(抜粋)】 ■真空ポンプ ■石英製品各種 ■クリーンルーム機器各種 ■フッ素樹脂製品各種 ■マスフローコントローラー ■チラー各種 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
小形設計で大流量仕様。EPDM・カルレッツのシール材ラインナップで、薬液・溶剤にも幅広く対応！
ＩＢＳの『RM2シリーズ』は配管内の圧力が設定圧力以上になると、1 次側から2 次側に圧力を逃がす小型の圧力制御弁です。選定条件により薬液や溶剤、腐食性流体でも使用可能です。 【特長】 ■RM1シリーズよりも外部リークのリスクを低減した設計 ■シール材質EPDM、カルレッツもラインナップし薬液や溶剤、腐食性流体等で使用可能 ■外部からクラッキング圧力の任意調整が可能（工場出荷時、圧力調整済） ■大流量仕様(当社製品比較) ※詳細につきましては、お問合せかＰＤＦをダウンロード下さい。
医薬・食品プラント、高純度薬液向けに多くの納入実績！腐食性流体を完全に遮断することができます。
日本ダイヤバルブでは、本体がふっ素樹脂(ETFE)ライニング製の『クランプ接続の耐食性バルブ』を取り扱っています。 サニタリー配管における腐食性流体対策、塩化物イオンによる隙間腐食対策、金属イオンの溶出対策に適したバルブ本体で、ダイヤフラムバルブの特長である「気密性」+「耐食性」により、腐食性流体を完全に遮断可能。 医薬・食品プラントのほか、高純度薬液ラインなどにも多くの実績が有ります。 【特長】 ■本体材質：SUS316L ■ライニング材質：ETFE ■接続方式：クランプ継手(ISO2852) ■適用呼び径：25A～65A(1S～2.5S) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （カタログ 英文版、中文版 は下記特設サイトのカタログページよりダウンロードいただけます。）
開度確認が容易！腐食性の薬液やガスから内部・外部を保護
当社で取り扱う、『ダイヤフラムバルブ72型』をご紹介します。 リニアに近い流量特性。透明なゲージカバー(ポリカーボネート製)で、 腐食性の薬液やガスから内部・外部を保護します。 また、ゲージカバーがインジケーションの役目も果たし、開度確認が 容易となっております。ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【基本仕様】 ■呼び径：200mm、250mm(8inch、10inch) ■ボディ材質：U-PVC、PP、PVDF ■シール材質/ダイヤフラム：EPDM、PTEE、FKM、その他 ■接続規格/フランジ形：JIS 5K、JIS 10K、DIN PN10、ANSI CLASS150 ■超純仕様：禁油品 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
人工透析機で使用されるなど医療分野において高品質が特長！分析・医療・食品と幅広く活躍する薬液バルブ
新電元メカトロニクスが販売する『薬液バルブ』は、その高い品質が評価され医療分野で採用されるなど、 医薬食品業界において幅広く活躍しています。 使用できる流体も様々で、粘度や成分の異なる分野においても精度の高い制御が可能となっており、 液体漏れ、つまりの抑制などに貢献します。 また、防水性能IPX4(コネクタ部除く)を実現しており、使用環境を選びません。 【特長】 ■人工透析機での使用実績 ■使用できる流体の種類が豊富 ■モールドコイルを使用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
軽量・コンパクトで省スペースを実現
PFA熱交換器「PFAシェル＆チューブ式熱交換器」は、金属と微粒子の低溶出に貢献するＰＦＡチューブを採用。両端構造はＰＴＦＥスリーブとＰＦＡチューブを一体熱融着したハニカム構造になっており、耐食性、耐熱性に加え高信頼性を確保しています。計量・コンパクトで省スペース、高純度薬液のインライン用に活躍します。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
PTFE製ベローズが流体と外部を完全に分離し、クリーンを保つバルブです。
飲料・医薬品などの充填装置向けに開発されたバルブです。 PTFE製のベローズ（蛇腹）が、流体がバルブの作動機構に入り込むことを防ぎ、高いサニタリー性を保つバルブです。 また、最大180℃までご使用になれますので、蒸気殺菌も可能です。
パーティクルの発生を抑制！特殊構造により弁閉時の衝撃を低減いたします
当社が取り扱う、薬液用エアオペレートバルブ『JLV20/30 シリーズ』の ご紹介をいたします。 パーティクルの発生を抑制。特殊構造でパイロットエア排気を最適化し、 ポペットがオリフィスに当たる直前の弁閉速度を低減します。 また、ボディclass3を追加し、フットプリント削減に貢献致します。 【特長】 ■パーティクルの発生を抑制 ■フットプリント削減に貢献 ■弁閉時の衝撃エネルギー（V2に比例）90％ DOWN ■特殊構造により弁閉時の衝撃を低減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『クリーンカップリングシリーズ』は逆圧や漏れに強いシンプル構造の流体継手です。少量からでも対応可能
当社はカップリング・パイプクランプを幅広く製造している専門メーカーです。 ラインアップのひとつ『SUS製/真鍮製 チェックバルブ NCV型』は、 逆圧や漏れに強い、半導体・薬液・液晶・理化学用の製品です。 流体の流れを一定方向に保ち逆流を防止。用途に応じてネジ形状やシール材質が 選択可能で、両オネジタイプはネジ部が配管内に収まるため、省スペース化を図れます。 設計から製作まで対応でき、少量からでも対応いたします。 【特長】 ■クリーンルーム内での組立・検査・包装などにも対応可能 ■半導体・薬液・医療業界向け ■用途に応じてネジ形状、本体材質、シール材質が選べる ■コンパクト設計の為省スペース化が図れる ■仕様・用途に応じてカスタムにも対応可能 ※SUS製/真鍮製ございます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
アングルシートバルブ 『ポリアミド製アクチュエーター・空気操作式』
【特長】 ●耐食性に優れたポリアミド製アクチュエーター搭載 ⇒特殊な周囲環境（ex：薬液の噴霧）でも使用可能 ●ステンレス製・アルミ製に比べて廉価 ●グローブバルブと比較すると、流路の構造の違いにより圧力損失が少ないため、流量が1.3~1.5倍に増量 ●高い耐久性が特徴で、100万回以上の開閉に耐久 ●流路がシンプルな為、液溜まりが少なく、腐食の発生を抑制 ●簡単にメンテナンス可能
真空、高温/低温、高頻度ラインなどのアグレッシブな環境に対応した非常に耐久性の高いライニングバルブ。
PFAライニング配管をご使用のお客様に、 短納期で供給可能な ”PFAライニングダイアフラム” をご提案しています！ 昨今フッ素樹脂素材の調達が世界体に大きく乱れている状況において、 PFAライニングダイアフラムの調達にお困りのケースを良く聞きます。 その中で、ダイアフラムバルブ供給における世界的サプライヤーであるGEMUに対して、PFAライニングダイアフラムのお問い合わせが増加しています。 【GEMU PFAライニングダイアフラムの特長】 ・接液部は全てPFA、PTFEで高純度薬液、腐食性流体に適しています。 ・ダイアフラムの耐久性が高く、長期間の使用に耐えられる設計です。 ・スパークテストを全てのロットで実施しており、静電破壊に対して対策しております。 ・電動、手動、自動など様々なアクチュエーターが搭載可能です。 ・SUS、樹脂など用途に合わせて材質の選択が可能です。 ・各種アンサーバック用スイッチ、流量制御が可能なコントローラー付のオプションもございます。 ・PFAライニングの厚みは3mm前後になっており、耐浸透に強い設計です。
次亜塩素酸ナトリウムなど結晶性の高い薬液に適しています！
『MMN1600型 ニードル弁式空気弁(吸排気)』は、特に次亜塩素酸ソーダ用に 開発した空気弁です。 次亜塩素酸ソーダは分解して食塩(塩化ナトリウム)の結晶の粒子が 残留するため、その結晶がバルブシートに付着しやすく、バルブシートの シール性能に悪影響を与え、漏れの原因になることがありますので、 フロートボールにニードル弁を付けてシール性能を向上させました。 次亜塩素酸ソーダ用としてだけでなく、結晶粒子のできやすい薬液や異物を 含む液体に適しています。 【仕様】 ■接続・サイズ ・PVC フランジ式：15～25A (標準は上下同サイズフランジで、特注にて 上下サイズ違いフランジの製作が可能) ■その他 ・ニードルはチタンが標準で、特注によりPVCもご用意 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
