アルカリ対応スピン洗浄装置
有機EL基板洗浄に最適！アルカリ対応スピン洗浄装置
本装置はワークを本体に手動でセットし、真空吸着させスピン回転させながら二液体洗浄、超音波洗浄、N2ブロー乾燥を行う装置です。
- 企業：マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
- 価格：1000万円 ~ 5000万円
洗浄機×マック産業機器株式会社 - 企業1社の製品一覧
製品一覧
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表示件数
ME-100 3次元実装用マニュアルタイプウエハケミカル洗浄装置
3次元実装用マニュアルタイプのウエハケミカル洗浄装置です！
処理枚数は1-3枚の少量対応の為、研究・実験の用途に最適です。 100V電源で設置に制約がありません。 コンパクトなので１ｍ2（平方メートル）あれば設置可能と経済的です。 純水リンスはカスケード方式による純水使用量を抑えた低コストです。 ケミカル温度をコントロールが可能です。 比抵抗計によりリンス効果を判断します。 ウエハカセットは傾斜を持たせ、ウエハ表面側に液残留を防止します。 将来、２槽（下部タンク共）追加可能なスペースを確保しています。 エアーガン付です。 シャワーノズルでケミカル槽を簡単洗浄出来ます。
- 企業：マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
- 価格：500万円 ~ 1000万円
ウエハ剥離洗浄装置 ME-5700
ウェハをチャンバー内でウォータージェットにより1枚ずつ剥離分離する装置
「ウエハ剥離洗浄装置 ME-5700」は、ウエハを手動で搬送アームにセットし、チャンバー内でウォータージェットにより、1枚ずつ剥離分離後、手動で回収する装置です。外形寸法はL1300×W1200×H2100です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
- 価格：応相談
有機ＥＬ基板洗浄装置 ME-6500-10
有機EL等の基板製造装置に最適です！
基板の洗浄を目的とし、洗浄ブラシ、HPMJ、MS、最終リンス、水切りを経て排出部へ送り出す工程を枚葉にて行う装置です。
- 企業：マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
- 価格：応相談
『ME500-2611』 卓上型自動スピン洗浄装置
限られたスペースを有効活用！卓上型自動スピン洗浄機です。
本装置は、対象ワークを手動にてセットしスピン回転により超音波洗浄、純水リンスエアーブロー乾燥を行う卓上型自動スピン洗浄機です。
- 企業：マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
- 価格：100万円 ~ 500万円
ME-6500 ガラス基板洗浄装置
ＬＣＤ、有機ＥＬ、太陽電池等のガラスの洗浄装置です！
本装置はＬＣＤ、有機ＥＬ、太陽電池等のガラスの洗浄装置です。前工程より入口コンベアへ、ガラスの供給を受け、入口コンベア、シャワー、ロールブラシ、２流体、純水リンス（オプションとしてメガソニック）で 洗浄し水切り乾燥を行い、静電除去した後、出口コンベアに送り出す工程を枚葉式で行う装置です。
- 企業：マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
- 価格：応相談
ME-1000 枚葉式スピン洗浄装置
ブラシ洗浄、超音波洗浄、リンス洗浄、N2ブロー乾燥の処理を行う装置です！
省スペースで、両面洗浄可能なメカグリップ機構の枚葉式スピン洗浄装置です。 メンテナンスが容易で高速、スピン乾燥、Ｎ２乾燥、によりウオーターマークを軽減します。（特許第3558543)
- 企業：マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
- 価格：応相談
金属フィルター再生用洗浄装置 MA-1000
ＳＵＳ製フィルターの再生洗浄を目的とした洗浄機。内圧と外圧により汚れを落とし、再生フィルターとして活用します。
小形、安価な設計となっています。洗浄ノズルを内側と外側に設置し、汚れを完全に落とします。 ワークをワーク台にセットし、ワーク台が回転し、内側から加圧洗浄されます。 フィルターの水切りは電磁弁の切換えにより洗浄ノズルから高圧エアーを吹き出し水切りをします。 オプションとして、超音波洗浄槽もあります。
- 企業：マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
- 価格：100万円 ~ 500万円
ME-5000R 全自動ウエハースピン洗浄装置
フルオートマティックスピン洗浄装置 300mm/8インチウエハー、ガラス
本装置は、ウエハーカセットを本体に手動でセットし、収納されている対象ワークをロボットでスピン洗浄部に送り、スピン回転させながら二流体洗浄・超音波洗浄・N2ブロー乾燥の処理を行い、再びウエハーカセットに収納する装置です。
- 企業：マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
- 価格：1000万円 ~ 5000万円
小型スピン洗浄装置 ME-510
スピン回転により洗剤（界面活性剤等）でブラシ洗浄します。
「小型スピン洗浄装置 ME-510」は対象ワークを手動にてセットし、スピン回転により洗剤（界面活性剤等）でブラシ洗浄し、純水リンス洗浄、エアブロー乾燥の処理を行うマニュアルスピンナーです。対応回転数はMAX3000rpm、対応試料サイズは30～150角、PETフィルム及びガラスとなっています。ブラシ部はブラシ昇降、旋回、ブラシ回転、洗剤供給を行い、純水供給部はエアシリンダーによる旋回、純水供給を行います。本体サイズはW650ｘD800ｘH710でアルミフレームになります。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
- 価格：応相談
