更新日： 集計期間:2025年03月26日～2025年04月22日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。
更新日： 集計期間:2025年03月26日～2025年04月22日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。
更新日： 集計期間:2025年03月26日～2025年04月22日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。
1～15 件を表示 ／ 全 15 件
【デモ機貸し出し可能！】高品質を実現した1キャリア（25枚又は13枚）処理タイプの乾燥装置
SRD型は、従来のすぐれた乾燥性、操作性に加えて高品質を実現した1キャリア（25枚又は13枚）処理タイプの乾燥装置です。 蓋にULPA又は、HEPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入することにより、チャンバー内のクリーン度を飛躍的に向上させます。 クレドールの交換により2～3種類の、ウエハーの乾燥が出来ます。 詳しくはお問い合わせ下さい。
【デモ機貸し出し可能！】シリコン又は化合物半導体ウエハーの少量処理用。コンパクトな卓上型
SFシリーズは、シリコン又は化合物半導体ウエハーの少量処理用として、コンパクトな卓上型の乾燥用に広く使用されています。 操作は極めて簡単で、ウエハーを回転盤上にセット後、上蓋を降ろし、スタートボタンを押すだけで、安全なスピンドライ仕上げを行います。 詳しくはお問い合わせ下さい。
安全でクリーンな乾燥を実現！スピンドライヤー
●発塵要因を徹底的に排除 ●安全でクリーンな短時間乾燥を実現 ●弊社独自のバランシングテクノロジーが静かな回転性能を実現 ●イオナイザー、ＵＬＰＡフィルターを標準装備 ●オプションとして、自動バランス修正機構・ウエハ割れ検出装置を御用意 ●シリコンウエハ以外のスピンドライヤーも対応可能です。ご相談ください。
自転式スピンドライヤー
■吸気量が多いので乾燥効率がN2置換方式に比べ約２倍（当社比）UP。更に大幅なコストダウン。 ■吸気エアーへのイオナイザーはN2のそれに較べ効率は段違い！ウエハの汚れを防止します。 ■パーティクル発生の主原因である軸受部は公転式で実績のある大宮工業独自の構造を採用。いつもクリーンな状態を維持します。 ■オプションで自動バランス調整装置も取付可。枚数差やキャリアの重量差によって発生する振動をキャンセルします。
ワークをクリーンに水切り乾燥します｡
半導体産業向けウエハー乾燥装置として多くの実績を有する装置です｡ 遠心力とULPAフィルタを介したエアーの流れによりワークをクリーンに水切り乾燥します｡ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
クレードル起し機構により､自動でクレードルを起します｡
半導体産業向けウエハー乾燥装置として多くの実績を有する装置です｡ 遠心力とエアーの流れによりワークをクリーンに水切り乾燥します｡ クレードル起し機構により､自動でクレードルを起します｡ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
【デモ機貸し出し可能！】シリコンウエハーやマスク、フィルム基板のスピン乾燥に最適！
〜概要〜 ・フタにULPA又は、HEPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入することによりチャンバー内のクリーン度を飛躍的に向上。 ・クレドールの交換により4〜8インチウエハーの乾燥が出来ます。12インチは2キャリアタイプまで。 ・異常振動が発生した場合、自動的に停止します。
【デモ機貸し出し可能！】上部にクリーンフィルターを設け、チャンバー内のクリーン化を計っています
SPD型は、2又は4キャリーヤーを同時乾燥するもので、上部にクリーンフィルターを設け、本体内を常にクリーンな風を通し、チャンバー内のクリーン化を計っています。 クレドールの交換により4～12インチ、ウエハーの乾燥が出来ます。 詳しくはお問い合わせ下さい。
【デモ機貸し出し可能！】蓋にULP又はHEPAフィルターを内蔵し、クリーン度を飛躍的に向上
本機は、ガラス基板やセラミックス基板、フィルム基板等の乾燥を行う装置です。 乾燥物は、専用カセットに入れた物をスピンドライヤーのローターにカセット枠を設け、其処にセットします。 チャンバー内は回転で陰圧となり、蓋に組み込まれたHEPAフィルターを通過したクリーンの風により、チャンバー内のクリーン度を高め、高品質のスピン乾燥が出来ます。 詳しくはお問い合わせ下さい。
【デモ機貸し出し可能！】卓上型で本体が軽量なため移動が容易です
SFH typeは卓上型のスピンドライヤーです。 特に150mm□以下の基板をカセットに収納し、2カセット又は4カセットを手動でたてに装填し、スピン乾燥を行う卓上型スピンドライヤーです。 蓋にHEPA又はULPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入する事によりチャンバー内のクリーン度を向上させます。 詳しくはお問い合わせ下さい。
スピンドライヤー
カセットに収納したウェハーを回転による遠心力を利用し、効率の良い乾燥(リンスオプション)を可能にしています。 小口径サイズから大口径サイズまで 1カセット卓上型から4カセット自立型まで各種対応 【特長】 ・小型コンパクト設計 ・高乾燥能力 ◆詳細仕様はカタログをご覧ください。◆
1キャリアから4キャリア処理まで対応可能
自動機組込可能 ※割れ易い（GaAsなど）ワーク用も有ります。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください
卓上設置が可能な基板乾燥機
遠心力を利用し、シリコンウェハなど基板状ワークの乾燥処理をおこないます。卓上に設置可能であり、すべての機種の電源はコンセント供給となりますので、設置にともなう追加の電気工事は必要ありません。20mm角基板から6インチウェハまで、各サイズのラインナップを取り揃えております。
