ダイヤフラム・バルブ DL/DSシリーズ
耐圧部材はすべて金属
DL シリーズ/ DS シリーズ ◆特徴 ■パッキンを用いておらず、耐圧部材はすべて金属 ■使用圧力範囲:真空から 24.1 MPa まで ■使用温度範囲:273°C から 121°C まで
- 企業:スウェージロック・ジャパン
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2025年11月26日~2025年12月23日
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耐圧部材はすべて金属
DL シリーズ/ DS シリーズ ◆特徴 ■パッキンを用いておらず、耐圧部材はすべて金属 ■使用圧力範囲:真空から 24.1 MPa まで ■使用温度範囲:273°C から 121°C まで
超高純度用大流量ダイヤフラム・バルブ
ダイヤフラム・バルブは、流路から障害物を一掃したデザインでたまり部を 最小限に抑え、パージを促進することで、システム効率を向上させると共に、効率的に流れを締め切ります。さまざまなサイズや材質はもちろん、 原子層蒸着(ALD)用、サーマル・イマージョン、スプリングレス・タイプなど、各種形状を選ぶことができ、高純度用途および超高純度用途でのシステム要件に適合します。
半導体製造装置およびその周辺配管で要求されるクリーン度に対応したウルトラクリーンダイヤフラムバルブ『UCVシリーズ』。
本カタログには下記アイテムが記載されております。 ・3Lシリーズ(オールメタルシール) ・2Lシリーズ(ソフトシール) ・EVZSシリーズ(かしめシート) ・2LEシリーズ(コンパクト型) 用途、流体に合わせた仕様のバルブをお選びいただく事が可能です。 耐圧:1Mpa、16MPa、21MPa 温度:250℃(オールメタルシール3LT) 2L、3Lシリーズではダブルメルト材ボディを使用しバルブからのパーティクル発生を極力抑えます。 半導体装置に要求されるクリーン度を高いレベルで実現し、製造ラインでの歩留まりを改善します。 また、高純度ラインで使用可能は流量調整弁2LMシリーズもご用意しております。 海外仕様のダイヤフラムバルブ、モノブロックバルブ、面実装対応のバルブをお探しの方はお問い合わせフォームよりリクエスト下さい。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
「KDシリーズ」をベースに更なるコンパクト化を実現!基本性能は「KDシリーズ」を全て受け継いだハイスペックバルブ
『KCDシリーズ』は、「KDシリーズ」をベースとして更なるコンパクト化を 図ったダイレクトダイヤフラムバルブです。 耐久性能を落すことなく、自動弁400万回、手動弁10万回を実現。 最高レベルの製造環境と内面研磨処理により、多くの半導体用高純度ガスに 対応しパーティクル性能を極限まで追及しました。 【特長】 ■KDシリーズの内容積1.2cm3に対し、0.97cm3まで小さくする事に成功 ■品種を1/4" サイズに限定しKDシリーズと同じデザインを持ちながら 外観サイズを約20%縮小、重量も軽量化 ■耐久性能を落すことなく、自動弁400万回、手動弁10万回を実現 ■多くの半導体用高純度ガスに対応しパーティクル性能を極限まで追及 #空圧 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体製造プロセス用高純度ガスに対応!高いシール性能と高耐久化、脱ガス性能、耐蝕性能を極限まで追求
『KDシリーズ』は、高いCv値を実現し、半導体用高純度ガスに対応できる 品質を備え、高耐久・高耐蝕性能を両立させた信頼性の高いバルブです。 ボディ縦穴寸法を最小限にし、内容積を1.36cm3まで小さくする事により 優れたガス置換特性を実現。 最高レベルの製造環境と内面研磨処理により、半導体用高純度ガスに 対応しパーティクル性能を極限まで追及しました。 【特長】 ■内容積を1.36cm3まで小さくする事により優れたガス置換特性を実現 ■高いシール性能と高耐久化、脱ガス性能、耐蝕性能を極限まで追求 ■厳選されたダイヤフラム素材による高耐蝕性能と、独自の成型方法による 加工により極限まで個体差をなくし、高い耐久性能を実現 ■半導体用高純度ガスに対応しパーティクル性能を極限まで追及 #空圧 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
駆動部品数の最小化、単純化を実現!半導体用高純度ガスに対応し、パーティクル性能を極限まで追求したダイヤフラムバルブ
『VLDシリーズ』は、「KDシリーズ」をベースとして使いやすさと シンプルさを追求したダイヤフラムバルブです。 基本性能や素材及び洗浄度はそのままで部品の見直しや加工方法の変更及び 部品数を削減し安全で且つ低プライスを実現。 最高レベルの製造環境と内面研磨処理により、半導体用高純度ガスに対応し パーティクル性能を極限まで追求しました。 【特長】 ■駆動部品数の最小化、単純化を実現 ■安全で且つ低プライスを実現 ■洗浄工程及び検査工程は従来モデルと同等 ■信頼性及び耐久性性能は変わらない ■半導体用高純度ガスに対応しパーティクル性能を極限まで追求 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
1台で流量調整と全開/全閉の2段階のコントロールを可能とした画期的な複合バルブです。
『ツーステップバルブ』は、1台で手動による流量調整と エアーアクチュエーターによる全開/全閉の2段階のコントロールを 可能とした画期的な複合バルブです。 ニードルではなくダイヤフラムで流体を制御するため、 パーティクルフリーとスピーディーなガス供給を実現。 従来システムのバイパス配管や制御機器が不要になり、 大幅なコストダウンと省スペース化が可能です。 【特長】 ■1台で手動による流量の調整とエアーアクチュエーターによる 全開/全閉の2段階のコントロールを可能 ■パーティクルフリーとスピーディーなガス供給を実現 ■従来システムのバイパス配管や制御機器が不要 ■大幅なコストダウンと省スペース化が可能 ■使用目的に合わせた好適なCv値が任意で設定できる ※KITZ SCTでは半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っています。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
異常圧力が発生した際、配管内の圧力を下げる安全機能付きダイヤフラムバルです。シリンダーキャビネット等の安全対策に!
『KDシリーズ』は、異常圧力が発生した際、配管内の圧力を下げる 安全機能付きダイヤフラムバルブです。 選べるクラッキング圧力(1.0-1.4MPa(G)または1.6-2.0MPa(G))と 接ガス部にスプリング・Oリングが無いパーティクルフリー構造。 シリンダーキャビネット等の安全対策にご使用いただけます。 【特長】 ■配管内がクラッキング圧力以上になると自動的に一次側の 圧力を下げる安全機能が搭載 ■選べるクラッキング圧力(1.0-1.4MPa(G)または1.6-2.0MPa(G)) ■接ガス部にスプリング・Oリングが無いパーティクルフリー構造 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高性能、コンパクト、低価格を実現!均熱性を必要とする有機金属系の半導体プロセスに好適
『高温(250℃)対応バルブ』は、バルブ構成部品を全て オールメタル化することにより、250℃での使用が可能です。 独自の設計により高温環境でのCv値の落ち込みを極力減少させ、 高性能、コンパクト、低価格を実現。 また、接ガス部だけでなく、アクチュエーターを含むバルブの 構成部品全てが高温環境下で使用可能なため、均熱性を必要とする 有機金属系のプロセスで好適に使用することが出来ます。 【特長】 ■バルブ構成部品全てオールメタル化により、250℃での使用が可能 ■Cv値の落ち込みを極力減少させ、高性能、コンパクト、低価格を実現 ■アクチュエーターを含むバルブの構成部品全てが高温環境下で使用可能 ■均熱性を必要とする有機金属系のプロセスで好適に使用することが出来る ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体原料容器輸送時のリスクに先手を打つ。安全対策の事例を進呈中。
出荷時はしっかり閉まっていた原料容器バルブが、輸送時の振動により緩んでしまう、 ハンドルが半開しているのに気づかずに作業者がキャップやプラグを外してしまったなど、 原料容器輸送時における緩み防止、ヒューマンエラーなどの課題はありますか。 KKITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお問い合わせください。 ホームページ:https://www.kitzsct.com/contact/product/?utm_source=Ipros&utm_medium=web&utm_campaign=Arbooth
『流路まるごと事例集』半導体ガス供給装置輸送時のリスクに先手を打つ。安全対策の事例を進呈中
出荷時に装置に付属するバルブが閉まっていることを確認していたが、輸送時の振動によりバルブハンドルが緩んでしまった。バルブハンドルに鍵をつけて管理しているものの作業者の鍵開け作業に時間がかかっている、など、装置輸送時における緩み防止などの課題はありますか。 KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお問い合わせください。 ホームページ:https://www.kitzsct.com/contact/product/?utm_source=Ipros&utm_medium=web&utm_campaign=Arbooth
『流路まるごと事例集』錠やタグ付きワイヤーでバルブをロック!バルブ誤操作対策の事例を進呈中
忙しい時や、普段行わない操作が発生した場合などではオペレーションミスが起こりがちです。作業者の心理的負担を減らすことでヒューマンエラーによる事故を防ぐ事例をご紹介します。 KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお問い合わせください。 ホームページ:https://www.kitzsct.com/contact/product/?utm_source=Ipros&utm_medium=web&utm_campaign=Arbooth
『流路まるごと事例集』バルブ全体を最高200℃ の高温環境で使用できるPFA樹脂シートのダイヤフラムバルブの事例を進呈中
バルブ全体をヒーティングしたい、ハンドルを付けたまま恒温槽に入れられるバルブ、ガス量の安定と再現があるバルブ欲しいなど、お困りごとはありませんか? KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお問い合わせください。 ホームページ:https://www.kitzsct.com/contact/product/?utm_source=Ipros&utm_medium=web&utm_campaign=Arbooth
『流路まるごと事例集』半導体材料メーカー様 必見!分解洗浄を可能としたダイヤフラムバルブの事例を進呈中
材料容器(キャニスター)に使用したバルブをクリーニングするが、内部に汚れが残ってしまう。 バルブが溶接されたキャニスターはバルブとキャニスターの両方を交換しなければならず、ランニングコストがかさんでしまう。 シートとダイヤフラムが交換できるバルブを使用しているが、作業者ごと作業時間や作業工程が違ってしまっている、、、、 といったお悩みはありませんか? KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお問い合わせください。 ホームページ:https://www.kitzsct.com/contact/product
半導体材料メーカー様 必見!固体材料供給における高温化の課題への提案の事例を進呈中
250℃の供給プロセスでオールメタルバルブを使用しているが、耐久回数に不満がある。 200℃の供給プロセスでシート交換できないバルブを使用しているため、バルブを交換しなければならず、ランニングコストがかさんでしまう。 200℃対応のバルブを使用しているが、駆動部が高温に耐えられず、ボディ部のみをヒーティングしている。ボディに装着したヒーターの熱が駆動部側から放熱してしまい、困っている、、、 といったお悩みはありませんか? KITZ SCT では流路のお悩みをトータルでご提案しております。気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお問い合わせください。 ホームページ:https://www.kitzsct.com/contact/product