高温対応・PFAシート部脱着可能なダイヤフラムバルブ
材料容器・半導体製造プロセスに適した、高純度ガス系バルブ。シート部脱着交換可能かつ、最高250度までの高温環境下で使用可能。
高純度ガス系バルブ『ZDシリーズ』『ZD-Kシリーズ』(高温リプレイサブルバルブ)は、 シート部脱着交換可能かつ、高温環境下で使用可能なダイヤフラムバルブです。 【特長】 ■お客様自身でバルブシート交換が可能! バルブ内洗浄の際などにシート部のみの脱着交換が可能なためバルブを再利用できます。材料容器用など、バルブを洗浄・交換する用途に適しています。 ※メンテナンス後は製品保証外となります ■高温環境下で使用可能! 流体が通る内部だけでなく、外部も高温環境に耐性があります。 『ZDシリーズ』200℃まで、『ZD-Kシリーズ』250℃までの高温環境下で使用できます。 ■PFAシート採用による耐久性能の向上 メタルシートからPFAシートに変更することで、耐久性能を約16倍向上 ※ ※当社実績値比較 ※メタルシート:5万回、ZD-Kシリーズ PFAシート:80万回 当社は半導体製造における流体関連のお悩みに対して様々な提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご参照またはお気軽にお問い合わせ下さい
- 企業:株式会社キッツエスシーティー
- 価格:応相談