【ダイヤフラム弁】ウエアレスダイヤフラムバルブ LPS
特殊加工により、軽量化を実現したダイヤフラムバルブです。
<特長> 1.流路はストレート。 2.軸封用のグランドが無い。 3.ボディを配管したままで、分解・組立できます。 4.ボディ内面仕上げにバフ研磨を使用していません。 5.ステンレス製特殊加工により軽量化。
- 企業:株式会社フジキン(Fujikin Incorporated)
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2025年03月26日~2025年04月22日
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特殊加工により、軽量化を実現したダイヤフラムバルブです。
<特長> 1.流路はストレート。 2.軸封用のグランドが無い。 3.ボディを配管したままで、分解・組立できます。 4.ボディ内面仕上げにバフ研磨を使用していません。 5.ステンレス製特殊加工により軽量化。
ステンレスアクチュエータ仕様のダイヤフラムバルブです。
ご好評いただいておりますステンレス製アングルシートバルブ”Type 2000 INOX”のダイヤフラムバルブ機種”Type 2031 INOX”をライナップいたしました。 従来のビュルケルト株式会社ダイヤフラム製品で培ってきました優れた流量特性とゼロデットボリュームをそのままに、コンパクトなフルステンレス製品を実現しました。 本製品は、単作動(スプリングリターン)専用の型式となっております。 【特徴】 ○コンパクトなデザイン ○オールステンレス製(アクチュエータ,バルブ本体) ○ゼロデットボリューム ○FDA/USP品質認証 (Quality certifications) 取得 ----------------------------------- 弊社日本語版データシートは、弊社最新のデータシート(英語版)と、 完全に対応していないこともございます。詳細な仕様確認やご選定の際には、 以下のフォームより弊社にお問い合わせ頂ければ幸甚です。 -----------------------------------
ダイヤフラムバルブ
■材質 接液部がSUS316L、PTFEですので、溶出や腐食の心配がありません。さらに、アクチュエータにもステンレス材を採用していますので、外部の悪雰囲気や結露による腐食の心配はありません。 ■シール 流路のシールは、ステムに取り付けられたPTFE製シーリングをSUSボディー側弁座に押し付けることにより、確実に行われます。 ステム側とアクチュエーターはダイヤフラムにて遮断されているので、摺動部の接液が原因のコンタミネーションや外部雰囲気の混入による汚染の心配がありません。 ■無滞留 液溜りがほとんどありません。特にボールバルブ等に比べて、タンクの製品を効率良く取り出すことができます。 ■洗浄 残留物が少なく、摺動部が接液していないので、洗浄時間が短縮でき、洗浄水を節約できます。定置洗浄(CIP)対応です。 ■滅菌 高温対応の材質を使用しておりますので、定置滅菌(SIP)に対応しています。 ■メンテナンス ステムがアクチュエーター側に抜ける構造になっていますので、ボディーを配管ラインからはずすことなく、メンテナンスが簡単に行えます。
ダイヤフラムバルブ
■材質 接液部がSUS316L、PTFEですので、溶出や腐食の心配がありません。さらに、アクチュエータにもステンレス材を採用していますので、外部の悪雰囲気や結露による腐食の心配はありません。 ■シール 流路のシールは、ステムに取り付けられたPTFE製シーリングをSUSボディー側弁座に押し付けることにより、確実に行われます。 ステム側とアクチュエーターはダイヤフラムにて遮断されているので、摺動部の接液が原因のコンタミネーションや外部雰囲気の混入による汚染の心配がありません。 ■無滞留 液溜りがほとんどありません。特にボールバルブ等に比べて、タンクの製品を効率良く取り出すことができます。 ■洗浄 残留物が少なく、摺動部が接液していないので、洗浄時間が短縮でき、洗浄水を節約できます。定置洗浄(CIP)対応です。 ■滅菌 高温対応の材質を使用しておりますので、定置滅菌(SIP)に対応しています。 ■メンテナンス ステムがアクチュエーター側に抜ける構造になっていますので、ボディーを配管ラインからはずすことなく、メンテナンスが簡単に行えます。
スラリーや酸に対する性能が向上したフルオロポリマー製ダイヤフラム・バルブ
DRPシリーズは、独自の半球形のバルブ流路デザインとダイヤフラム形状により、バルブ内部における流体の 溜り部分を削減させ、接液・接ガス表面を素早く洗浄することができます。特に、スラリーを使用する CMPプロセスにおいては、スラリーの突発的な変化の可能性を低減させるために、流体のせん断の発生を最小限に 抑えています。次世代PTFE製ダイヤフラムは、その独自の形状で、作動時の応力を最小化し、耐久性、シールの 完全性、長いサイクル・ライフを促進します。また、ダイヤフラムの厚さを最大限に確保して、酸が透過する可能性を最小に低減しています。同製品は、高い耐化学薬品性と純度を実現するために、接液・接ガス部に、次世代フッ素樹脂、デュポン(R)テフロン(R)を採用しております。さらに、「超純水および液体化学薬品配分システム内に使用するポリマー製部品の暫定仕様」SEMI(R)F57-0301の要件に適合しています。
ラジアル・ダイヤフラム・バルブ DR シリーズを使用すると、滅菌フローの管理を清浄かつコンパクトに行うことができます。
接液・接ガス部の材質:316L ステンレス鋼および次世代PTFE/コンパクトで、さまざまなタイプのマルチバルブ/マルチポート・ボディ/エンド・コネクション:サニタリー・クランプ継手、突き合わせ溶接など/アクチュエーター(空気式、手動式)の材質:プラスチック、アルミニウム/サイズ:1/2 インチ、3/4 インチ、1 インチ、1 1/2 インチ、2 インチ
耐圧部材はすべて金属
DL シリーズ/ DS シリーズ ◆特徴 ■パッキンを用いておらず、耐圧部材はすべて金属 ■使用圧力範囲:真空から 24.1 MPa まで ■使用温度範囲:273°C から 121°C まで
超高純度用大流量ダイヤフラム・バルブ
ダイヤフラム・バルブは、流路から障害物を一掃したデザインでたまり部を 最小限に抑え、パージを促進することで、システム効率を向上させると共に、効率的に流れを締め切ります。さまざまなサイズや材質はもちろん、 原子層蒸着(ALD)用、サーマル・イマージョン、スプリングレス・タイプなど、各種形状を選ぶことができ、高純度用途および超高純度用途でのシステム要件に適合します。
半導体製造装置およびその周辺配管で要求されるクリーン度に対応したウルトラクリーンダイヤフラムバルブ『UCVシリーズ』。
本カタログには下記アイテムが記載されております。 ・3Lシリーズ(オールメタルシール) ・2Lシリーズ(ソフトシール) ・EVZSシリーズ(かしめシート) ・2LEシリーズ(コンパクト型) 用途、流体に合わせた仕様のバルブをお選びいただく事が可能です。 耐圧:1Mpa、16MPa、21MPa 温度:250℃(オールメタルシール3LT) 2L、3Lシリーズではダブルメルト材ボディを使用しバルブからのパーティクル発生を極力抑えます。 半導体装置に要求されるクリーン度を高いレベルで実現し、製造ラインでの歩留まりを改善します。 また、高純度ラインで使用可能は流量調整弁2LMシリーズもご用意しております。 海外仕様のダイヤフラムバルブ、モノブロックバルブ、面実装対応のバルブをお探しの方はお問い合わせフォームよりリクエスト下さい。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
「KDシリーズ」をベースに更なるコンパクト化を実現!基本性能は「KDシリーズ」を全て受け継いだハイスペックバルブ
『KCDシリーズ』は、「KDシリーズ」をベースとして更なるコンパクト化を 図ったダイレクトダイヤフラムバルブです。 耐久性能を落すことなく、自動弁400万回、手動弁10万回を実現。 最高レベルの製造環境と内面研磨処理により、多くの半導体用高純度ガスに 対応しパーティクル性能を極限まで追及しました。 【特長】 ■KDシリーズの内容積1.2cm3に対し、0.97cm3まで小さくする事に成功 ■品種を1/4 サイズに限定しKDシリーズと同じデザインを持ちながら 外観サイズを約20%縮小、重量も軽量化 ■耐久性能を落すことなく、自動弁400万回、手動弁10万回を実現 ■多くの半導体用高純度ガスに対応しパーティクル性能を極限まで追及 #空圧 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体製造プロセス用高純度ガスに対応!高いシール性能と高耐久化、脱ガス性能、耐蝕性能を極限まで追求
『KDシリーズ』は、高いCv値を実現し、半導体用高純度ガスに対応できる 品質を備え、高耐久・高耐蝕性能を両立させた信頼性の高いバルブです。 ボディ縦穴寸法を最小限にし、内容積を1.36cm3まで小さくする事により 優れたガス置換特性を実現。 最高レベルの製造環境と内面研磨処理により、半導体用高純度ガスに 対応しパーティクル性能を極限まで追及しました。 【特長】 ■内容積を1.36cm3まで小さくする事により優れたガス置換特性を実現 ■高いシール性能と高耐久化、脱ガス性能、耐蝕性能を極限まで追求 ■厳選されたダイヤフラム素材による高耐蝕性能と、独自の成型方法による 加工により極限まで個体差をなくし、高い耐久性能を実現 ■半導体用高純度ガスに対応しパーティクル性能を極限まで追及 #空圧 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
コンパクト化と低トルク化を実現しました高圧対応のダイヤフラムバルブ!手動弁と自動弁をご用意!
『RDシリーズ』は、高圧に対応するバルブでありながら、コンパクト化と 低トルク化を実現したダイヤフラムバルブです。 「手動弁」は、なめらかな操作感触となっており、一目で開閉状態が 確認できるように、大きい窓と見やすいOPEN/CLOSE表示を採用。 「自動弁」は、ボディとアクチュエーター結合部の剛性をアップして、 信頼性を向上させ、特許を取得しているクサビ式倍力機構を採用することで、 コンパクトで高耐久のアクチュエーターを実現しました。 【特長】 <手動弁> ■大型ホイールハンドルの採用により、なめらかな操作感触 ■一目で開閉状態が確認できるように、大きい窓と見やすいOPEN/CLOSE表示を採用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
駆動部品数の最小化、単純化を実現!半導体用高純度ガスに対応し、パーティクル性能を極限まで追求したダイヤフラムバルブ
『VLDシリーズ』は、「KDシリーズ」をベースとして使いやすさと シンプルさを追求したダイヤフラムバルブです。 基本性能や素材及び洗浄度はそのままで部品の見直しや加工方法の変更及び 部品数を削減し安全で且つ低プライスを実現。 最高レベルの製造環境と内面研磨処理により、半導体用高純度ガスに対応し パーティクル性能を極限まで追求しました。 【特長】 ■駆動部品数の最小化、単純化を実現 ■安全で且つ低プライスを実現 ■洗浄工程及び検査工程は従来モデルと同等 ■信頼性及び耐久性性能は変わらない ■半導体用高純度ガスに対応しパーティクル性能を極限まで追求 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
1台で流量調整と全開/全閉の2段階のコントロールを可能とした画期的な複合バルブです。
『ツーステップバルブ』は、1台で手動による流量調整と エアーアクチュエーターによる全開/全閉の2段階のコントロールを 可能とした画期的な複合バルブです。 ニードルではなくダイヤフラムで流体を制御するため、 パーティクルフリーとスピーディーなガス供給を実現。 従来システムのバイパス配管や制御機器が不要になり、 大幅なコストダウンと省スペース化が可能です。 【特長】 ■1台で手動による流量の調整とエアーアクチュエーターによる 全開/全閉の2段階のコントロールを可能 ■パーティクルフリーとスピーディーなガス供給を実現 ■従来システムのバイパス配管や制御機器が不要 ■大幅なコストダウンと省スペース化が可能 ■使用目的に合わせた好適なCv値が任意で設定できる ※KITZ SCTでは半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っています。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。