【分析事例】μm(ミクロン)オーダーのXPS深さ方向分析
数μmの深さまで深さ方向分析を行います
XPSは表面敏感な手法でありサンプル表面の評価に広く用いられますが、イオンエッチングを併用することで深さ方向の分析が可能です。 XPSでは深さ方向の組成分布に加えて結合状態の評価も可能なため、装置部材表面の変色の原因調査などに適しています。 本資料ではターボ分子ポンプの羽の変色部について、XPSで評価した事例を紹介します。
- 企業：一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- 価格：応相談
表面分析装置 - メーカー・企業14社の製品一覧とランキング
更新日： 集計期間:2025年10月08日～2025年11月04日
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表面分析装置のメーカー・企業ランキング
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- 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST 東京都/試験・分析・測定
- 株式会社パスカル 大阪府/産業用機械
- セイコーフューチャークリエーション株式会社 千葉県/試験・分析・測定
- 4 シエンタ オミクロン株式会社 東京都/試験・分析・測定
- 5 ザ・ブルーボアハウス株式会社 東京都/産業用電気機器
表面分析装置の製品ランキング
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- 【分析事例】化学修飾XPSによる水酸基の定量 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- 【分析事例】Cu表面のXPSによる酸化状態評価 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- 【分析事例】μm(ミクロン)オーダーのXPS深さ方向分析 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- 4 【分析事例】TOF-SIMS Siウエハ保管による表面汚染評価 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- 4 飛行時間型原子散乱表面分析装置『TOFLAS-3000』 株式会社パスカル
表面分析装置の製品一覧
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2022年4月15日（金）MST熊本営業所がオープン致しました！
熊本営業所を拠点とし、九州地区のお客様へ更なるサービス向上を目指します。
MST九州地区初の熊本営業所がオープン致しました。 熊本営業所を拠点とし、九州地区のお客様へ更なるサービス向上を目指します。 貴社へ訪問してのお打ち合わせ、営業所での分析相談も可能です。 東京本部（ラボ）との密接な連携で納得の品質・納期を実現します。 ご期待ください。 開所日：2022年4月15日（金） 住所：熊本県菊池郡大津町室161-1 ステーションM 102 ※サンプルのご送付は、東京都世田谷区の本部宛てにお願いします。 本部住所：東京都世田谷区喜多見1-18-6 電話番号：090-7017-3882（担当：武田）
- 企業：一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- 価格：応相談
【分析事例】Cu表面のXPSによる酸化状態評価
Cuスペクトルの成分分離、定量、膜厚算出
Cu2p3/2スペクトルとCuオージェスペクトル等の解析から、Cu表面の結合状態・定量評価・膜厚評価が可能です。 主な応用例として、Cu配線のCMP処理・洗浄の評価、Cu電極の錆・変色調査が挙げられます。 各種処理を施したCu表面状態および酸化膜厚についてまとめます。 （クリーンルーム環境下にて処理し、直後に測定を行うことが可能です。）
- 企業：一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- 価格：応相談
【分析事例】セラミックスの変色原因評価
TOF-SIMSでは無機材料の変色原因のイメージングが可能
セラミックスは日用品から電子部品まで幅広く利用されている無機化合物材料です。不純物や付着物により生じるセラミックスの変色評価には、着目箇所について有機物・無機物を問わず微量成分のイメージング分析が可能なTOF-SIMS分析が有効です。 本資料ではAl酸化物のセラミックス変色部分をTOF-SIMSで分析し、イオンイメージとラインプロファイルで変色原因を示した事例を紹介します。 測定法：TOF-SIMS 製品分野：製造装置・部品 分析目的：組成分布評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
- 企業：一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- 価格：応相談
【分析事例】セラミックス表面における洗浄成分の分布評価
洗浄成分の分布の可視化や深さ方向の分布の評価が可能
セラミックスは日用品から電子部品まで幅広く利用されている無機化合物材料です。その表面状態は日用品や電子部品などの材料の性質・性能に大きく影響しています。そのため、セラミックスの機能を判断するうえで、表面状態を適切に評価することは重要です。 本資料ではZr酸化物からなるセラミックス表面のぬれ性に寄与する洗浄成分について、表面分布および深さ方向分布をTOF-SIMSで評価した事例を紹介します。 測定法：TOF-SIMS 製品分野：製造装置・部品 分析目的：定性・分布評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
- 企業：一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- 価格：応相談
【分析事例】二次電池正極表面被膜の組成分析
有機成分および活物質表面の分布評価、定性分析
リチウムイオン二次電池の正極表面における成分の偏析や被膜の形成は、電気容量に影響する一因と なります。正極として用いられるLi（NiCoMn)O2（NCM）について、AESによる微小領域マッピングおよびXPS、TOF-SIMSによる有機成分（バインダー）や活物質表面被膜の定性分析を行った事例を紹介いたします。これらの手法では、測定までの一連の処理をAr雰囲気下で行い、試料の変質を抑えた分析が可能です。
- 企業：一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- 価格：応相談
【分析事例】XPSによる広域定量マッピング
最大70×70mm領域の組成分布評価が可能です
XPSによる広域定量マッピングの事例を紹介します。 シリコンウエハ上の有機物残渣について、以下の手順で評価しました。ピーク強度ではなく存在量（原子濃度）をグラフ化するため、試料凹凸等の影響を受けにくく、且つ広域でのデータ取得が可能です。 試料表面の組成分布を俯瞰的に評価できるため、有機系・無機系の汚染、変色、表面処理等の調査に 適しています。
- 企業：一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- 価格：応相談
【資料DL可：XPS/AES/AFM】表面分析に関する事例集2
変色調査や表面改質評価などXPS、AES、AFMによる事例を厳選しました。ぜひご覧いただき資料ダウンロードください
当事例集では、『表面分析』にかかる事例をご紹介します。 「XPSによる材料表面の変色調査」をはじめ、「XPSによるPET表面改質評価」や、 「XPSによる撥水膜の分析」、「メッキ部品の加熱影響評価」などの 特長や分析事例を多数掲載。 他にも、解析結果や変色調査、表面改質評価、撥水膜の分析などご紹介しております。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容】 ■XPSによる材料表面の変色調査 ■XPSによるPET表面改質評価 ■XPSによる撥水膜の分析 ■メッキ部品の加熱影響評価(AFM、AES) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：セイコーフューチャークリエーション株式会社
- 価格：応相談
シエンタオミクロン 表面分析装置 ESCA
X線光電子分光分析装置
X線光電子分光分析装置をご用意しております。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
- 企業：シエンタ オミクロン株式会社
- 価格：応相談
書籍 表面・深さ方向の分析方法【新装版】
表面分析について、分析をご専門としていない開発者や製造者の方にも分かりやすく解説!
○発刊日2007年12月10日○体裁B5判並製本 618頁○価格：本体 33,000円＋税 →STbook会員価格：31,350円＋税 初版 2007年12月 本書は、2007年12月発刊「表面・深さ方向の分析方法」 (ISBN 978-4-903413-30-3)の装丁および価格を改訂したものです。 内容は2007年の書籍と同じですので、ご購入時にお間違えないようご注意ください。 ○著者： 副島 啓義(株) 島津総合科学研究所 / 寺谷 武(株) 住化分析センター / 村山 順一郎 住友金属テクノロジー(株) / 長町 伸治 (株)イオン工学研究所 / 石井 慶造 東北大学 / 柿田 和俊(株)日鐵テクノリサーチ / 西埜 誠 (株)島津製作所 / 石川 真起志 カメカインスツルメンツ(株) / 星 孝弘 アルバック・ファイ(株) / 川田 哲 エスアイアイ・ナノテクノロジー(株) / 吉見 聡 (株)島津総合分析試験センター / 他45名光
- 企業：S&T出版株式会社
- 価格：1万円 ~ 10万円
技術情報誌 201902-02 大気圧RBS分析の開発
技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。
【要旨】 多くの場合、表面分析において分析対象は真空に保持できるものに限定される。一方で、高速イオンのポテンシャルを応用すれば、分析プローブを大気圧下に引き出すことができる。TRCでは大気圧におけるラザフォード後方散乱分光法（RBS）を検討し、その実現に成功した。本稿では大気圧RBSによる固体／液体界面の深さ方向分析、HeLa細胞中量子ドットの深さ分布評価、及び大気圧RBS/HFS（水素前方散乱分析）による湿潤試料中水素の深さ方向分析事例を報告する。 【目次】 １．はじめに ２．固体／液体界面分析 ３．生体試料への展開 ４．TRCにおける測定システム開発：大気圧RBS/HFS分析 ５．まとめ
- 企業：株式会社東レリサーチセンター
- 価格：~ 1万円
ブライトサインス社 自動 表面分析装置 5001手持ち式
高速、簡単、正確、非破壊の表面接触角分析装置。 ダイン値にとって代わる、表面エネルギー（濡れ性）を測定します。
ブライトサインス社USAのSurface Analyst 5001 は、ハンディー式完全表面分析装置で、水接触角を分析することで製造業者が接着、コーティング、シーリング、塗装、印刷、または洗浄用途の材料表面の品質を定量化できるようにします。スタンドアロンモデル（非ネットワーク仕様）、現場で手持ち式で測定します。対象材料はウェブ（紙、フィルム、炭素繊維の複合材料）や3D部品材料（鉄、アルミ、非鉄金属やプラスチックなど）なんでも可能です。
- 企業：ザ・ブルーボアハウス株式会社
- 価格：500万円 ~ 1000万円
飛行時間型原子散乱表面分析装置『TOFLAS-3000』
結晶方位・極製は15分で一目瞭然！帯電の影響がなく安定した表面分析が可能！
『TOFLAS-3000』は、金属、半導体、絶縁体などの固体表面の結晶構造および 元素分析を同時に行うことができる原子散乱表面分析装置です。 本装置は同軸型直衝突イオン散乱分光法（CAICISS）を発展させ、電気的に中性なHe(Ne、Ar)等の原子ビームを探査プローブとして用いている為、絶縁体でも帯電の影響がなく安定した表面分析が可能です。 結晶表面構造解析では、入射角の全方位スキャンの実施により結晶表面に固有のパターンが得られ、表面構造の判定を視覚的に容易に行うことができます。 【特長】 ■結晶方位や対称性あるいは極性結晶の表裏などが視覚化される ※ウルツ鉱構造の結晶(GaNやAlN等)の表裏判別も容易 ■表面近傍の層毎の元素分析と結晶構造解析が簡単 ※極薄膜の解析も可能 ■極点図シミュレーションと同期させれば、“見て来た様に”操作できる ■絶縁体試料や有機分子膜などの配向決定等にも問題なし ■SIMSの同時計測により、不純物の高感度評価(TOFスペクトルと相補的) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※依頼分析も賜っております。
- 企業：株式会社パスカル
- 価格：応相談
表面分析装置『超高真空表面構造分析装置』
金属薄膜作製に好適なEBエバポレーターなどを搭載した表面構造分析装置！
『超高真空表面構造分析装置』は、半導体やモデル触媒等における LEED回折像、オージェ分析、昇温脱離分析が行える表面分析装置です。 分析計にはLEED/AES質量分析計を搭載しており、金属薄膜作製に適した EBエバポレーターなどを装備しています。 ご要望の際は、お気軽にお問い合わせください。 【仕様】 ■表面分析系：LEED/AES ■蒸発源：超高真空エバポレーター「AEVシリーズ」 ■ガスソース：水素クラッキング銃「AEVシリーズ」 ■試料加熱：直接通電加熱式（TC コンタクト式サンプルホルダー） ■試料マニピュレーター：X,Y,Z,θ,面内回転軸の5軸操作 など ※詳細はお問い合わせください。
- 企業：株式会社エイブイシー
- 価格：応相談
【資料】XPS（ESCA）による変色変質素材の表面分析
問題の対策や回避が可能！元素および結合状態分析で比較検証した事例をご紹介
素材は、使用環境により変質変色することが多いです。 変質変色により製品の性能や意匠性に問題が生じますが、 化学分析によりその分子構造の変化を把握解明することで、 問題の対策や回避が可能となります。 当資料では、表面分析による元素および結合状態分析で 比較検証した事例をご紹介しています。 【掲載内容】 ■分析サンプル ■XPS（ESCA）による元素分析結果 ■XPS（ESCA）による結合状態分析結果（ポリカーボネート） ■XPS（ESCA）による結合状態分析結果（塩化ビニール） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社アイテス
- 価格：応相談
