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メーカー問わず、どんな装置でもお気軽にお問い合わせ下さい！
お客さまに安心して製品をご使用いただくためには信頼できるサポート体制も不可欠です。 北野精機ではお客さまにご使用いただいている装置の状態を最良に保つため、充実したサポート体制を整えています。 お客さまの製品使用環境や、さまざまなニーズに合ったサービスを適正なコストで提供いたします。 【各種装置・ユニット類】 ○蒸着装置（MBE・CVD・EB・スパッタなど） ○分析装置（STM・FIM・TEM・AESなど） ○各種マニピュレーター ○各種試料搬送機構 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
白色干渉搭載レーザ顕微鏡や顕微ラマン分光測定装置など！分析機器を多数掲載
当資料では、さまざまな分析機器を一覧表にしてご紹介しております。 「高分解能ガスクロマトグラフ質量分析装置(HRGC/HRMS)」をはじめ、 「超薄膜スクラッチ試験機」や「マイクロビッカース硬さ試験機」など 豊富に掲載。 また分析項目は、分子量分布や分離分析といった“材料分析関連”と、 放射線測定や悪臭分析などの“環境測定分析関連”がございます。 ぜひ、ダウンロードしてご覧ください。 【掲載機器設備（一部）】 ■超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡-EDS(FE-SEM/EDS) ■走査電子顕微鏡-エネルギー分散形特性X線分析装置(SEM-EDS) ■エネルギー分散型蛍光X線分析装置(EDX) ■紫外可視近赤外分光分析装置(UV-VIS-Nir) ■フーリエ変換赤外分光分析装置(FT-IR) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
サンプル本来の状態を評価することが可能
■特徴 ・大気非暴露下でサンプルを扱うことで、反応性の高いサンプルについても変質・変化を最小限に抑えることが可能 ・大気非暴露下での切断・剥離・測定面出し加工により、大気の二次汚染・酸化を抑えることが可能 ?・大気非暴露下で評価可能な手法： SIMS、TOF-SIMS、AES、XPS、SEM、TEM、STEM、Raman、XRD、FIB 等
雰囲気の影響を最小限に抑えた総合的な評価解析が可能です
有機デバイスは酸素や水に影響されやすい材料を使用したデバイスです。MSTでは雰囲気の影響を最小限に抑えたサンプル搬送・加工方法・測定環境を整え分析を行っており、より真に近い状態評価が可能です。XPS分析で有機膜と電極の界面の状態評価を評価しました。有機膜表面に存在するチタニアの組成、結合状態を確認できます。TOF-SIMS分析でバルク・へテロ構造有機薄膜太陽電池の有機膜中のP3HT (p型有機半導体)とPCBM (n型有機半導体)の分散状態を深さ方向で確認しました。
雰囲気制御下での前処理および深さ方向分析が可能です
p型・n型材料の活性層を使用するバルクへテロ接合型太陽電池では、膜内の材料の混合状態を適切に制御する必要があります。 成膜後アニール処理をすることで、開回路電圧の変化なくフィルファクターの向上に伴い光電変換効率の向上が見られた試料について、TOF-SIMS深さ方向分析を行いました。その結果、PEDOT:PSS層との界面において、アニール前ではPCBMが偏析していることがわかりました。
不活性ガス雰囲気下で前処理からXPS測定まで行います
バッファー層/Alq3界面を物理的に剥離（ピーリング）し、剥離面（バッファー層側）のXPS分析を行いました。不活性ガス雰囲気下でピーリングすることで化学構造を破壊せずに界面を露出でき、さらに不活性ガス雰囲気を保ったままXPS装置に搬入することで剥離後の変質（酸化・吸湿など）を抑えました。バッファー層の主成分はLiFで、その一部が酸化している可能性が示唆されました。雰囲気を制御することで、成膜方法・処理方法・有機層の違い等によるAl、 Li等金属元素の酸化状態を評価することが可能です。
XPS・UPSを用いた結合状態・電子状態評価
IGZO膜はディスプレイ用TFT材料として研究開発が進んでいる材料です。 複数の金属元素から構成されるため、プロセスによってどのように組成や結合状態、電子状態がどのように変化するかを把握しておくことが重要です。 XPS・UPSを用いてIGZO膜表面の組成・結合状態・電子状態を評価した事例をご紹介します。
高分子フィルムの水酸基評価
高分子フィルムの接着性や濡れ性といった特性を制御するにあたって、表面に存在する極性官能基(アルコール基)を定量的に評価することは非常に重要です。XPSは定量的な評価に最適ですが、ピーク位置が隣接している酸化状態(C-O-C)と水酸化状態(C-OH)を切り分けて定量することが困難です。 MSTではポリビニルアルコール（PVA）について化学修飾法を用いてアルコール基のみを選択的に反応させた後に、XPSにて定量することが可能です。PVA中のアルコール基を無水トリフルオロ酢酸（TFAA）によって化学修飾して評価した事例を紹介します。 測定法：XPS・化学修飾 製品分野：電子部品・日用品 分析目的：組成評価・同定・化学結合状態評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
微小領域の面分析による分布の均一性評価と有機物の同定・推定
撥水処理における撥水面の状態は、フッ素系化合物が島状（アイランド状）に分布しているか均一に分布しているかの違いで異なります。そこで、TOF-SIMSを用いて、フッ素系化合物の分布の観察を行いました。その結果、不均一に分布していることがわかりました。また、1μm角の領域で定性分析を行うこと で、フッ素系膜はKrytoxであることがわかりました。 測定法：TOF-SIMS 製品分野：電子部品・日用品 分析目的：組成評価・同定・組成分布評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
TOF-SIMSでシラノール基の定量的な評価が可能です
ガラスやウエハ表面のシラノール基（Si-OH)の存在は、表面の撥水性や親水性などの特性に影響を与えます。そのため、その後の表面処理に影響を与える可能性が高く制御が必要となります。 シラノール基の定量をTOF-SIMSで行った事例をご紹介します。評価を行うにあたり、濃度の異なる数種類のサンプルを用いて検量線を作成しました。測定例では、材質・状態の異なるサンプル表面のシラノール基を比較しました。 測定法：TOF-SIMS 製品分野：LSI・メモリ・電子部品 分析目的：組成評価・同定 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
C1s波形解析を使用したsp2/(sp2+sp3)比の評価
高硬度・高耐摩耗性等の特長から、幅広い分野で活用されてるDLC（ダイヤモンドライクカーボン）膜は、グラファイトとダイヤモンドの中間に位置した材料であり、膜中のsp2（グラファイト構造）とsp3（ダイヤモンド構造）を分離して求められるsp2/(sp2+sp3)比は、膜の特性を決定する重要な要因の一つとなります。 このsp2/(sp2+sp3)比について、XPSのC1sスペクトルを波形解析することで評価した例をご紹介します。
XPS：X線光電子分光法 AES：オージェ電子分光法
XPSとAESは表面敏感な分析手法でありサンプル表面の評価に広く用いられますが、イオンエッチングを併用することで深さ方向の分析が可能となります。 深さ方向分析を行うにあたり、測定したい領域やサンプルの材質に応じてXPSとAESを適切に使い分けることが、目的に沿った分析を行う上で重要です。 XPSとAESの深さ方向分析の特徴について、SUS不動態膜の分析を例として比較します。
XPS・SEM・TEMを用いた多角的な評価
燃料電池の電極は、カーボン担体に触媒粒子が担持された構造をしています。担体や触媒粒子がどのような状態にあるか評価することは、劣化メカニズム解明や設計指針の検討に欠かせません。 触媒被毒（酸化）の状態評価には、XPS分析が有効です。また、触媒凝集や粒成長の評価にはSEM・TEM観察が有効です。 複数の分析手法を組み合わせることにより、多角的な評価をご提案します。
フッ酸処理で酸化膜を除去したSiウエハの汚染・酸化の評価
試料搬送時の汚染及び酸化の影響についての知見は、検出深さがnmオーダーの表面分析において重要です。そこで、保管方法の違いによる汚染･酸化の影響をSiウエハにおいて検討致しました。 薬包紙・アルミホイル保管では、一般的に見られる二次汚染による有機物のピークは弱い傾向が見られます。試料保管・搬送時にアルミホイルのつや無し面で包んで保管すると、他の保管方法に比べて汚染、酸化を抑制することができます。
雰囲気を保ったまま解体・前処理から装置導入まで可能
有機EL材料は空気に触れると変質することが知られています。窒素雰囲気中と大気中に放置した発光材料表面の状態についてTOF-SIMSから得られた結果を紹介します。窒素雰囲気で作製したサンプルでは親イオンが主として検出されますが、空気中に放置すると親イオンに酸素がついたフラグメントが検出されています。変質しやすい原料については大気にさらさず分析することが必要です。
水酸化アルミニウムAl(OH)3と酸化アルミニウムAl2O3の評価が可能です
金属の異物を定性評価したい場合、最表面のみを分析すると異物表面に存在する酸化膜の情報となってしまうため、異物そのものの情報が得られないことがあります。 TOF-SIMSにより深さ方向に分析を行うことで、酸化膜より深い位置にある異物そのものの組成・状態評価が可能です。 本資料では、Al系の異物と思われる3箇所の状態を評価した事例をご紹介します。
数μmの深さまで深さ方向分析を行います
XPSは表面敏感な手法でありサンプル表面の評価に広く用いられますが、イオンエッチングを併用することで深さ方向の分析が可能です。 XPSでは深さ方向の組成分布に加えて結合状態の評価も可能なため、装置部材表面の変色の原因調査などに適しています。 本資料ではターボ分子ポンプの羽の変色部について、XPSで評価した事例を紹介します。
熊本営業所を拠点とし、九州地区のお客様へ更なるサービス向上を目指します。
MST九州地区初の熊本営業所がオープン致しました。 熊本営業所を拠点とし、九州地区のお客様へ更なるサービス向上を目指します。 貴社へ訪問してのお打ち合わせ、営業所での分析相談も可能です。 東京本部（ラボ）との密接な連携で納得の品質・納期を実現します。 ご期待ください。 開所日：2022年4月15日（金） 住所：熊本県菊池郡大津町室161-1 ステーションM 102 ※サンプルのご送付は、東京都世田谷区の本部宛てにお願いします。 本部住所：東京都世田谷区喜多見1-18-6 電話番号：090-7017-3882（担当：武田）
Cuスペクトルの成分分離、定量、膜厚算出
Cu2p3/2スペクトルとCuオージェスペクトル等の解析から、Cu表面の結合状態・定量評価・膜厚評価が可能です。 主な応用例として、Cu配線のCMP処理・洗浄の評価、Cu電極の錆・変色調査が挙げられます。 各種処理を施したCu表面状態および酸化膜厚についてまとめます。 （クリーンルーム環境下にて処理し、直後に測定を行うことが可能です。）
TOF-SIMSでは無機材料の変色原因のイメージングが可能
セラミックスは日用品から電子部品まで幅広く利用されている無機化合物材料です。不純物や付着物により生じるセラミックスの変色評価には、着目箇所について有機物・無機物を問わず微量成分のイメージング分析が可能なTOF-SIMS分析が有効です。 本資料ではAl酸化物のセラミックス変色部分をTOF-SIMSで分析し、イオンイメージとラインプロファイルで変色原因を示した事例を紹介します。 測定法：TOF-SIMS 製品分野：製造装置・部品 分析目的：組成分布評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
洗浄成分の分布の可視化や深さ方向の分布の評価が可能
セラミックスは日用品から電子部品まで幅広く利用されている無機化合物材料です。その表面状態は日用品や電子部品などの材料の性質・性能に大きく影響しています。そのため、セラミックスの機能を判断するうえで、表面状態を適切に評価することは重要です。 本資料ではZr酸化物からなるセラミックス表面のぬれ性に寄与する洗浄成分について、表面分布および深さ方向分布をTOF-SIMSで評価した事例を紹介します。 測定法：TOF-SIMS 製品分野：製造装置・部品 分析目的：定性・分布評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
有機成分および活物質表面の分布評価、定性分析
リチウムイオン二次電池の正極表面における成分の偏析や被膜の形成は、電気容量に影響する一因と なります。正極として用いられるLi（NiCoMn)O2（NCM）について、AESによる微小領域マッピングおよびXPS、TOF-SIMSによる有機成分（バインダー）や活物質表面被膜の定性分析を行った事例を紹介いたします。これらの手法では、測定までの一連の処理をAr雰囲気下で行い、試料の変質を抑えた分析が可能です。
最大70×70mm領域の組成分布評価が可能です
XPSによる広域定量マッピングの事例を紹介します。 シリコンウエハ上の有機物残渣について、以下の手順で評価しました。ピーク強度ではなく存在量（原子濃度）をグラフ化するため、試料凹凸等の影響を受けにくく、且つ広域でのデータ取得が可能です。 試料表面の組成分布を俯瞰的に評価できるため、有機系・無機系の汚染、変色、表面処理等の調査に 適しています。
変色調査や表面改質評価などXPS、AES、AFMによる事例を厳選しました。ぜひご覧いただき資料ダウンロードください
当事例集では、『表面分析』にかかる事例をご紹介します。 「XPSによる材料表面の変色調査」をはじめ、「XPSによるPET表面改質評価」や、 「XPSによる撥水膜の分析」、「メッキ部品の加熱影響評価」などの 特長や分析事例を多数掲載。 他にも、解析結果や変色調査、表面改質評価、撥水膜の分析などご紹介しております。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容】 ■XPSによる材料表面の変色調査 ■XPSによるPET表面改質評価 ■XPSによる撥水膜の分析 ■メッキ部品の加熱影響評価(AFM、AES) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
AFM走査型プローブ顕微鏡/AESオージェ電子分光装置によりめっき部品など多面的な加熱影響調査を行います
AFM走査型プローブ顕微鏡とは、探針と試料表面の間に働く様々な物理的相互作用を検出し、微少領域の表面形状観察、電気・機械物性計測を行う装置です。 この物理的相互作用には、原子間力、摩擦力、静電気力などがあります。 また、大気中、真空中の様々な環境において測定ができ、導電性、絶縁性を問わず試料表面の観察が可能です。 AESオージェ電子分光装置では、材料の極表層（~5nm程度）の元素分析や深さ方向の濃度勾配を調査することが可能です。 この2つの分析装置を使い「めっき済みのコネクタ接点用ピン表面」の加熱影響調査を行いました。 ぜひPDF資料をご一読ください。 また、弊社では本分析装置に加えXPS、GD-OESなどの各種表面分析を行っております。 お気軽にご相談いただければ幸いです。 セイコーフューチャークリエーション 公式HP https://www.seiko-sfc.co.jp/ ※その他の資料もあります。問い合わせボタンからご用命いただければ送付いたします。
表面分析について、分析をご専門としていない開発者や製造者の方にも分かりやすく解説!
○発刊日2007年12月10日○体裁B5判並製本 618頁○価格：本体 33,000円＋税 →STbook会員価格：31,350円＋税 初版 2007年12月 本書は、2007年12月発刊「表面・深さ方向の分析方法」 (ISBN 978-4-903413-30-3)の装丁および価格を改訂したものです。 内容は2007年の書籍と同じですので、ご購入時にお間違えないようご注意ください。 ○著者： 副島 啓義(株) 島津総合科学研究所 / 寺谷 武(株) 住化分析センター / 村山 順一郎 住友金属テクノロジー(株) / 長町 伸治 (株)イオン工学研究所 / 石井 慶造 東北大学 / 柿田 和俊(株)日鐵テクノリサーチ / 西埜 誠 (株)島津製作所 / 石川 真起志 カメカインスツルメンツ(株) / 星 孝弘 アルバック・ファイ(株) / 川田 哲 エスアイアイ・ナノテクノロジー(株) / 吉見 聡 (株)島津総合分析試験センター / 他45名光
技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。
【要旨】 多くの場合、表面分析において分析対象は真空に保持できるものに限定される。一方で、高速イオンのポテンシャルを応用すれば、分析プローブを大気圧下に引き出すことができる。TRCでは大気圧におけるラザフォード後方散乱分光法（RBS）を検討し、その実現に成功した。本稿では大気圧RBSによる固体／液体界面の深さ方向分析、HeLa細胞中量子ドットの深さ分布評価、及び大気圧RBS/HFS（水素前方散乱分析）による湿潤試料中水素の深さ方向分析事例を報告する。 【目次】 １．はじめに ２．固体／液体界面分析 ３．生体試料への展開 ４．TRCにおける測定システム開発：大気圧RBS/HFS分析 ５．まとめ
金属薄膜作製に好適なEBエバポレーターなどを搭載した表面構造分析装置！
『超高真空表面構造分析装置』は、半導体やモデル触媒等における LEED回折像、オージェ分析、昇温脱離分析が行える表面分析装置です。 分析計にはLEED/AES質量分析計を搭載しており、金属薄膜作製に適した EBエバポレーターなどを装備しています。 ご要望の際は、お気軽にお問い合わせください。 【仕様】 ■表面分析系：LEED/AES ■蒸発源：超高真空エバポレーター「AEVシリーズ」 ■ガスソース：水素クラッキング銃「AEVシリーズ」 ■試料加熱：直接通電加熱式（TC コンタクト式サンプルホルダー） ■試料マニピュレーター：X,Y,Z,θ,面内回転軸の5軸操作 など ※詳細はお問い合わせください。
問題の対策や回避が可能！元素および結合状態分析で比較検証した事例をご紹介
素材は、使用環境により変質変色することが多いです。 変質変色により製品の性能や意匠性に問題が生じますが、 化学分析によりその分子構造の変化を把握解明することで、 問題の対策や回避が可能となります。 当資料では、表面分析による元素および結合状態分析で 比較検証した事例をご紹介しています。 【掲載内容】 ■分析サンプル ■XPS（ESCA）による元素分析結果 ■XPS（ESCA）による結合状態分析結果（ポリカーボネート） ■XPS（ESCA）による結合状態分析結果（塩化ビニール） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
切断できない大きな部品でも表面汚染を適切にサンプリングして測定
Al材表面に水はじきのよいシミがあることがわかりました。そのシミ部をテープに付着（転写）させ、TOFSIMSで分析を行いました。 「シミ部を転写させたテープ表面」からは、「Al材表面のシミ部」と同じフラグメントが検出されており、シミの原因物質がテープに転写されているものと考えられます。このように、原因物質をテープに転写させて採取するこの方法は、切断ができない部品に有効です。
