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100 µmのストローク、システム分解能0.4nm、荷重210g時でも560Hzの共振周波数
P-726は重い高NA対物レンズを高速・高精度で駆動するPIFOC(R)ハイロードフォーカススキャナです。 フレクシャガイドと静電容量センサを内蔵し、0.3 nmのOpenLoop分解能、0.02 %リニアリティエラーを実現。 共振周波数は無負荷で1120Hz、210 g負荷でも560 Hzを維持し、半導体ウェハ検査や共焦点・超解像顕微鏡のZスキャンを高速化。 QuickLockアダプタでM32／M27など主要スレッドサイズに対応。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
サブナノ分解能・最大800 µmストローク対応 半導体検査装置向け高精度Zフォーカススキャナ
半導体検査装置では、微細な欠陥の検出や3Dフォーカス評価のために、高分解能なZ方向位置制御と迅速なステップ動作が求められます。P-725.xCDE2 PIFOCフォーカススキャナは、サブナノメートル分解能と最大800 µmのフォーカスレンジを両立した高精度アクチュエータです。 PICMAピエゾアクチュエータと静電容量センサー内蔵フレクシャガイド機構の組合せにより、高い線形性・再現性・安定性を実現します。これにより、半導体検査におけるZフォーカスの高精度制御と高速スキャンが可能になり、検査プロセスの精度向上と装置のスループット改善に貢献します。 【活用シーン】 ・ウェーハ表面欠陥検査のZフォーカス制御 ・チップ・パッケージ検査における高分解能イメージング ・光・レーザー式検査装置の高速Zスキャン ・光学検査、共焦点光学顕微鏡を用いた欠陥解析 【導入の効果】 ・高精度フォーカス制御による測定精度の向上 ・高速なZステップ動作による検査スループット改善 ・安定した長期動作と装置信頼性の向上
サブナノの分解能をもち、最大800 µm動作、高速・高精度PIFOC(R)フォーカススキャナ
P-725.xCDE2 はフレクシャガイド構造と PICMA(R) ピエゾを採用した対物レンズ用フォーカススキャナです。 静電容量センサーが サブナノメートル分解能と0.02 % リニアリティを実現し、100 / 400 / 800 µm の長ストロークでも高精度を維持します。 摩耗部ゼロ・潤滑剤不要で長寿命。共焦点・多光子顕微鏡や半導体検査の Z ステップ高速化に貢献します。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
サブナノ分解能・最大800 µmストローク対応 高速・高精度PIFOCフォーカススキャナ
光計測分野では、光学イメージングや精密測定において、検出位置のフォーカス精度と安定性が結果の精度に直結します。特に微細構造の評価や高速データ取得を必要とするアプリケーションでは、高分解能フォーカス制御と応答性の高い動作性能が求められます。 P-725.xCDE2 PIFOCフォーカススキャナは、サブナノメートル分解能の位置制御と、最大800 µmのストロークを両立。PICMAピエゾアクチュエータと高精度静電容量センサー搭載のフレクシャガイド機構により、光計測装置のZ方向フォーカス調整における高い線形性と再現性を実現します。これにより、光計測におけるフォーカス位置ズレの影響を抑え、測定精度と装置の歩留まり向上に貢献します。 【活用シーン】 ・共焦点顕微鏡による高精度計測 ・多光子顕微鏡の高速Z走査 ・高解像度イメージング評価装置 ・光干渉計・位相計測装置 【導入の効果】 ・サブナノメートル分解能のフォーカス制御 ・最大800 µmストロークでの広い測定範囲対応 ・高速応答による検査・計測時間の短縮 ・PIFOC/フレクシャ構造による長期安定性
サブナノ分解能・Z方向最大800 µmストローク対応 フレクシャ機構搭載フォーカススキャナ
バイオテクノロジー分野の顕微鏡イメージング用途では、細胞や組織の微細構造を高精細に観察するために、正確なフォーカス制御が不可欠です。特に共焦点顕微鏡や多光子顕微鏡などの3Dイメージングでは、Z軸（フォーカス方向）の高分解能と高速応答性が観察精度に直結します。 P-725.xCDE2 PIFOC Focus Scannerは、PICMAピエゾアクチュエータと静電容量センサーを採用したフレクシャガイド機構により、サブナノメートル分解能での精密フォーカス制御を実現します。また最大800 µmのストロークに対応し、奥行き方向の広い範囲での高速・高精度な走査が可能です。こうした特性により、観察時間を短縮しつつ、フォーカス位置ズレを抑え、結果として実験の信頼性と効率向上に寄与します。 【活用シーン】 ・共焦点顕微鏡 ・多光子顕微鏡 ・3Dイメージング ・ライブセルイメージング ・ハイスループット顕微鏡スクリーニング 【導入の効果】 ・高精度なZ方向フォーカス制御 ・広いフォーカスストロークによる対応範囲拡大 ・高速走査による観察効率向上 ・安定したイメージング品質
ナノ構造解析を支える 高荷重対応・サブナノ分解能フォーカススキャナ
ナノテクノロジー分野の構造解析では、ナノスケールでの高精度なZ方向フォーカス制御が不可欠です。 P-726 PIFOCは、100 µmストロークとサブナノメートル分解能（約0.3 nmクラス）を実現した高荷重対応フォーカススキャナです。 静電容量センサーによる直接フィードバックとフレクシャガイド構造により、高い位置決め精度と再現性を提供。約6msの高速セットリング性能により、Zスキャンを伴うナノ構造観察や3Dイメージングの効率化に貢献します。 【活用シーン】 ・共焦点顕微鏡によるナノ構造観察 ・超解像光学顕微鏡のZスキャン ・光学式ナノ構造解析装置 ・3Dイメージング評価装置 【導入の効果】 ・サブナノ分解能による高精度フォーカス制御 ・高速セットリングによる測定効率向上 ・高荷重対応による光学系設計自由度向上 ・長期安定動作による再現性向上
サブナノメートル分解能、最大800 µm移動量のフォーカススキャナ P-725.xCDE2
ナノテクノロジー分野では、ナノスケール構造の観察や評価において、高分解能かつ安定したフォーカス位置制御が求められます。P-725.xCDE2 PIFOCは、最大800 µmの移動量（モデルによる）とサブナノメートル分解能（適切なコントローラ使用時）を備えた対物レンズ用フォーカススキャナです。ピエゾアクチュエータとフレクシャガイド機構により、摩擦やバックラッシュのない滑らかなZ方向動作を実現します。顕微鏡システムにおけるナノスケールでのフォーカス調整やZスキャン用途に適しています。 【活用シーン】 ・共焦点顕微鏡におけるZスキャン ・多光子顕微鏡でのフォーカス位置制御 ・半導体ウェハ検査における高さ方向微調整 ・ナノ構造観察時の精密フォーカス制御 【導入の効果】 ・サブナノメートル分解能のフォーカス位置制御 ・バックラッシュのない高再現性動作 ・最大800 µmの広いZ移動量（モデルによる） ・摩耗部品のないフレクシャガイド構造
ウェーハ検査の高スループット化を支える 高荷重対応・高精度Zフォーカススキャナ
半導体ウェーハ検査では、微細欠陥を安定して検出するために、高分解能なZ方向フォーカス制御と高速応答性が求められます。特に高NA対物レンズを用いた光学検査システムでは、フォーカス精度と再現性が検査結果の信頼性に直結します。P-726 PIFOC高荷重対物レンズフォーカススキャナは、最大100 µmのZストロークとサブナノメートル分解能の位置制御を実現。静電容量センサーによる直接位置フィードバックとフレクシャガイド構造により、高い線形性・繰り返し精度・長期安定性を提供。 さらに、約6msの高速セットリング性能により、Zステップ動作を伴う検査プロセスの最適化に貢献します。高荷重設計のため、高NA対物レンズや付加光学部品搭載時でも安定した動作が可能。 【活用シーン】 ・半導体ウェーハ表面の光学検査におけるZフォーカス制御 ・高NA対物レンズを用いた欠陥解析装置 ・共焦点光学系を用いた三次元検査 ・レーザー・光干渉式検査装置のZスキャン 【導入の効果】 ・高精度フォーカス制御による測定安定性向上 ・高速セットリングによるZステップ時間の短縮 ・高荷重対応による光学系設計の自由度向上
100 µmストローク・0.4nm分解能 高荷重対物レンズ対応 高速・高精度PIFOCフォーカススキャナ
光学機器や計測装置における対物レンズのフォーカス制御では、高精度なZ位置決めと高速応答が求められます。特に対物レンズが大型・高開口数（NA）の場合、従来機構では動作レスポンスや安定性が課題となり、測定精度や観察品質に影響を及ぼす可能性があります。 P-726 PIFOC高荷重対物レンズフォーカススキャナは、最大100 µmのストロークと、静電容量センサーによる直接測定で得られる サブナノメートル分解能の高精度フォーカス制御を実現します。また、フレクシャガイド構造により摩擦・バックラッシュがなく、高荷重条件でも高い剛性と安定性を維持します。これにより、光学計測装置の精度とスループットを向上させ、測定・観察の信頼性を高めます。 【活用シーン】 ・対物レンズの精密フォーカス制御 ・共焦点顕微鏡・超解像顕微鏡のZスキャン ・3D光学イメージング装置 ・高精度光学計測装置（干渉計・オートフォーカス系） 【導入の効果】 ・高精度なZ位置制御による光学測定精度の向上 ・高速な動作レスポンスによる検査・観察時間の短縮 ・大重量レンズ対応の高荷重性能 ・長期安定性・低メンテナンス性
