株式会社フジキン『マスフローコントローラ』
フジキンのFCSは、ながれ(流体)制御技術を常にリードします！
フジキンのFCSシリーズは、さまざまな産業でご利用いただける「ガスの流量制御機器」です。FCSシリーズでは、FCS-Pressure(圧力制御方式)シリーズと、FCS-Thermal(熱式流量センサ制御方式)シリーズの制御方式の異なる2種類の製品ラインアップを取り揃えております。
マスフローコントローラ(制御) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり
更新日： 集計期間:2026年09月16日～2026年10月13日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。
マスフローコントローラの製品一覧
1～30 件を表示 ／ 全 87 件
表示件数
多様なガスやエアーの流量を確実に制御するマスフローコントローラ！
ビュルケルトのマスフローコントローラは小～大流量を1台で簡単に制御できます！微小～高差圧(10kPa～1.0MPa)も対応！
気体（ガス）の流量制御はマスフローコントローラ（MFC）がおすすめです！ Industry4.0で注目されるドイツ製造業。ドイツの老舗流体制御機器メーカーのビュルケルトから、IoT時代に対応した”簡単にお使い頂ける”マスフローコントローラの（MFC）のご提案です！ ●ご使用条件に合わせて校正し出荷しますので、納品後すぐ使用可能！ ●専用電源は不要（DC24Vにて起動）で簡単導入 ●小流量から大流量まで（例えば2500Nl/min(N2)まで）を一台で制御可能 ●インライン式センサ搭載により10kPaの低差圧でもスムーズな制御を実現 ●1.0 MPa(10bar)の高差圧でもスムーズな制御 ●樹脂シールとシャットオフ機能により完全な締め切りを実現 ●高速で指示値（セットポイント）に追従し安定（0.3～0.5秒以内） 【ビュルケルトならでは＆IoT世代】 ●アナログ入出力信号だけではなく、OpenCAN、フィールドバス、RS485等の通信方式にも柔軟に対応 ●保護等級IP65取得機種も準備 ●メンテナンス性や省スペース性にも特化したご提案も可能です！
- 企業：ビュルケルトジャパン株式会社
- 価格：応相談
【選定ガイド】CCUS・メタネーション・合成燃料
CO₂・H₂を反応条件どおりに供給。研究から実証・生産設備までの流量制御を解説
CCUS・メタネーション・合成燃料の研究開発では、CO₂やH₂などの原料ガスを、設定した反応条件に合わせて安定供給することが重要です。さらに研究から実証・生産設備へ進むにつれて、必要な流量レンジや圧力・温度、流体、設置環境も変化します。 原料ガス供給、混合・希釈、触媒反応、温度・圧力条件試験、パイロット設備、液体原料供給など、各工程における流量制御のポイントを整理。用途・条件に応じたマスフローコントローラ／メータの選定方法と、AMF・SLA5800・SLAMf・QMCの使い分けをご紹介します。研究・評価設備の新規設計や、実証・生産設備へのスケールアップ時の製品選定にぜひご活用ください。 ■ このような課題をお持ちの方へ - CO₂・H₂の混合比率の安定化 - 触媒評価・反応試験の再現性向上 - 複数ガスを使用する評価設備の流量制御 - 高圧・高温など厳しい条件への対応 - 液体原料・反応液の高精度制御 - 研究から実証設備へのスケールアップ
- 企業：ITWジャパン株式会社
- 価格：応相談
【新製品】AMFシリーズ（小型マスフローコントローラ/メータ）
環境・バイオ・材料プロセスの液体流体管理を、非接液監視と高精度コリオリ、さらにソフトウェア活用で支援
コンパクト設計と高精度制御を両立。装置の小型化・高性能化に貢献 AMFシリーズは、限られた設置スペースでも高精度な流量制御を実現する小型マスフローコントローラ／メータです。 優れた応答性と安定した流量制御により、研究開発から製造装置まで幅広いアプリケーションに対応。装置の省スペース化や設計自由度の向上に貢献します。 ■ 導入メリット コンパクト設計による装置設計の自由度向上 高精度・高応答な流量制御 装置の小型化・軽量化 安定したプロセス制御による品質向上 ■ 主な用途 分析・計測機器 研究開発設備 OEM装置 バイオ・ライフサイエンス分野 一般産業用ガス供給システム Brooks Instrumentは、精密流体計測・制御分野で70年以上にわたり培った技術と豊富な実績をもとに、お客様の用途やプロセスに最適なソリューションを提供しています。小型化・高性能化が求められる装置開発においても、高品質な製品と充実した技術サポートでお客様を支援します。 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ITWジャパン株式会社
- 価格：応相談
GFシリーズ製品比較／選定ガイド
環境・エネルギープロセスに最適なガス流量制御を実現
CO₂利用技術や排ガス処理、燃料評価などの環境・エネルギー分野では、用途に応じた高精度なガス流量制御が求められます。 GFシリーズは、多ガス・多レンジ評価から高純度ガス、高温プロセスまで幅広い用途に対応。プロセス条件に応じて最適なモデルを選択でき、研究開発から生産工程まで安定した流量制御を実現します。 [GF40] MultiFlo対応／多ガス・多レンジ評価向け □ 研究開発・評価試験に最適 □ 1台で複数ガス・複数レンジに対応 □ 開発期間の短縮と設備効率向上に貢献 [GF100] MultiFlo対応／高純度・多条件プロセス向け □ 高純度ガスプロセスに対応 □ 幅広いプロセス条件で高精度制御 □ 半導体・研究開発用途にも最適 [GF120xHT] 高温・耐腐食プロセス向け □ 高温ガス供給に対応 □ 耐腐食性に優れた設計 □ 過酷なプロセス環境でも安定した流量制御を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧ください。お問い合わせもお待ちしております。
- 企業：ITWジャパン株式会社
- 価格：応相談
低コスト化も実現可能！IoT時代のマスフローコントローラ
小～大流量を1台で制御！微小～高差圧(10kPa～1.0MPa)にも対応！低コスト化も実現可能なドイツ発IoT時代のMFC
Industry4.0で注目されるドイツ製造業。ドイツの老舗流体制御機器メーカーのビュルケルトから、IoT時代に対応したマスフローコントローラのご提案です！ 【1台で何役もこなします！】 ●小流量から大流量まで（例えば20～1500Nl/min(N2)）を一台で制御可能 ●インライン式センサ搭載により10kPaの低差圧でもスムーズな制御を実現 ●1.0 MPa(10bar)の高差圧でもスムーズな制御 ●樹脂シールとシャットオフ機能により完全な締め切りを実現 ●高速で指示値（セットポイント）に追従し安定（0.3～0.5秒以内） ●最新機種では最大流量2500L/minクラスも！ 【簡単導入＆直ぐにご使用可能です！】 ●校正済みで出荷されるため、設定不要＆調整不要で直ぐに使用可能 ●専用電源は不要（DC24Vにて起動）で簡単導入 【ビュルケルトならでは＆IoT世代】 ●アナログ入出力信号だけではなく、OpenCAN、フィールドバス、RS485等の通信方式にも柔軟に対応 ●保護等級IP65取得機種も準備 ●メンテナンス性や省スペース性にも特化したご提案も可能です！
- 企業：ビュルケルトジャパン株式会社
- 価格：応相談
Type8626マスフローコントローラ
素早く設定流量に安定させる、気体用マスフローコントローラです。
高速応答（最速0.5秒以内）で高精度の流量センサと、豊富なラインナップを取り揃えた流量制御弁（比例電磁弁）を組み合わせ、高性能を実現したマスフローコントローラ／マスフローメータです。 本製品Type8626は、最大1500L/minまで制御可能な、大流量用のマスフローコントローラです。 保護等級 IP 65 取得機種です。
- 企業：ビュルケルトジャパン株式会社
- 価格：10万円 ~ 50万円
エフコン株式会社 会社案内
生産装置への搭載、研究・開発など幅広い分野に対応！流量制御はお任せください！
エフコン株式会社は、マスフローコントローラをはじめとする 流量制御機器の製造メーカーです。 マスフローコントローラとは、ガスや液体の質量流量を計測し流量制御を 行う機器であり、高精度な流量計測・制御を求められるプロセスには 欠かせないものですが、高価な製品であるため、限られた分野でしか 使用されておりませんでした。 当社のマスフローコントローラは、基本性能を追求した独自技術により 低価格を実現した製品です。一般産業での使用、各種生産装置への搭載、 研究・開発など幅広い分野でご使用いただけます。 【事業内容】 ■流量制御機器の設計・製造・販売 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：エフコン株式会社 本社
- 価格：応相談
コフロック株式会社
気体・液体の計測・制御のことなら
お客様のニーズに合わせた一品一様のものづくりで、流体計測制御機器を製造・販売しています。半導体製造工程向けに開発した圧力変動に強いマスフローコントローラST-500や、液温変化時にも高精度な流量計測が可能なカルマン渦流量計FML-300を出展します。精密流量制御の技術力と、多様な産業・研究用途に対応する柔軟性が弊社の強みです。
- 企業：京都ビジネス交流フェア2026
- 価格：応相談
ブルックスインスツルメント「ガス流量制御」ラインアップ
脱脱炭素・環境技術の開発を支える、高精度ガス流量制御ソリューション
CO₂削減技術や排ガス処理、代替燃料の研究開発など、環境・エネルギー分野では用途に応じた高精度なガス流量制御が求められます。ブルックスインスツルメントは、研究開発から実証試験、生産プロセスまで、各ステージに最適なマスフローコントローラ／メータをご用意。アプリケーションやプロセス条件に応じて最適な製品をご提案します。 ■ このような用途・課題に CO₂削減・CCUS技術の研究開発 排ガス処理・環境負荷低減 触媒評価・反応プロセス開発 代替燃料・合成燃料の研究開発 燃料電池・水素関連プロセス 炉・熱処理・材料プロセスのガス流量制御 ※詳しくは関連カタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ITWジャパン株式会社
- 価格：応相談
低差圧マスフローコントローラ MC-3000S series
SDSなど低差圧にて動作可能なマスフローコントローラです
独自の技術で低圧においてもガス流量が制御可能なマスフローコントローラです。 【特長】 ○独自の低圧損構造により、6Torrの差圧で10SCCM(N2)を制御可能 ○AsH3やPH3などのインプラ用途や、液体を加温なしで気体制御も可能 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様 ○高速・高性能なピエゾアクチュエータを搭載 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
- 企業：株式会社リンテック 東京営業所
- 価格：10万円 ~ 50万円
フローコントロールシステム(マスフロー)『FCS-P』
超高純度用、圧力制御方式を採用した、 流量制御機器です。
圧力を制御することにより、従来のマスフローコントローラーでは実現できない 高精度な流量制御を可能にした、フローコントロールシステム 【特徴】 ○シンプルでデットスペースレスな構造 ○優れた圧力変動特性 上流の圧力が変動しても出力値が変動しないため 上流側に取り付ける事が可能。またレギュレータをガスシステムから省く事ができ ガスシステムのコストダウンと小型化を同時に達成 ○フローファクターの採用 様々なガス種に対応可能 ○優れた精度 ○流量自己診断機能の搭載 ○すばやい応答性 ○マウントポジションフリー ○デバイスネット通信にも対応 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
GCシリーズ 選定・仕様相談ガイド｜研究開発・小型装置向け
研究開発・小型装置の ガス流量制御を、もっとコンパクトに
研究開発・小型装置向けマスフローコントローラ 小型化と高精度制御を両立。研究開発から環境・エネルギー分野まで幅広く対応。 GCシリーズは、MEMSセンサを採用した超小型マスフローコントローラです。限られた設置スペースでも高精度・高速応答・優れた再現性を実現し、分析装置や研究開発設備、小型OEM装置などの設計自由度を高めます。 ■ このような課題をお持ちの方へ ・装置の小型化・軽量化 ・限られたスペースへの高性能流量制御機器の組み込み ・評価試験・実験における流量制御の高精度化・再現性向上 ・複数ガスの安定した流量制御 ・既存MFCの小型・低消費電力モデルへの置き換え ※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ITWジャパン株式会社
- 価格：応相談
脱炭素・環境対応技術の開発を支える超小型MFC「GCシリーズ」
小流量域での高い再現性と省スペース化を両立。CO₂削減、排ガス処理、代替燃料評価など研究開発を支える超小型マスフローコントローラ
化学・素材・エネルギー分野の研究開発では、CO₂削減、排ガス処理、代替燃料評価など、環境対応技術の開発が進んでいます。GCシリーズは、こうした用途で求められる小流量域での高い再現性と、省スペースで安定したガス制御を両立する、MEMS式の超小型マスフローコントローラです。 Air、N₂、O₂、CO₂、Ar、CO、CH₄、C₃H₈、N₂O等に対応し、フルスケール流量210～5000sccm（Air換算）、100:1の制御レンジ、±0.25% S.P.の再現性、応答時間は2秒以下（設定値がフルスケールの10%超の場合）を備えています。ラボ装置、小型試験装置、分析設備などに適しており、環境技術の開発を支えるガス制御技術として活用できます。
- 企業：ITWジャパン株式会社
- 価格：応相談
ALICAT 熱式流量計 小型ローコストマスフローコントローラー
BASISシリーズ！ 対応ガスはAirを含めて9種類。
ALICAT（アリキャット）社の標準制御バルブおよびPIDアルゴリズムと組み合わせたMEMSセンサーを使用し質量流量測定を行います。 9種類: Air, N2, O2, CH4, He, H2, Ar, CO2, N2O 流量: 100 SCCM - 100 SLPM 納期約4週間 ■100msの制御応答 ・PD制御により短時間で目標流量へ到達。流量変化にすばやく追従し、安定性のある流量制御を行います。 ・ウォームアップ時間は70ms。すぐの稼動が可能です。 ■アナログ出力/入力、RS-485通信を標準搭載 ・0-5VDC入力による制御流量の設定が可能です。 ・また現在流量を0-5VDCで出力。ロガーなどによる記録が可能。 ・RS-485を標準搭載。PLCなどによる一括監視が可能です。
- 企業：日本スターテクノ株式会社
- 価格：応相談
【選定ガイド】EtherNet/IP対応流量機器
流量機器を、設備の「情報」へ。 配線・立ち上げ・監視・保守をもっとシンプルに。
設備のデジタル化が進むなか、流量機器にも「流量値を伝える」だけでなく、機器状態や診断情報を設備ネットワーク上で活用することが求められています。 Brooks InstrumentのEtherNet/IP対応流量機器なら、PLC／DCSなどの制御システムとネットワーク接続し、流量値に加えて、設定値・積算流量・温度・バルブ駆動・アラーム・診断情報などを取得可能。個別のアナログ配線を減らし、装置設計から立ち上げ、運用・保守までの効率化を支援します。 ■ このような課題をお持ちの方へ - 流量機器ごとのアナログ配線の削減 - PLC／DCSとの接続・装置設計の簡素化 - 流量値以外の機器情報の取得 - 装置立ち上げ・設定作業の効率化 - 機器状態の可視化とトラブル切り分け - 設備保守・メンテナンス業務の効率化
- 企業：ITWジャパン株式会社
- 価格：応相談
マスフローコントローラー、Alicat社
100msの制御応答、±(0.8% RD + 0.2% FS) の高い流量精度、アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載
★ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現。 ★流量変化にすばやく追従。高速制御応答により希望の流量を短時間で得ることができます。 ★流量設定はフロントスイッチ操作のほか、アナログ入力、 RS-232C通信による設定も可能です。 ★質量流量 0-5VDC 出力を標準搭載。0-10VDC、1-5VDC、4-20mADCのご指定も可能です。また追加でアナログ第2出力も可能です。 ★微少の 0.5SCCM タイプから大流量の 5000SLPM タイプまで幅広くラインナップ。 ★混合ガスを含め98種類のガスが1台で制御が可能です。ガスの選択はフロントのスイッチ操作で簡単に行えます。 詳しくはお問い合わせいただくかカタログをダウンロードください。
PIマスフローコントローラ『MODEL ST-500』
ダイヤフラム式バルブ採用のメタルシールMFC！EP処理及び酸化被膜処理により腐蝕性流体に対応
『MODEL ST-500 SERIES』は、PI機能(Pressure Insensitive 圧力鈍感性)を 備えたマスフローコントローラです。 流量センサ前段に圧力センサを搭載しており、そこで捉えた圧力変動を 変動前の圧力と比較しリアルタイムでバルブ開度に補正をかけることで、 圧力変動に対して安定した流量制御を行うことが可能。 半導体製造装置など、安定性や正確性が必要となるガス供給プロセスに 適しております。 【特長】 ■圧力変動に対し安定した流量制御が可能(ST-500のみ) ■DeviceNet、EtherCAT、RS485(ST-550のみ)通信対応 ■IGS Wシール継手対応 ■S.P.精度で高精度な計測制御が可能、全流量制御範囲 応答1sec以内 ■専用アプリによるマルチレンジ機能(30～100％F.S.) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
マスフローコントローラ EL-FLOW Classic
OEMに最適。コスト低減と多様な用途における柔軟性を追求した、アナログI/O専用サーマル式デジタルマスフローコントローラ
EL-FLOW Classicシリーズ デジタルマスフローコントローラは、ブロンコストの最新技術を盛り込みつつ、流量測定・制御という基本的な機能に特化して価格を抑えたモデルです。 アナログI/O対応(デジタル通信非対応)、標準ガス(Air, N2, H2, O2, He, Ar, CO, CO2, N2O, CH4)向けのみのラインナップとし、納期を短くしています。 詳しくはカタログをご覧になるか、お問合せ下さい。
- 企業：ブロンコスト・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
マスフローコントローラ/メータ『GF40シリーズ』など2製品
1台のデバイスで複数のガスに対応するマスフローコントローラ/メータ。最大4台まで接続できるコンパクトなリードアウトユニットも紹介
『GF40シリーズ』は、1台で複数のガスに対応し プロセスの柔軟性と生産性を向上できるマスフローコントローラ/メータです。 メーカー独自の「MultiFloテクノロジー」を搭載し 高精度な流量制御や測定が可能で、多様なガスを使用するシステムに好適。 頻繁にガスの種類を変更する場合や、測定と制御精度を維持しつつ 範囲を再調整する必要のあるプロセス・施設で活躍します。 また、『0254』は電源供給とアナログ制御の機能に加え RS232シリアルポートを搭載したリードアウトユニットです。 RoHS指令に準拠し、ユーザーフレンドリーな操作性を提供。 多様なアプリケーションに簡単にインストールできる取付方法のオプションがあり 最大4台のBrooksマスフローまたは圧力デバイスに電力を供給します。 【特長】 ◎『GF40シリーズ』 ■豊富な実ガスデータを搭載 ■ガス種と流量レンジを変更できるため、1台で多様な研究テーマに対応可能 ◎『0254』 ■流量設定は瞬時制御とバッチ制御、流量表示は瞬時と積算に対応 ■省スペースで最大4台のマスフローコントローラ/メータを接続可能
- 企業：ITWジャパン株式会社
- 価格：応相談
サーマル式マスフローコントローラ EL-FLOW Base
コスト低減と多様な用途における柔軟性を追求した、新しいマスフローコントローラ。
EL-FLOW Baseシリーズ マスフローコントローラはブロンコストの最新の技術を取り入れつつ、標準的な機能に絞り込んで価格を抑えた低価格モデルです。 特にOEM向けに開発されたファーストレスポンス・マスフローコントローラです。 一般的なガスへの用途では正確な計器と安定した制御を提供します。 EL-FLOW Baseは特にOEM装置への設置などにおいて大変経済的なコストソリューションを提供しています。 これまでのF-201CB, F-201ABに加え、最大流量200 ln/min AirのF-202BBが加わりました。 詳しくはカタログをダウンロードしてご覧下さい。
- 企業：ブロンコスト・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
【低流量・低差圧】0.1ml/mから対応可能なマスフロー
0.1mL/minの超微小流量から20L/minまで、高精度にガス流量を制御
ビュルケルトのマスフローコントローラ Type 8733は、0.1 mL/minの超微小流量から最大20 L/minまで対応するコンパクトなMFCです。高精度な質量流量計測と比例制御により、微小なガス流量を安定して制御します。センサー・制御部・比例弁をコンパクトなボディに集約しており、分析装置や計測・検査装置の小型化・高密度化に貢献。Modbus RTUによるデジタル通信にも対応し、キャリアガス、校正ガス、半導体検査、材料評価、研究・ラボ設備など幅広い用途に適しています。
- 企業：ビュルケルトジャパン株式会社
- 価格：応相談
mini CORI-FLOW マスフローコントローラ（流量計）
センサー応答が高速のため、高速制御が可能になったマスフローコントローラ
「mini CORI-FLOW(R) マスフローコントローラ（流量計）」は、高安定制御出力、高速応答の特徴を有しています。 センサー応答が高速(50…200msec)のため、高速制御が可能になりました。 従って例えば、分給等へのアプリケーションが期待できます。 【特長】 ○本体直結調節弁 ○高速応答 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：ブロンコスト・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
CANopenに対応したマスフローコントローラType874X
従来機種の高速応答性能、高レンジアビリティに加えてCANopenに対応！
●CANOpenに対応したMFC ●高速応答（最速0.3秒以内、一部機種で0.5秒以内） ●10[ml/min]～1500[l/min]の幅広い流量レンジに対応する豊富なラインナップ ●保護等級IP65
- 企業：ビュルケルトジャパン株式会社
- 価格：10万円 ~ 50万円
マスフローコントローラー『1000シリーズ』
スタート時のオーバーシュートを抑制！低価格の高性能ガス流量制御器
『1000シリーズ』は、マスフローコントローラーの基本機能に特化した アナログ低価格モデルの高性能ガス流量制御器です。 各種分析・成膜・理化学などの実験研究・製造用途など幅広い分野で ご使用頂けます。 また、流量設定と表示のみのシンプル設計で操作が簡単な表示設定器付 専用電源「PA01」もご用意しております。 【特長】 ■低価格 ■コンパクトサイズ ■スタート時のオーバーシュートを抑制 ■バルブ型式：ノーマルオープン ■流量制御範囲：5～100％F.S. ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社グリーンテック 大阪本社
- 価格：応相談
気体・液体用マスフローコントローラ＜真空・圧力計測と制御＞
薄膜、コーティング、表面処理は、幅広い産業とアプリケーションをカバーしています！
産業用や民生用の製品の表面には、その仕上がりを最適化させるためにコーティングを施すことがあります。例えば、切削工具の耐摩耗性、ガラスの耐傷性、板ガラスの熱特性、住宅設備機器の美観などを向上させることが可能です。 化学蒸着、物理蒸着、プラズマ処理プロセス、溶射など、コーテイングの手法はさまざまですが、製造工程の最終段階として行われることが多いようです。 ブルックスインスツルメントのマスフロー、真空、圧力測定および制御装置は、PVDおよびCVDプロセスアプリケーションをカバーしています。また、当社の製品は、熱処理やプラズマ処理プロセスなどの表面処理アプリケーションにも適しています。 【特長】 ■再現性の高い、高精度なガス供給 ■優れた品質、正確な厚み、膜厚の均一性 ■長期にわたる安定したプロセス制御 ■高機能な現場での流量診断とトレンド解析で、プロセスの歩留まりを最大化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ITWジャパン株式会社
- 価格：応相談
mini CORI-FLOW マスフローコントローラ（流量計）
センサー応答が高速のため、高速制御が可能になったマスフローコントローラ ※ナノ学会出展
「mini CORI-FLOW(R) マスフローコントローラ（流量計）」は、高安定制御出力、高速応答の特徴を有しています。 センサー応答が高速(50…200msec)のため、高速制御が可能になりました。 従って例えば、分給等へのアプリケーションが期待できます。 【特長】 ○本体直結調節弁 ○高速応答 ★ナノ学会第16回大会に出展します！ 日時：2018年5月10日（木）～12日（土） 会場：東京大学 浅野キャンパス 武田先端知ビル 武田ホール 5F ぜひこの機会にお越しください。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：ブロンコスト・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
高温マスフローコントローラ『5850EMHシリーズ』
実証された長期安定性！高温アプリケーション向けの超高清浄性能をご提供いたします
『5850EMHシリーズ』は、リークインテグリティの高いメタルシールに、 柔軟なアプリケーション対応を可能にする高温マスフローコントローラです。 さまざまなオプションを組み合わせ、先端の高温ガス測定および制御を実現。 当製品の中心は、電子出力信号と流量を表示する安定性の高いセンサーで、 この信号は、自動ゼロ調整回路を使用せず、表示、記録、制御を行う場合に 使用します。 【特長】 ■高リークインテグリティ（10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He 以下） ■幅広い流量レンジ（0.003～100 slpm） ■高清浄VAR 316Lステンレス製 ■粒子の発生を防ぐ ■ヘリウム漏れチェックポート ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ITWジャパン株式会社
- 価格：応相談
ALICAT マスフローコントローラー MCD（デュアルバルブ）
バルブ2基搭載し双方向制御が可能。加圧や負圧、真空引きでの制御が行えます。腐食性ガスや低圧力損失対応モデル有。納期6-8週間。
『MCD/MCDSシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した 「MCDSシリーズ」や「MCDWシリーズ」などのラインアップをご用意しています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：日本スターテクノ株式会社
- 価格：応相談
汎用型マスフローコントローラ『1179C』
標準3インチフットプリントで既存のガスラインを変更することなく設置可能！
『1179C』は、様々なアプリケーションに対応する汎用型の マスフローコントローラです。 10sccm～20simのフルスケールレンジがあり、0.2sccmの低流量まで 高速で再現性の高い流量制御が可能です。 また適合する圧カトランスデューサを接続することで圧力制御装置 としても使用可能。ほとんどの一般的なMFCと直接置換え可能です。 電気コネクタは業界標準品と同じピン配置、信号および機能を備えた Dサブコネクタで、ケーブルやコネクタの変更も不要です。 MKSおよび他社のMFC電源、表示器と互換性があります。 【特長】 ■要求の厳しいプロセスに対応 ■特許1取得済みのセンサ設計により、優れたゼロ安定性 ■フルスケールレンジ10sccm～20simで正確で再現性の高い流量測定、制御 ■アナログはフルスケールのパーセント精度 ■高速ウォームアップでダウンタイム低減 ■他のMKS製MFC、電源リードアウトと互換性あり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：日本エム・ケー・エス株式会社
- 価格：応相談
