薄膜コーティングのメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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薄膜コーティング(金属) - メーカー・企業と製品の一覧

更新日: 集計期間:2026年01月14日~2026年02月10日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。

薄膜コーティングの製品一覧

1~30 件を表示 / 全 32 件

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『薄膜コーティング』加工技術紹介

ほとんどの金属・金属酸化物・誘電体膜をコーティングできる薄膜コーティング!

当社では、PVDに属する、抵抗加熱真空蒸着、EB加熱真空蒸着、 スパッタリング法での成膜加工ができます。 これらの加工技術を使い分けることで、ほとんどの金属、金属酸化物、 誘電体膜をコーティングできます。 ご要望の際は、お気軽にご相談ください。 【特長】 ■抵抗加熱真空蒸着、EB加熱真空蒸着、スパッタリング法での  成膜加工が可能 ■ほとんどの金属、金属酸化物、誘電体膜をコーティング可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 技術開発
  • 薄膜コーティング

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Kugler社製金属ミラー

高品質を、標準品質に。Kugler社製の金属ミラー

ダイヤモンドマシニングによるユニークで高品質な金属ミラ−です。 高品質で、平面、球面、楕円形など多種多様なKugler社製金属ミラーを標準商品として取り揃えております。 【特長】 ◆ご希望の形状の特注品に関しても、できるだけ安価にご提供いたします ◆ルーフ面:放物面と同時に使用しマルチスポットを作ります ◆コンバージョン面:ビームシェイバーとして使用します ◆内部水冷つき・高耐久性コード付などのミラーも標準化 ■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□ =====詳細はお問い合わせください=====

  • レンズ
  • ミラー
  • 薄膜コーティング

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金属・金属酸化物・誘電体膜対応 薄膜コーティング

金属・金属酸化物・誘電体膜対応 薄膜コーティング

フォトファブリケーションを中心的技術として、 マイクロエレクトロニクス製品や光学製品をはじめとする様々な分野での 試作・開発に貢献するフォトプレシジョン社 『薄膜コーティング』のご案内です。 ほとんどの金属・金属酸化物をコーティングすることが可能! ■□■特徴■□■ ■抵抗加熱真空蒸着、EB加熱真空蒸着、スパッタリング装置を  社内に保有 ■抵抗過熱真空蒸着  真空中で薄膜材料(ターゲット)を加熱蒸発させ、基板面に   付着させる蒸着方法 ■E.B.加熱真空蒸着   真空中でターゲットを加熱蒸発させ、基板面に付着させる蒸着方法 ■スパッタリング   ターゲットにアルゴン陽イオンで衝撃を与え、衝撃でたたき出された   原子が基板面に到着して膜を形成する成膜法 ■その他膜種、膜厚や多層膜についてもお気軽にお問い合わせ下さい。   基板種・サイズなど幅広く対応が可能です。

  • 加工受託
  • 薄膜コーティング

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金属ミラー

アルミ・金・銀・アルミナ・クロム・ニッケルなど多種多様な製品への対応が可能!

『金属ミラー』は、ミラー類のうち、基材表面に金属膜を蒸着した製品です。 当社のミラー類はガラス加工の技術を活かし、寸法・平行・平面 (面精度・面粗度)等を高精度に加工した製品となります。 蒸着膜の種類としては、アルミ(Al)・金(Au)・銀(Ag)・アルミナ (Al2O3)・クロム(Cr)・ニッケル(Ni)など多種多様な製品への対応が 可能。 ご希望される用途や光学特性、コストに応じて好適なものをご提案します。 【特長】 ■基材表面に金属膜を蒸着している ■寸法・平行・平面(面精度・面粗度)等を高精度に加工 ■蒸着膜の種類 ・アルミ・金・銀・アルミナ・クロム・ニッケルなど ■ご希望される用途や光学特性、コストに応じて好適なものをご提案 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • ミラー
  • 薄膜コーティング

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蒸着法 各種金属薄膜

蒸着法 各種金属薄膜

蒸着法により高性能・高品質な膜を提供 日本真空科学研究所が取り扱う、各種金属薄膜 【特徴】 ○蒸着法では⾼精度に膜厚を制御することが可能なため、  全反射ミラーコートはもちろんのこと、入射光の一部を透過させる  ハーフミラーコートも対応可能 ○要求される性能・コスト・耐久性等に応じて最適な膜種を提案 ○製品一覧  ・アルミニウム(Al)     高い反射特性と低コストを兼ね備えた最もポピュラーな金属膜  ・クロム(Cr)     低コストと高耐久性(耐腐食性や耐傷性)を両立  ・金(Au)     赤外域にて極めて高い反射率を示すため、赤外線を用いた光学機器に使用  ・その他、インコネル・ニクロム・アルメル・クロメル等の合⾦の製膜も可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

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金属ミラー

仕様角度は0度~90度!比較的低コストで汎用性が高く、各種波長域に対応可能です

『金属ミラー』は、アルミや金等を硝子に施した製品です。 比較的低コストで汎用性が高く、各種波長域に対応可能です。 主な波長域は、紫外域(200nm)~可視域~赤外域、 仕様角度は、0度~90度です。 当社では、コート(真空蒸着)により、耐久性の 高い製品をご提供可能です。 【主な硝材】 ■光学硝子全般 ■合成石英 ■光学結晶(Si・Ge) ■色ガラス ■樹脂 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • ミラー
  • 薄膜コーティング

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スパッタ・蒸着ソース複合型成膜装置【nanoPVD-ST15A】

スパッタカソード・蒸着ソース混在型薄膜実験装置 コンパクトフレームに金属蒸着・有機蒸着・スパッタカソードを設置

抵抗加熱蒸着源(金属蒸着)、有機蒸着源(有機材料)、マグネトロンスパッタ(金属・絶縁材)、3種類の成膜コンポーネントをチャンバー内に設置、様々な薄膜実験装置に1チャンバーで対応が可能です。 ◉組み合わせは3種類 1. スパッタカソード + 抵抗加熱蒸着源x2 2. スパッタカソード + 有機蒸着源x2 3. スパッタカソード + 抵抗加熱源x1 + 有機蒸着源x1(*DCスパッタのみ) ・蒸着範囲:Φ4inch/Φ100mm ・真空排気系:ターボ分子ポンプ + 補助ポンプ(ロータリー、又はドライスクロールポンプ) ・基板回転、上下昇降ステージ ・Max500℃基板加熱ヒーター ・水晶振動子膜厚センサー ・7”タッチパネルHMI操作(’IntelliLink’ WindowsPCリモート監視ソフト付属)

  • スパッタリング装置
  • 蒸着装置
  • アニール炉
  • 薄膜コーティング

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真空蒸着法

50種類以上もの薄膜コーティングを1個からでも対応可能!薄膜形成ならお任せください!

薄膜とは「はくまく」「うすまく」と呼ばれ、 一般的に膜の厚みがナノレベルのコーティング(被膜)を指します。 薄膜は、真空装置の中で膜にしたい材料(金属等)を蒸発させたり叩き出したりして形成されます。 『真空蒸着法』 真空蒸着法は、真空中で膜にしたい材料(金属等)を加熱して蒸発させ、 その蒸気(粒子)が対象物に到達し、堆積していくことで膜を形成する方法です。 真空蒸着法は、気化した材料がそのまま対象物に到達するため、 対象物のダメージが少なく純度の高い膜が形成できるのが特徴です。 東邦化研株式会社では、イオンプレーティング・真空蒸着・P-CVD・スパッタによる、導電性、絶縁性、耐蝕性などの機能性薄膜の受託加工サービスを行っております。  様々な機能性薄膜を、試作から生産まで対応しております。 膜種・膜厚・成膜条件・対応基板(材質、サイズ、形状)への柔軟な対応と、35年の実績をもとに、マスキング成膜やメタルマスクでのパターン形成にも対応いたします。 お気軽にご相談下さい。

  • センサ
  • 薄膜コーティング

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【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置

小型・省スペース! 有機薄膜開発に好適 蒸着・スパッタ・アニール等全ての作業をグローブボックス内でシームレスに行う事ができます。

OLED(有機EL), OPV(有機薄膜太陽電池), OTFT(有機薄膜太陽電池), 又, グラフェン, TMD(遷移金属ダイカルコゲナイド)などの2D材料における成膜プロセスでは、酸素・水分から隔離された不活性ガス雰囲気で試料を取扱う必要があります。 MiniLab-026/090-GBでは、PVDチャンバーをGB内に収納することにより有機膜用途の「酸素・水分フリー」実験環境をコンパクトな省スペース環境で実現します。 【特徴】 ◉ PVD成膜、スピンコート塗布・ホットプレートベーキングなど一連の作業を外気に晒すことなく、GB内でシームレスに行うことができます。 ◉ 省スペース:背面にチャンバーがせり出しませんので、スペースを取りません。 【MiniLab対象】 ◉ MiniLab-026(26ℓ容積):金属/絶縁物/有機材料蒸着、スパッタリング、プラズマエッチング、アニール ◉ MiniLab-090(90ℓ容積):金属/絶縁物/有機材料蒸着、EB蒸着、スパッタリング、プラズマエッチング、アニール ※ まずはご要求の仕様をご連絡下さい、ご要望に合わせシステム構成致します。

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小冊子プレゼント!『失敗しないコーティング選び』第3弾!

読むだけで硬質薄膜コーティングの基礎が分かる小冊子のダウンロード!金型・摺動部品の長寿命化に

読むだけで硬質薄膜コーティングの基礎が学べる小冊子『失敗しないコーティング選び』を無料でダウンロード頂けます。 今回は、各種金属と硬質薄膜材料の摩擦係数比較や摺動材料の組み合わせによるDLC 摩擦係数の比較、など様々な試験データを図やグラフで分かりやすくまとめました。 冊子でご希望の方は『お問い合わせ』からお願い致します。 【掲載内容】 ■Ball on Disc 回転 ドライ ■Ball on Disc 往復 ドライ ■Ball on Disc 回転 油中 ■Ball on Disc 回転 ドライ加熱 ■ファビリ(ファレックス) パラフィン基油 ■ファビリ(ファレックス) ドライ ■Ball on Disc 回転、往復 加熱 ※詳しくはお問い合わせいただくか、PDFをダウンロードしてご覧ください。

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東邦化研株式会社『コーティング受託加工実績』

30年を超え、受託薄膜加工一筋!豊富な経験と確かな技術に培われた加工実績

東邦化研株式会社の表面処理薄膜コーティング受託加工サービスの加工実績を紹介いたします。 単金属膜をはじめ、酸化膜、炭化膜、窒化膜、合金膜、光学膜、またこれらの多層膜(積層膜)と様々な膜種に実績を残しています。 【適用分野】 ■電気・電子部品:電極膜・絶縁膜・表面保護膜・透明導電膜など ■真空装置部品:汚染防止・絶縁膜・ボンディングメタルなど ■航空宇宙関連:軽量化・防蝕・固体潤滑など ■機械部品・金型:耐摩耗性・離型性・防蝕・表面硬化など 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 表面処理受託サービス
  • 薄膜コーティング

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AR ミラー 金属膜 光学薄膜 加飾 装飾 撥水 防汚 防曇  

高精度・短納期・少量多品種などお客様のご要望に対応いたします!

株式会社和絋工業は、主にガラス製品薄膜加工を行っている会社です。 当社では薄膜コーティング技術で最先端情報機器の発展に貢献しています。 また、高精度・短納期・少量多品種などお客様から寄せられる様々な ご要望にきめ細かに対応いたします。 真空蒸着装置や測定器、環境試験機など新鋭設備で信頼にお応えいたします。 【主な事業内容】 ■ガラス製品薄膜加工 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 加工受託
  • 製造受託
  • フィルタ
  • 薄膜コーティング

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◆nanoPVD-T15A◆ 高性能 有機膜・金属膜蒸着装置

限られたラボスペースを有効活用できる小型ベンチトップサイズ装置に、最新の真空蒸着技術の全てを収納しました。

OLED, OPV, OTFT等の有機材料用・温度応答性/安定性に優れた高性能有機ソースLTE(最大4源)、交換・メンテナンスが容易に行える金属蒸着ソースTE(最大2源)を採用、手動運転モードから、自動連続多層膜、同時成膜の自動モードでの運転も可能です。 コンパクトサイズにも関わらず、基本性能・膜質・均一性・操作性の全てを犠牲にせず、スタンドアローン大型機と同様の性能を実現しました。 更に簡単タッチパネル操作でPLC全自動制御。 難しい操作手順を必要とせずどなたでも直感的に操作ができる分かりやすいHMI。 リモートソフトウエア「IntelliLink(インテリリンク)」付属:USBケーブルでWindows PCに接続し、装置運転状況モニター、ログ保存、オンライン/オフラインレシピ作成保存、故障解析などが可能です。 限られた開発現場・ラボスペースを最大限有効活用ができる省スペース設計・メンテナンス性にも優れたコンパクトサイズ真空蒸着装置です。

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小冊子『失敗しないコーティング選び』※第1~3弾まとめて進呈

図解満載!読むだけで硬質薄膜コーティングの基礎知識・品質管理が分かる!

耐摩耗性・潤滑性に優れたDLCコーティングを得意とする当社から、小冊子『失敗しないコーティング選び』第1弾&2弾&3弾を3冊まとめてプレゼント! 第1弾では、そもそもコーティングとは?といった基礎知識から、コーティング材、実際のコーティング方法を分かりやすく解説。 第2弾では、“硬質薄膜の品質管理”をテーマに、基礎知識をはじめ「HRC圧痕試験法」など、膜厚・硬さ・密着力の測定方法について紹介しています。 第3弾では、各種金属と硬質薄膜材料の摩擦係数比較や摺動材料の組み合わせによるDLC 摩擦係数の比較、など様々な試験データを図やグラフで分かりやすくまとめています。 ※ダウンロードにてすぐにお読みいただけます! 【掲載内容(抜粋)】 ◎第1弾  ■コーティングとは?  ■コーティングにはどんな材料が使われるの? ◎第2弾  ■硬質薄膜の品質管理とは?  ■膜厚の測定方法 ほか ◎第3弾  ■各種金属と硬質薄膜材料の摩擦係数比較  ■摺動材料の組み合わせによるDLC 摩擦係数の比較 ほか ※詳しくは小冊子をご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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スピンスプレー薄膜作製装置

スピンスプレー薄膜作製装置

フェライトめっきとは、室温〜90℃の水溶液中で、直接強磁性フェライト膜を作製できる革新的技術です。・1983年に東京工業大学 阿部正紀研究室で発明されて以来工夫を重ね、各種の薄膜磁性デバイス、バイオ・メディカルデバイスへの応用開発がなされ、一部は実用化されました。Fe2+イオンとNi2+などのイオンを原料として、Fe2+→Feの酸化反応を利用し各種のフェライトの薄膜作を可能にしたのが、フェライトめっき法の独創的なポイントです。最大ポイントは基板表面のOH基と金属イオンが共有結合性の化学結合を行う(単なる物理吸着ではない)ために強固な付着力が得られます。

  • 分析機器・装置
  • その他実験器具・容器
  • 薄膜コーティング

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『薄膜コーティングサービス』

素材に新たな特性を!各種材料による形成のニーズに応える表面処理受託加工

東邦化研株式会社では、イオンプレーティングや真空蒸着に加えて、スパッタやP-CVDによる各種表面処理の受託加工を長年行っております。 試作開発案件から、中・小ロットの生産案件までと、幅広く対応させていただいております。 単金属、酸化物、窒化物、炭化物等、各種材料による薄膜形成のニーズにお応えいたします。 【サービスの特長】 ■試作、小ロットにも対応 ■各種材料に対応 ■仕様・材料・プロセスに合った装置を使い分け ■環境に配慮 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 表面処理受託サービス
  • 薄膜コーティング

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『機能性薄膜の受託加工サービス』

柔軟な対応と30年の実績!多岐に渡るご要望に応える、高機能受託加工サービス

東邦化研株式会社では、イオンプレーティング・真空蒸着・P-CVD・スパッタによる、導電性、絶縁性、耐蝕性などの機能性薄膜の受託加工サービスを行っております。  様々な機能性薄膜を、試作から生産まで対応しております。 膜種・膜厚・成膜条件・対応基板(材質、サイズ、形状)への柔軟な対応と、35年の実績をもとに、マスキング成膜やメタルマスクでのパターン形成にも対応いたします。 お気軽にご相談下さい。 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 表面処理受託サービス
  • 薄膜コーティング

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蒸着材料

お客様のニーズに合わせた種類・形状・サイズの蒸着材料をご提供しています。

薄膜は、レンズ類の反射防止膜、レーザーフィルター、ミラー、液晶ディスプレイパネル、建築用ガラス等々、実にさまざまな分野で利用されており、最近では特に撥水、防汚等の機能性薄膜が注目されています。一般的には、これらの薄膜は蒸着によって形成され、金属酸化物やフッ化物等の材料が蒸着材料として用いられており、多種多様な目的に応じた種類・形状・サイズのものが使用されます。弊社ではお客様のニーズにお応えする蒸着材料を提供しています。

  • 蒸着装置
  • 薄膜コーティング

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資料進呈『表面処理薄膜コーティングに関する技術資料』

素材に新たな機能を吹き込む薄膜加工技術を解説した技術資料を進呈中!各種表面処理薄膜コーティング法を掲載!試作から生産案件まで対応

東邦化研株式会社では、イオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる機能性薄膜の受託加工(コーティングサービス)を行っております。 金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、合金膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、試作・開発・研究などの少量案件から、中小ロットの生産案件まで、幅広いご要望にお応えするべく体制を整えて参りました。 機能性薄膜をご検討の際は、お気軽にお声掛けください! 柔軟な対応と35年以上の実績をもとに、お客様のご要望にお応えします! また、本資料では各コーティング法の特徴の他、コーティング事例やパターン形成についても掲載しています。 ご興味のある方は資料をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

  • 基板設計・製造
  • その他加工機械
  • 薄膜コーティング

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耐凝着・耐摩耗・メタルフリー『 WIN KOTE(DLC)』

耐凝着性に優れた硬質薄膜WIN KOTE -表面処理・コーティング技術-

▶表面処理・溶射・コーティングならトーカロにお任せください! WIN KOTEは摺動性に優れ、アルミニウムや銅などの軟質金属の凝着を抑制します。 【WINKOTEの特徴】 ● 耐凝着性 ● 高硬度 ● 摺動性良好 ● 低温施工 【資料掲載内容】 ●特徴 ●施工例・装置外観 ●各種試験結果  ・凝着性比較試験結果  ・耐久性比較試験結果 ●本技術のねらい  ・缶製品搬送用ガイド  ・箔製品搬送用ロール 【資料ダウンロードはこちら】 https://tocalo-download.satori.site/tpr027-00?source=ipros

  • その他搬送機械
  • 薄膜コーティング

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UVオゾンクリーナー UV-300

UV/O3クリーナー・UVオゾンクリーナー

UV-300は、フォトレジストアッシング、シリコンウエハークリーニング、クロムマスククリーニングなど各種半導体プロセスの完全ドライ処理を高濃度オゾンと紫外線照射の相互作用で効率よく行うことを目的として開発された洗浄装置です。

  • その他洗浄機
  • 薄膜コーティング

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UVオゾンクリーナー UV-300H

UV/O3クリーナー・UVオゾンクリーナー

UV-300Hは、フォトレジストアッシング、シリコンウエハークリーニング、クロムマスククリーニングなど各種半導体プロセスの完全ドライ処理を高濃度オゾンと紫外線照射の相互作用で効率よく行うことを目的として開発された洗浄装置です。本装置は従来のUV/O3処理に比べ、高速処理が可能です。

  • その他洗浄機
  • 薄膜コーティング

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薄膜実験装置_「PRODUCTS GUIDE 2022」

半導体・電子デバイス・燃料電池・ディスプレイなどの研究開発用各種実験装置、薄膜実験装置を紹介。

研究開発分野向け、各種薄膜実験装置・コンポーネントを紹介します。 【nano Benchtopシリーズ】 ハイパフォーマンス!nano Benchtopシリーズ薄膜実験装置 コンパクトサイズに、高機能・ハイスペックな薄膜装置を収納 【MiniLabフレキシブル薄膜実験装置】 多彩な装置構成、必要なコンポーネントを要求仕様に合わせて組み合わせ構成する「フレキシブル実験装置」

  • スパッタリング装置
  • 蒸着装置
  • アニール炉
  • 薄膜コーティング

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【技術資料】エキシマランプを用いた薄膜製造のプロセスの可能性

「高出力型のキセノン・エキシマ・ランプ」を利用!光CVD法の製膜速度についてご紹介

金属や高分子材料の表面に薄膜を製膜することにより、材料表面の 機械的性質、熱的性質、化学的性質、電気的性質をコントロールする ことができます。 この表面改質に用いる薄膜の製膜方法には、真空蒸着法やPVD法、 プラズマCVD法など、様々な方法を採用。今後とも新たな製膜方法の 探索や開発が続けられていくものと考えられます。 そこで当資料では、「高出力型のキセノン・エキシマ・ランプ」を 利用した薄膜製造プロセスの可能性について、検討を行った結果を ご紹介しております。 【掲載内容】 ■はじめに ■「高出力型のキセノン・エキシマ・ランプ」を用いた光CVD法の製膜速度 ■おわりに ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 紫外線照射装置
  • 薄膜コーティング

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薄膜加工技術の解説付きガイドブック『薄膜Q&A』を無料進呈中!

各コーティング方法の違いや特徴、コーティング事例、お問い合わせの多い質問をまとめた『薄膜Q&A』を無料でプレゼントします! 

素材に新たな機能を吹き込む薄膜加工技術をQ&A形式で分かりやすく解説した資料を無料進呈中! ・真空蒸着?  ・イオンプレーティング? ・どんな膜ができるの? ・こんなコーティングはできるの? ・試作だけでもいいの?量産もできるの? 東邦化研株式会社では、表面処理に好適なイオンプレーティング(PVD)・真空蒸着・プラズマCVD・スパッタリングなどによる薄膜コーティング受託加工サービスを行っております。 イオンプレーティング部発足以来、約40年に渡って幅広い分野で実績を残してまいりました。 その中で、特にお問い合わせの多い質問をまとめてみました。 各コーティング方法の違いや特徴、コーティングの具体例等、イラストや写真を交えて、 なるべく分かりやすくまとめましたので、ぜひダウンロードしてみてください。 柔軟な対応と35年以上の実績をもとに、お客様のご要望にお応えします! 機能性薄膜をご検討の際は、お気軽にお声掛けください! ご不明な点につきましてもまずはお気軽にお問い合わせください☆

  • 表面処理受託サービス
  • スパッタリング装置
  • セラミックス
  • 薄膜コーティング

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スパッタ・蒸着源複合型 薄膜装置 【nanoPVD-ST15A】

真空蒸着(金属・有機蒸着源)、スパッタリングカソードの混在設置が可能な「複合型」薄膜実験装置 nanoPVD-ST15A

nanoPVD-ST15Aは、抵抗加熱蒸着源、有機蒸着源、Φ2inchマグネトロンスパッタリングカソードを同時に設置可能な複合型薄膜実験装置。ベンチトップサイズ・省スペース、限られたラボスペースを有効活用いただけます。 顕微鏡用試料作成用コーターではありません、電子回路基板、電池、MEMS、新素材開発などの研究開発用途で求められる高品質な薄膜を作成することができます。 ガス系統最大3系統(プロセス圧力APC自動制御)、連続自動製膜(最大20層)、2源同時成膜など豊富な機能を備え、更に基板加熱ヒーター(500℃)、ドライスクロールポンプなど豊富なオプションも用意。 真空引き・成膜制御・ベント、レシピ作成、更に故障解析、ログ等全て前面の7"タッチパネルで操作、操作の一元管理が可能です。 IntelliLinkソフトウエア付属:Windows PCとUSBケーブルで接続しリモート監視、オフラインレシピ作成・ダウン&アップロード、ログ保存 新素材・新材料開発、及び半導体・電子部品・燃料電池・大陽電池などの先端基礎技術開発部門でのさまざまなアプリケーションに対応致します。

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  • 蒸着装置
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□■□【MiniLab-026】フレキシブル薄膜実験装置□■□

小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合わせてフレキシブルに構成

モジュラー式コンポーネント・制御機器の装置設計により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。 マグネトロンスパッタ(最大3元)もしくは抵抗加熱蒸着(金属 最大4、有機 x4)、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。 グローブボックス収納タイプもございます(*要仕様協議)。 フレキシブルにカスタマイズが可能な豊富なオプション部品を揃えております。 ◉ 最大基板サイズ:Φ6inch ◉ 抵抗加熱蒸着源フィラメント、ルツボ、ボート式(最大4元) ◉ 有機蒸着ソース:1cc or 5cc ◉ Φ2inchマグネトロンカソード(最大3元) ◉ ドライエッチング ◉ グローブボックス搭載可能(オプション 要仕様協議) ◉ その他オプション: 2元同時成膜、HiPIMS、デポレート・膜厚自動制御、特注基板ホルダ、基板回転/昇降、基板加熱などオプション豊富。 ※ まずはご要求の仕様をご連絡下さい、ご要望に合わせシステム構成致します。

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□■□【MiniLab-080】フレキシブル薄膜実験装置□■□

蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。 高さ570mmトールチャンバー採用 蒸着時の均一性向上に寄与

80ℓ容積 400(W)x400(D)x570(H)mm D型ボックスチャンバーで構成されるML-080は、070と同等の構成で更にチャンバーを高くすることによりTS距離調整範囲が長く、大口径基板での蒸着時の膜均一性が向上、真空蒸着に最適なモデルです。ロードロック機構も追加できるML-070の上位機種。070同様に、コンパクトながら抵抗加熱蒸着(金属/絶縁物/有機材料),EB蒸着, RF/DC/PulseDC兼用マグネトロン式スパッタ, RIEプラズマエッチング, アニールなどの幅広い目的に対応。 ・最大基板サイズ:Φ11inch ・抵抗加熱蒸着源 x 最大4元 ・有機蒸着源 x 最大4元 ・マグネトロンスパッタリングカソード x 4元 ・電子ビーム蒸着 ・基板加熱ステージ(標準500℃, Max1000℃) ・*プラズマエッチング/<30Wソフトエッチング *プラズマエッチングはメインチャンバー、ロードロックチャンバーいずれも設置可能

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プラスチック・セラミック材料、ゴム材料に『DLC(TAC)薄膜』

低温成膜の為、各種材料へのDLC(TAC)の成膜可能!耐磨耗性、耐スクラッチ性を大幅改善!金属材料からプラスチック材料へ置換えに

プラスチック材料やセラミックス材料へのコーティングが難しかったDLC (ta-C)膜の成膜が可能になりました。 低温でコーティングを行っているため、基板材料の変形、変質もありません。 更に、DLC(TAC)上に装飾膜(金属膜)をコーティングすることにより 高級感あふれる高硬度膜を提供することが出来ます。 DLC(TAC)だけでなく、金属膜のコーティングも可能です。 【特長】 ■低温成膜 ■キズ付き防止 ■DLC(TAC)+装飾膜が可能 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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精密部品にナノレベルの超薄膜表面処理『ナノプロセス』 ※資料進呈

撥水性・撥油性・非粘着性・液滑落性などを追求した超薄膜コーティングプロセス!現在新シリーズをまとめた特性データ付き資料を進呈中

超薄膜表面処理『ナノプロセス』はナノレベルから1μm程度の薄い膜でコーティングし、撥水性・撥油性・非粘着性・液滑落性などを向上させます。 寸法変化をほとんど起こさず、光学特性を維持できることから、 これまでフッ素樹脂コーティングが難しかった 『精密部品』や、『高い寸法・表面精度を必要とする分野』での加工が可能となっております。 〈対応可能な高い表面精度を必要とする業界例〉 半導体 自動車 電池 電子部品 医療機器 etc また、ナノプロセスは4つの新しい機能でリニューアルを行っており、 それぞれで特長・用途が異なります。 【各シリーズの特長】 ■TC-10S 100nmの精密性・可視光線透過率・撥水性・撥油性に優れる ■TLSシリーズ ガムテープの様な粘着物の非粘着性に優れる ■NCFPCシリーズ 水・油の液滑落性に優れる ■HPシリーズ 親水性に優れる 現在、全シリーズの特徴や機能をおまとめした特性データ付き資料を配布しております。 詳細が気になる方、精密分野で表面処理にお困りの方は 資料をダウンロードをいただくか、弊社まで直接ご連絡ください。

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