更新日： 集計期間:2026年09月23日～2026年10月20日
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環境・エネルギープロセスに最適なガス流量制御を実現
CO₂利用技術や排ガス処理、燃料評価などの環境・エネルギー分野では、用途に応じた高精度なガス流量制御が求められます。 GFシリーズは、多ガス・多レンジ評価から高純度ガス、高温プロセスまで幅広い用途に対応。プロセス条件に応じて最適なモデルを選択でき、研究開発から生産工程まで安定した流量制御を実現します。 [GF40] MultiFlo対応／多ガス・多レンジ評価向け □ 研究開発・評価試験に最適 □ 1台で複数ガス・複数レンジに対応 □ 開発期間の短縮と設備効率向上に貢献 [GF100] MultiFlo対応／高純度・多条件プロセス向け □ 高純度ガスプロセスに対応 □ 幅広いプロセス条件で高精度制御 □ 半導体・研究開発用途にも最適 [GF120xHT] 高温・耐腐食プロセス向け □ 高温ガス供給に対応 □ 耐腐食性に優れた設計 □ 過酷なプロセス環境でも安定した流量制御を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧ください。お問い合わせもお待ちしております。
機能だけを見ない。設備全体を見て選ぶマスフロー製品。標準環境からIP66・防爆認証対応まで。設備条件に合わせた2つのシリーズ。
水素・燃料電池、水電解、CCUS、合成燃料などの研究・実証・生産設備では、マスフローコントローラ単体の機能に加え、ガス種、常用流量、入口・出口圧力、接ガス材質、通信、設置環境、校正、必要な認証まで含めた選定が重要です。 ブルックスインスツルメントのSLA5800／SLAMFシリーズは、実際の装置構成や運用条件に合わせて選定できる、サーマル式マスフローコントローラ／メータです。 SLA5800は、研究開発装置、分析装置、実証設備、生産設備などに対応する一般用途向けの標準シリーズです。 SLAMFは、SLAファミリーの測定・制御技術をベースに、IP66筐体と危険場所向け認証仕様を用意した堅牢シリーズです。粉塵、湿気、洗浄環境、可燃性ガスを扱う設備など、設置条件への配慮が求められる用途に対応します。 製品選定では、流量レンジだけでなく、ガス種、入口・出口圧力、必要差圧、バルブ仕様、配管接続、シール材質、通信方式、設置環境まで確認します。 製品単体の機能比較だけではなく、設備の一部として安定して運用できる仕様を選ぶ。それが、SLA5800／SLAMFシリーズのコンセプトです。
非常に小さな差圧で計測し、圧力損失が非常に小さく、低圧で使用する環境に最適なマスフローコントローラー。
『MCW/MCRWシリーズ』は、非常に小さな差圧で計測が可能なため、圧力損失も非常に小さく、低圧でご使用される環境に最適なALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した「MCS/MCRSシリーズ」、などもラインアップしています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■0.5SCCMから1000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
脱脱炭素・環境技術の開発を支える、高精度ガス流量制御ソリューション
CO₂削減技術や排ガス処理、代替燃料の研究開発など、環境・エネルギー分野では用途に応じた高精度なガス流量制御が求められます。ブルックスインスツルメントは、研究開発から実証試験、生産プロセスまで、各ステージに最適なマスフローコントローラ／メータをご用意。アプリケーションやプロセス条件に応じて最適な製品をご提案します。 ■ このような用途・課題に CO₂削減・CCUS技術の研究開発 排ガス処理・環境負荷低減 触媒評価・反応プロセス開発 代替燃料・合成燃料の研究開発 燃料電池・水素関連プロセス 炉・熱処理・材料プロセスのガス流量制御 ※詳しくは関連カタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
小流量域での高い再現性と省スペース化を両立。CO₂削減、排ガス処理、代替燃料評価など研究開発を支える超小型マスフローコントローラ
化学・素材・エネルギー分野の研究開発では、CO₂削減、排ガス処理、代替燃料評価など、環境対応技術の開発が進んでいます。GCシリーズは、こうした用途で求められる小流量域での高い再現性と、省スペースで安定したガス制御を両立する、MEMS式の超小型マスフローコントローラです。 Air、N₂、O₂、CO₂、Ar、CO、CH₄、C₃H₈、N₂O等に対応し、フルスケール流量210～5000sccm（Air換算）、100:1の制御レンジ、±0.25% S.P.の再現性、応答時間は2秒以下（設定値がフルスケールの10%超の場合）を備えています。ラボ装置、小型試験装置、分析設備などに適しており、環境技術の開発を支えるガス制御技術として活用できます。
研究開発・小型装置の ガス流量制御を、もっとコンパクトに
研究開発・小型装置向けマスフローコントローラ 小型化と高精度制御を両立。研究開発から環境・エネルギー分野まで幅広く対応。 GCシリーズは、MEMSセンサを採用した超小型マスフローコントローラです。限られた設置スペースでも高精度・高速応答・優れた再現性を実現し、分析装置や研究開発設備、小型OEM装置などの設計自由度を高めます。 ■ このような課題をお持ちの方へ ・装置の小型化・軽量化 ・限られたスペースへの高性能流量制御機器の組み込み ・評価試験・実験における流量制御の高精度化・再現性向上 ・複数ガスの安定した流量制御 ・既存MFCの小型・低消費電力モデルへの置き換え ※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
CO₂・H₂を反応条件どおりに供給。研究から実証・生産設備までの流量制御を解説
CCUS・メタネーション・合成燃料の研究開発では、CO₂やH₂などの原料ガスを、設定した反応条件に合わせて安定供給することが重要です。さらに研究から実証・生産設備へ進むにつれて、必要な流量レンジや圧力・温度、流体、設置環境も変化します。 原料ガス供給、混合・希釈、触媒反応、温度・圧力条件試験、パイロット設備、液体原料供給など、各工程における流量制御のポイントを整理。用途・条件に応じたマスフローコントローラ／メータの選定方法と、AMF・SLA5800・SLAMf・QMCの使い分けをご紹介します。研究・評価設備の新規設計や、実証・生産設備へのスケールアップ時の製品選定にぜひご活用ください。 ■ このような課題をお持ちの方へ - CO₂・H₂の混合比率の安定化 - 触媒評価・反応試験の再現性向上 - 複数ガスを使用する評価設備の流量制御 - 高圧・高温など厳しい条件への対応 - 液体原料・反応液の高精度制御 - 研究から実証設備へのスケールアップ
分析装置や各種成膜装置向けに開発した、低価格でありながら基本性能を備えたマスフローコントローラ。半導体製造コストの改善に貢献。
気体用マスフローコントローラ MC-10シリーズは、短納期対応により、半導体製造コストの改善に貢献しうる低価格なモデルです。 ソレノイドアクチュエータやラバーシールを採用することで低価格を実現しました。 【特長】 ○ラバーシール採用により低価格での提供を実現 ○流量精度は±1.0%F.S.を保証 ○幅広い流量レンジに対応 ○オプションのバリアブルレンジ機能により、1台で複数の仕様に対応可能 （ガス種、F.S.、流量を変更可能） ○金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作 ※その他機能や詳細については、PDFをダウンロード下さい。
CMOSens MEMS技術を活用！幅広い用途に適した標準品として入手可能
『SFC5500-2slm』は、ドリフトすることがなく、市場で再校正する 必要がないマスフローコントローラーです。 複数のガス校正と交換可能な継手を組み合わせており、幅広い用途に 適した標準品として入手可能。 また、医療、分析、産業の環境での幅広い用途に適しており、標準的な 設定済みのバリエーションからお選びいただけます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：2 slm ■フルスケール流量：2000 sccm ■精度：0.08％ FS or 0.8％ SP ■最高使用圧力：8bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4 and N2O flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
CMOSens MEMS技術を活用！医療、分析、産業の環境での幅広い用途に好適
『SFC5500-200slm』は、一台の製品で複数の流量範囲に対応できる マスフローコントローラーです。 複数のガス校正と交換可能な継手を組み合わせ手織り、幅広い用途に適した 標準品として入手することが可能。 また、ドリフトすることがなく、市場で再校正する必要がありません。 ご用命の際は、お気軽に当社までお問い合わせください。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：200slm ■フルスケール流量：200000sccm ■精度：0.08％ FS or 0.8％ SP ■最高使用圧力：5bar ■キャリブレーション：Air, O2 and N2 flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
複数のガス校正と交換可能な継手を組み合わせた！医療、分析、産業の環境での幅広い用途に
『SFC5500-50sccm』は、マイクロサーマル測定原理に基づいた マスフローコントローラーです。 実績のあるCMOSens MEMS技術を活用。ドリフトすることがなく、市場で 再校正する必要がありません。 また、実現出来る幅広い流量制御範囲によって、一台の製品で複数の 流量範囲に対応できます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：0.05slm ■フルスケール流量：50sccm ■精度：0.2％FS or 2％ SP ■最高使用圧力：10bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4 and N2O flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
フルスケール流量は10slm！複数のガス校正と交換可能な継手を組み合わせたシリーズ
『SFC5500-10slm』は、幅広い用途に適した標準品として入手可能な マスフローコントローラーです。 本製品は「SFC5400」と同等の上位パフォーマンスを誇るため、医療、分析、 産業の環境での幅広い用途に好適。 また、一台の製品で従来のマスフローコントローラーの複数の流量範囲に 対応できます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：10slm ■フルスケール流量：10000sccm ■精度：0.08％ FS or 0.8％ SP ■最高使用圧力：5bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4 and N2O flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
ビュルケルトのコリオリ式計測原理の液体MFC（マスフローコントローラ）は10～280g/minの液体流量を計測・コントロール可能
ビュルケルトのコリオリMFC（液体マスフローコントローラ）は、10～280g/minの液体流量を計測・コントロールします。 市場にある液体用マスフローコントローラと比べ、より大きな流量をコントロールいただくことが可能です。
流量機器を、設備の「情報」へ。 配線・立ち上げ・監視・保守をもっとシンプルに。
設備のデジタル化が進むなか、流量機器にも「流量値を伝える」だけでなく、機器状態や診断情報を設備ネットワーク上で活用することが求められています。 Brooks InstrumentのEtherNet/IP対応流量機器なら、PLC／DCSなどの制御システムとネットワーク接続し、流量値に加えて、設定値・積算流量・温度・バルブ駆動・アラーム・診断情報などを取得可能。個別のアナログ配線を減らし、装置設計から立ち上げ、運用・保守までの効率化を支援します。 ■ このような課題をお持ちの方へ - 流量機器ごとのアナログ配線の削減 - PLC／DCSとの接続・装置設計の簡素化 - 流量値以外の機器情報の取得 - 装置立ち上げ・設定作業の効率化 - 機器状態の可視化とトラブル切り分け - 設備保守・メンテナンス業務の効率化
混合ガスを含め98種のガスに対応。積算オプションをつけることでバッチ制御も可能。
『MC/MCP/MCRシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製の標準タイプのマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した 「MCHQS／MCRQSシリーズ」などのラインアップをご用意しています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■0.5SCCMから12000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高速応答・高速制御を実現！混合ガス対応！アナログ出力、RS-232C通信・バックライト付き液晶表示器を標準搭載。納期6-8週間。
『MCS/MCRSシリーズ』は、腐食性ガス／冷媒ガスを含め1台で128種類のガス流量の計測が可能なALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、極めて小さな差圧で計測可能な「MWシリーズ」などもラインアップしています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■0.5SCCMから3000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
最大動作圧力は320PSIA(2.2MPaA)。耐圧は400PSIA(2.7MPaA)。混合ガスにも対応！納期6-8週間。
『MC/MCP/MCRシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製の高圧タイプのマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した 「MCHQS／MCRQSシリーズ」などのラインアップをご用意しています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
バルブ2基搭載し双方向制御が可能。加圧や負圧、真空引きでの制御が行えます。腐食性ガスや低圧力損失対応モデル有。納期6-8週間。
『MCD/MCDSシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した 「MCDSシリーズ」や「MCDWシリーズ」などのラインアップをご用意しています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
持続可能な未来を支える「ソリューション」
水素、燃料電池、CCUS、バイオ燃料、CNT製造。未来のエネルギーを支える現場には、正確な流れを見守る技術があります。ブルックスインスツルメントの流量計が、エネルギートランジションを支えます。 カーボンニュートラルの研究開発に役立つ、ガスの制御・測定機能を備えたサーマルマスフローコントローラ/メータ「SLA5800シリーズ」や、厳しい設置環境でも高い再現性と長期安定性を実現するエラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータ「SLAMfシリーズ」などをラインアップ。 ISO/IEC17025認定校正が、次世代エネルギープロセスに求められる再現性を確かな基準で実現します。 【SLA5800シリーズ 特長】 ■DEKRAより、国内防爆(JPEx)の型式検定合格証を取得済 (対応品：マスフローコントローラ/メータ、プレッシャーコントローラ) ■化学・石油化学・燃料電池・ライフサイエンスなどの分野でも活躍 ■広範囲をカバーする流量レンジ ■1台で複数のガス・流量レンジに対応可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
国内防爆認証(JPEx)を正式取得！厳しい環境にも対応する耐久性！優れた精度を実現する精密マスフローコントロール！
粉塵、湿度、極端な温度、水分など、どんな厳しい条件でも、『SLAMfシリーズ』エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータなら、 実証済みの「SLA5800ファミリ」ならではの高い精度と長期安定性を実現します。 特殊設計のNEMA4X/IP66規格筐体により、高度なデジタル電子部品を保護し、プロセスに不可欠なガス/流体マスフローの安定した正確な測定と制御を行います。 防塵防爆エンクロージャー仕様のSLAMFシリーズは、国内防爆認証(JPEx) 安全増防爆（MFC型式検定合格番号: DEK24.0048X、MFM型式検定合格番号: DEK24.0049X）を正式に取得したことで、Zone2エリアへの導入・使用が可能となりました。 【特長】 ■NEMA4X / IP66級の高耐久性筐体 ■幅広い定格流量 - 0.003から20800 slpm ■幅広い温度と圧力条件に対応 ■優れた精度を実現 ■設定可能なマルチガス/マルチレンジ機能 ※詳しくはPDFをダウンロード頂くか直接お問い合わせください。
環境・バイオ・材料プロセスの液体流体管理を、非接液監視と高精度コリオリ、さらにソフトウェア活用で支援
コンパクト設計と高精度制御を両立。装置の小型化・高性能化に貢献 AMFシリーズは、限られた設置スペースでも高精度な流量制御を実現する小型マスフローコントローラ／メータです。 優れた応答性と安定した流量制御により、研究開発から製造装置まで幅広いアプリケーションに対応。装置の省スペース化や設計自由度の向上に貢献します。 ■ 導入メリット コンパクト設計による装置設計の自由度向上 高精度・高応答な流量制御 装置の小型化・軽量化 安定したプロセス制御による品質向上 ■ 主な用途 分析・計測機器 研究開発設備 OEM装置 バイオ・ライフサイエンス分野 一般産業用ガス供給システム Brooks Instrumentは、精密流体計測・制御分野で70年以上にわたり培った技術と豊富な実績をもとに、お客様の用途やプロセスに最適なソリューションを提供しています。小型化・高性能化が求められる装置開発においても、高品質な製品と充実した技術サポートでお客様を支援します。 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
最高の性能を最大限に引き出すGP200 金属密閉型マスフローコントローラ
研究機関における各種実験では、流量制御の精度がデータの信頼性を大きく左右します。特に微小流量領域においては、わずかな変動が測定結果のばらつきや再現性低下の要因となります。 GP200シリーズ マスフローコントローラは、差圧センサー技術を採用し、優れた応答性と高精度制御を実現。安定した流量供給により、実験データの信頼性向上と再現性の確保に貢献します。 【導入メリット】 ・高精度制御による実験データの信頼性向上 ・再現性の高い測定環境の構築 ・安定した流量供給による実験効率の向上
ブロンコスト製品をお使いのお客様のためのサポートサービスです。24時間・週7日対応のサービスラインをご利用頂けます。
ブロンコスト製品をお使いのお客様のためのサービス体制です。全世界のサービス網により、夜間対応も可能です。
精密マスフローコントローラ。混合プロセスの精度を高め、医薬品品質の安定化に貢献。
医薬品製造において、混合プロセスのわずかな流量変動が製品の有効性や安全性に影響を及ぼします。そのため、ガス流量の高精度かつ安定した制御が不可欠です。 SLAMfシリーズ マスフローコントローラは、高精度制御と優れた長期安定性により、配合バランスの最適化を実現。製造から研究開発まで、幅広い工程において品質の一貫性向上を支援します。 【活用シーン】 ・ 医薬品製造におけるガス混合・供給制御 ・ 研究開発における精密ガス混合 ・ 品質管理工程での流量測定・モニタリング 【導入メリット】 ・ 混合精度の向上による製品品質の安定化 ・ 再現性の高いプロセス制御の実現 ・ 製造効率の向上とロス低減
