差動排気系キット付四重極型質量分析計（Qulee with YTP）は、アルバックのQuleeにおける豊富な実績とお客様のニーズに合わせ、機能の充実と使いやすさを実現しました。 各種真空装置のプロセス管理や残留ガス分析からR&D まで幅広く活用いただけます。 【仕様】 ○ガス分析計本体　Qulee BGM-101/102/201/202、HGM-302から選択 ○最大サンプリング圧力 　大気圧/3000Pa/500Pa/100Pa/10Pa/1Paから選択 ○ガス導入系（500 ～ 1Pa仕様） 　手動ベローズバルブ（2系統）・取合フランジ UFC070 ○ソフトウェア　Qulee QCS Ver. 3.1以降（Windows 7/8対応） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

ULVAC の残留ガス分析計／プロセスガスモニタ『Qulee』シリーズは様々なオプションを用意しています。 自動測定開始機能を追加した『Qulee QIP』やジャケットヒータ、キャリーケースなど、Quleeをより有効にご利用いただけますのでご活用ください。 【仕様】 [ジャケットヒータ] ○使用電力　AC100V, 100W（CGM-JH01 ／ CGM-JH02）, 　　　　　　AC100V, 100W（BGM-JH01） ○サイズ（装着時概寸）　φ90×120（CGM-JH01 ／ GM-JH02）、 　　　　　　　　　　　　φ90×250（BGM-JH01） ○質量　280g（CGM-JH01）, 270g（CGM-JH02）, 470g（BGM-JH01） ○接続ケーブル　耐熱被覆2芯ケーブル、長さ1m ○コンセント　形状平型2芯コンセントプラグ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

Qulee RGM-202/RGM-302は、Qulee シリーズのエッチング、CVD 等の反応性プロセスに対応した差動排気系付きプロセスモニタです。 アルバック独自のイオン源、排気系構造により、反応性のガスに対し耐蝕性に優れ、長時間安定した測定が可能です。 【仕様】 ○質量　排気系：57 kg ／制御系：38 kg ○電源電圧　AC100V 15A ○圧縮空気　Dry N2 : 0.4 ～ 0.7MPa（φ6ワンタッチ継手） ○One Click機能　あり／ He/H2O/N2/O2/Any gas ○PCインターフェース　RS-232C/485 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計Qulee シリーズのハイエンドモデル機“Qulee HGM”です。 2.5 × 10-6A/Pa（ファラデーカップ）という高感度を実現、各種研究開発用途から真空装置のプロセス管理まであらゆるニーズに対応いたします。 【仕様】 ○電源電圧　DC24V±10% 50W ○質量（センサユニット/分析管）　2.4kg/0.81kg ○使用温度範囲　10 ～ 40℃ ○使用湿度範囲　15 ～ 80%（ただし結露無きこと） ○IP保護等級　IP30（センサユニット） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

Qulee CGMシリーズは、高圧下（1Pa 以下）での高精度、高分解能を、革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVAC の新型残留ガス分析計／プロセスガスモニタです。各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。スパッタリング装置のプロセス管理（品質向上、歩留まり向上）に最適です。 【仕様】 ○質量分離方式　四重極型質量分析計 ○質量数範囲　1～50 amu ○分解能　M/△M=1M（10% P.H.） ○最大使用圧力　2Pa 2Pa（FC） 1×10－2Pa（SEM） ○リニアリティ　1Pa 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計です。 各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。 真空蒸着装置や各種真空炉の装置管理に最適です。 【特徴】 ○表示部一体型の設計・・・パソコンレスでも測定可能 ○簡単操作 −One Click 機能・・・だれにでも簡単。複雑な操作は不要 ○リークテスト機能の充実 ○全圧測定が可能 ○Qulee QCSソフトウエアが標準搭載 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

“Qulee QCS”は、アルバックの残留ガス分析計／プロセスガスモニタに対応したソフトウェアです。 当ソフトウェアは、ULVAC 製のほとんどのガス分析計に対応しており、簡単なクリック操作で、誰でも測定・データ保存ができます。 【特徴】 ○Quleeの標準ソフトウエア →Qulee全シリーズに標準採用（Windows XP/7対応） ○簡単操作 →充実したショートカットボタンによる簡単操作 ○測定モードの充実 →スキャンモード、トレンドモード、アナログモード、感度校正モードなど ○リークテスト機能の充実 →ヘリウムリークテストモードにより簡単にリークチェックが可能 ○ガス組成名表示が可能 →スキャンモードにてガス組成名表示が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。