【資料の詳細】 ■単位換算表 　・圧力の単位換算 　・流量の単位換算 　・排気速度およびコンダクタンスの換算 　・分子のエネルギーの換算　……など ■真空用語 　・JIS真空用語 　・真空ポンプおよび関連用語 　・真空計および関連用語 　・真空技術に関する用語 　・漏れ捜しに関する用語 　・真空配管に関する用語 　・薄膜作成・半導体製造に関する用語 ■真空関係シンボルマーク 　・真空ポンプ 　・真空計 　・トラップ、バッフル 　・バルブ 　・配管、その他 ■気体の性質 　・気体の定数 　・諸量の計算式 ■コンダクタンスと排気時間の計算 　・コンダクタンスの基礎知識から、 　　円管／オリフィス／L型管／バルブ等のコンダクタンスの計算について解説 ■気体放出と表面処理 　・水素の拡散係数 　・有機材料の気体透過率 　・アルミニウム合金からの気体放出速度 　・真空用構成材料の温室における気体放出速度　……など ※詳しくは「ダウンロード」よりスグにご覧頂けます！

【仕様】 ○型式：VD30C,VD40C,VD60C,VD90C,VD151,VD201 ○使用油：ULVOIL R-7 ○所要油量 →VD30/40C：1.0～2.5L →VD60/90C：2.5～4.0L →VD151/201：0.7～1.1L ○冷却方式：空冷 ○吸気口 →VD30/40C：VG40相当/KF40相当(オプション) →VD60/90C：VG50相当/KF50相当(オプション) →VD151/201：KF25相当 ○排気口 →VD30/40/60/90C：VG40相当/KF40相当(オプション) →VD151/201：G1 ○質量：58,60,90,113,29,34kg ○外形寸法 W×D×H mm →VD30C：210×660×324 →VD40C：210×680×324 →VD60C：280×761×371 →VD90C：280×831×371 →VD151：170×514×240 →VD201：170×536×265 ○適合規格：CE/cTUVus ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【仕様】 ○型式：ES4A ○電源 →仕様：単相 AC200〜220V±5％ 50/60Hz →最大消費電力：400W ○制御 →入力：遠隔起動/停止(接点 DC24V 有電圧) 　　　　接点容量 2.0A 以上の無電圧接点をご準備ください →出力：1.起動確認 2.省エネ確認 3.本体アラーム 4.過電流アラーム →表示：運転時間、出力 1～4 の状態を表示 ○接続ポート：Φ16ｍｍチューブコネクタ　※チューブは1.5ｍ以内を推奨 ○外形寸法：250mm×475mm×373mm ○質量：32kg ○標準付属品：電源コネクタ、制御用コネクタ、接続用チューブ3m 1本、取扱説明書 ○オプション →KF40バルブユニット →KF50バルブユニット →LR3600/3601(-R)専用バルブユニット →耐震ブラケット ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【総合カタログ『ULVAC DIGEST』の掲載ラインアップ】 ・真空ポンプ　　・クライオポンプ／冷凍機　　・真空計 ・膜厚計　　　　・リークディテクタ　　　　　・ガス分析計／プロセスモニタ　 ・電源　　　　　・膜厚・蒸着速度制御　　　　・真空機器構成部品 ・分子間相互作用解析装置／ソフトウェア／真空搬送系　ほか 【技術資料『ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.79』の掲載内容】 ・大型スパッタカソードにおけるIGZO成膜技術 ・結晶太陽電池向けイオン注入装置の開発 ・OLED用薄膜封止装置「CEE-950」の開発 ・リークディテクタ「HELIOT900シリーズ」の開発 ・マグネットカップリング搭載型油回転真空ポンプ ・4K冷凍機を使った無冷媒希釈冷凍機の共同開発　ほか ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

【技術資料】 ○大型スパッタカソードにおけるIGZO成膜技術 →ムービングカソードの特長 →同カソードにて成膜したIGZO膜の評価結果について ○結晶太陽電池向けイオン注入装置の開発 →結晶太陽電池向けイオン注入装置PVI-3000Nの特徴 →注入特性及びマスクを用いたイオン注入のパターニング技術について ○OLED用薄膜封止装置 CEE-950の開発 →薄膜封止技術、装置構成 ○リークディテクタ HELIOT900シリーズの開発 →ラインアップ、製品の特長 →微小電流検出回路、電気系及びソフトウエア ○マグネットカップリング搭載型油回転真空ポンプ →騒音値と消費電力、小型設計、構造 →非接触式カップリングの動力伝達構造 →吸気管直下型逆流防止弁の構造と原理 ○4K冷凍機を使った無冷媒希釈冷凍機の共同開発 →希釈冷凍機の運転原理、無冷媒希釈冷凍機　他 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【ラインアップ】 ○真空ポンプ →ドライ真空ポンプ、ダイアフラム型ドライ真空ポンプ →油回転真空ポンプ、ターボ分子ポンプ ○クライオポンプ／冷凍機 →スパッタイオンポンプ、チタンゲッタポンプ、クライオポンプ ○真空計 →大気圧ピラニ真空計、キャパシタンスマノメータ ○ガス分析計／プロセスモニタ →ベーシックプロセスガスモニタ、コンパクトプロセスガスモニタ ○膜厚計 →高速分光エリプソメータ ○リークディテクタ ○電源 ○膜厚・蒸着速度制御 ○真空機器構成部品 ○分子間相互作用解析装置／ソフトウェア／真空搬送系 ○スパッタリング装置 ○蒸着装置／巻取式蒸着装置 ○CVD装置／イオン注入装置 ○アッシング装置／自然酸化膜除去装置 　エッチング装置／巻取式スパッタリング装置 ○研究開発用装置 ○分析装置 ○凍結真空乾燥装置 ○真空炉／真空蒸留装置／自動ヘリウムリークテスト装置 ○熱処理機器／熱測定機器 ○その他製品 ○真空材料／表面処理 ○スパッタリングターゲット／機能材料　等 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【特徴】 ○排気速度の設計が自由で到達圧力が向上 →システムの設計に合わせて昇華したチタンの吸着面積を選べば、 　大きな排気速度が得られ到達圧力性能も向上する ○長寿命フィラメント →チタン合金フィラメントは、1本当たり定格連続運転 　（30秒通電／ 60 秒休止）で約75 時間、連続通電で約25 時間と長寿命 ○ハードベークに対応 →接続フランジ部にはナイフエッジ型メタルシール（UFC）で、 　最高250℃までのベークアウトが可能 ○UHV対応 →構成材料は全て超高真空に適した表面処理が施されている ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【特徴】 ○PBL-02〜PBL-04型は本体（シリンダ）にステンレス鋼を使用している ○アウトガスが少なく、高真空が得やすく、耐食性にすぐれている ○横型エゼクタポンプに比べ作動範囲は、約一桁低圧側にずれますが、 　同じ口径での排気速度ははるかに大きく、 　また排気速度特性もすぐれている ○油回転真空ポンプ、メカニカルブースタポンプと油拡散ポンプの 　中間圧力で使用するのに効率がよいうえ、据付面積も小さく、最適 ○PBL-06〜PBL-20型の大型ポンプはパイプヒータを 　直接作動油中に入れているので、特に熱効率がすぐれている ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【特徴】 ○350L/sから世界最大（デジタル磁気軸受型）の6300L/sまでの 　豊富なバリエーション ○背圧の変化に対して安定した排気特性を維持（FHシリーズ） ○ロータの温度管理を行い、副反応生成物の付着を低減させる 　内部昇温システムなどのオプション対応も可能（FWシリーズ） ○優れた耐食表面処理（3303FH・6300FHを除く） →必要に応じ、特殊表面処理（Ｎｉめっき＋カチオン電着塗装、 　特殊積層皮膜、アルマイトなど）のオプション対応も可能 ○全方向取付が可能 ○スピードバリアブルシステム搭載により、 　ポンプ回転数を25～100％の範囲で可変可能 ○カップリングフリーシステム、チューニングフリーシステムの搭載により、 　パワーサプライとポンプ本体の組み合わせやケーブル長の変更も自由 ○バッテリーフリーシステム採用により、停電時のバックアップ電源は、 　回生エネルギーによる自己発電を使用（バッテリー交換などは不要） ○監視・自己診断機能、通信機能を搭載し、集中監視システムへの対応が可能 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【特徴】 ○用途に合わせて各種シリーズを用意 →補助ポンプにロータリーポンプを採用した標準仕様と、 　ドライスクロールポンプを採用したDRY仕様がある ○清浄な高真空を実現 →ターボ分子ポンプに使用しているフッ素油は飽和蒸気圧が 　10-11Pa台（20℃）で、DRY仕様とすることで限りなく清浄 ○優れた停電対策 →フォアバルブに電磁弁を標準装備し停電時の逆流・故障を防止 ○粗引き状況を確認可能 →ピラニ真空計を標準装備し粗引き排気中の圧力の確認が可能 ○UHVまでの排気が可能 →オプションのベークジャケットを取り付け、 　脱ガス処理を行うことにより、UHV領域までの排気系として使用可能 ○ランニングコスト低減 →ターボ分子ポンプのピボット軸受は面倒なオイル交換・補充や 　軸受交換が不要になり、ランニングコスト低減が可能 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【特徴】 ○上部に磁気軸受、下部にピボット軸受を採用し、 　高速回転時の機械的接触を完全に追放 →これによりベアリング交換、 　オイル交換が不要となり、軸受の長寿命化を実現 ○独自の翼列設計によるファインダイナミックバランスロータと 　高性能軸受により、高速回転を実現し、 　H2やHeなどの低分子量ガスの排気性能（高圧縮比）を実現 ○ピボット軸受とフッ素油（化学的に安定で飽和蒸気圧の低いオイル）を 　採用し、限りなくゼロに近いオイルフリーの環境を実現 →クリーンな超高真空の達成が可能 ○ファインダイナミックバランスロータと高性能軸受の採用により、 　低騒音と低振動を実現 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【特徴】 ○取り付け方向自由 →取り付け方向に制限がないため装置設計の自由度が広がる ○オンボードコントローラ搭載 →コントローラはターボ本体に 　マウントされているため省配線と排気系の小型化に有効 ○高圧縮比・高背圧 →圧縮比が高く、高い背圧での運転が可能のため補助ポンプの小型化が可能 ○3種類のフランジを用意 →VG100、ICF152、ISO100-Kの３種類の吸気口フランジの選択が可能 ○清浄な真空 →運転時はもちろん、 　ポンプ停止時においても炭化水素系の逆流が少ない設計をしている ○低騒音 →無負荷運転時の騒音は５０ｄＢ以下と静か 　（ISO-100Kフランジタイプの測定値） ○適合規格 →CE、NRTL適合 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【特徴】 ○豊富なラインアップ →排気量に合わせたポンプ選定ができるよう、 　4種類の架台ユニットを用意した ○優れたメンテナンス性 →メカニカルブースターポンプ／油回転真空ポンプの架台が独立して 　いるため、油回転真空ポンプだけメンテナンスを行う場合は、 　装置側のメイン配管を取り外す必要もなく、作業が容易に行える ○豊富なオプション →オイルミストトラップや大気圧駆動型（インバータ）・ 　制御盤・遅延真空電磁弁・冷却水フロースイッチなどが選定できる ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【特徴】 ○空冷運転可能（オプション：空冷用インバータ） →空冷用インバータの搭載により、全圧力領域にて空冷運転が可能 ○マルチ電圧モータ選択可能 　（200V級かマルチ電圧のどちらかを選べる） →汎用モータとの互換性があるので、防爆モータ（オプション）の搭載も可能 ○耐腐食性に優れた表面処理（オプション：Tタイプ） →主要部品に表面硬度が高く耐食性に優れたアルマイト処理を施す →ポンプ内部の傷や腐食を抑える ○排気時間短縮に有効な大気圧駆動型（オプション：インバータ） →粗引ポンプとの同時起動が可能なので、 　標準型に比べ排気時間が短縮できる ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【特徴】 ○油煙、油滴を除去 →ポンプ油の飛散による消耗が極めて少なくなり、 　ポンプ油の補充が大幅に節減される ○優れた消音効果 →ポンプの運転条件が大気圧からの始動や低真空で作動させる時、 　またガスバラスト運転の場合などに極めて効果的 →特に周波数の低い音には、大きな効果を発揮 ○油回収方法が選定可能(オプション) →ポンプの使用条件により、トラップした油を回収する機能を選定できます ○ポンプへの接続が簡単 →TMシリーズは、標準適用ポンプの排気口に合わせた接続口のため、 　取り付けが容易 ○内部フィルタは、カートリッジ型 →内部フィルタの交換作業を容易に行うことができる ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【特徴】 ○揺動ピストン型油回転真空ポンプの単段デザイン構造は、堅牢で長寿命 ○高級鋳物を使用し、耐摩耗性に優れている ○分解、組立が極めて簡単で、排気弁の点検も容易 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【特徴】 ○安定した排気特性 →排気性能が非常に安定している ○低振動、低騒音 →振動、騒音を嫌う環境での使用に適している ○優れたメンテナンス性 →ブロック構造のため、堅牢で部品数が少なく、 　オーバーホールなどの保守、点検が簡単に行える ○ガスバラストバルブ →ガスバラストバルブを標準付属しており、 　水蒸気等凝縮性ガスの排気にも効果を発揮 ○油逆流防止 →PVD-Bシリーズ（オプション）は油逆流防止機構を標準装備したタイプ ○豊富なオプション →PVDシリーズには、ハンドル・キャスタ付ポンプベースの取付けが可能 →ポンプの移動が容易に行える ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【特徴】 ○大排気量の1段式ベーン型ポンプ →650m3/hと750m3/hの2機種を用意 →メカニカルブースターポンプと組み合わせることにより、 　さらに大排気量の排気が可能になる ○低振動 →揺動ピストンポンプのような低周波領域の振動が低減でき、 　工場建屋の基礎工事が不要になりました。上層階への設置が可能 ○優れたメンテナンス性 →大容量のオイルタンク（油量：Max30L）によりオイル交換サイクルが伸びる →オイルタンク内の掃除用に大きな開口部を設けておりますので、 　オイル交換も容易に行える ○オイルミストフィルタを内蔵 →オイルタンク内にオイルミストフィルタを内蔵している →カートリッジ式のフィルタエレメントは交換が容易に行える ○空冷と水冷の選択が可能 →設置環境に合わせて空冷と水冷の選択ができる →油温を下げるためオイルクーラを採用している ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【特徴】 ○省エネ対策に大きく貢献 →ドライポンプの発熱を抑える効果もあり空調機器の電力削減が可能 →ECO-SHOCKの運転には65Wの電力のみで、N2 や冷却水は不要 ○容積移送型ドライポンプで効果を発揮 →多段ルーツ型で大きな効果を発揮 →1000Pa以下の連続運転時間が多い用途での効果大 ○ドライポンプの性能を改善 →到達圧力性能の向上が期待可能 →排気の騒音を低減可能 →全圧力領域にて排気速度の低下無し ○ユーザフレンドリー →排気配管にバルブユニットを取り付けることにより設置が可能 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【特徴】 ○低温領域で均熱化（LRシリーズ） →PVDプロセスに加え、特にスループットを上げるために 　排気時間短縮が重要な仕込み取り出し室の排気に最適 ○高温領域で均熱化（HRシリーズ・URシリーズ） →CVD、エッチングなどで発生する昇華性排気物質を 　気体の状態で排出することが可能 →URシリーズはHRシリーズよりも、さらなる高温化が可能 ○ヘリウムタイト →キャンドモータ搭載により密閉構造のため極めて安全 ○瞬停対策 →500msec以内の瞬停対策を施している ○優れた耐食性 →主要部品には、表面硬度が高く耐食性に優れた特殊表面処理を標準採用 →腐食性ガス排気時のポンプ内部の腐食を低減 ○通信機能 →ポンプ運転状態に関するデータ、 　ワーニング／アラーム履歴を読み出すことが可能 →専用ソフトを使用し､コンピュータ通信を行えば集中監視が可能 ○CE対応可能 →CE対応はご発注時のご指定によるオプション ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【特徴】 ○大気〜真空の繰り返し排気や高圧力領域での 　連続運転などの高負荷用途に使用可能 ○高スループットを求めるロードロック室（仕込取出室）の排気に最適 ○汎用インダクションモータに対応 ○防爆モータなどの特殊モータの取り付けが可能（オプション） ○マルチ電圧対応モータを採用 →ご注文時に200V級モータとマルチ電圧モータから選定ください 　（GR180Aは共通モータ） ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【特徴】 ○排気室は非接触で油を使用しないため、長期間の安定した排気が可能 ○冷却水および窒素ガス不要。ランニングコストの低減に寄与 ○DCキャンドモータの搭載により省エネ、気密性、軽量化を実現 ○ガスバラスト機構により水蒸気排気が可能 ○サイレンサ内蔵のコンパクト設計 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【特徴】 ○オイルフリー →ケーシング室内には潤滑油がないので、 　水蒸気、溶剤などの蒸気に対しても安定した性能が得られる ○キャンドモータ採用 →キャンドモータを採用することで、 　大気/真空のメカニカルシールをなくすことができた →油漏れの心配がなく、クリーンな環境でご使用いただける ○耐腐食性に優れた表面処理 →主要部品に表面硬度が高く耐食性に 　優れたアルマイト処理を施しており、ポンプ内部の傷や腐食を抑える →オプションで表面処理無も用意している ○排気時間短縮に有効な大気圧駆動型（オプション：インバータ） →粗引ポンプとの同時起動が可能なため、 　標準型に比べ排気時間が短縮できる ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【特徴】 ○最適化設計により低騒音化を実現 ○優れたメンテナンス性 →メンテナンスのために真空配管を外さず、ポンプ本体部分の脱着が可能 　（VD151・VD201 は除く） →油交換や日常点検のしやすい、ポンプ油覗き窓、ドレンバルブの採用 ○大気圧付近での排気においても排気速度が低下しにくい強制給油方式の採用 →オプションのオイルミストトラップ・油戻し機構を 　ご利用いただくことにより、VD301・VD401・VD601 は 　大気圧以下の全圧力領域での連続排気運転が可能 ○全機種全閉外扇型3相交流モータに統一 →VD151、VD201 はマルチ電圧対応 →VD301 ～ VD901 は200V級とマルチ電圧を選択可能 →高効率規制（GB3/IE2/EPAct）対応 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【特徴】 ○低振動 →ベーン型構造により高速化（50Hz:1500rpm）を達成 →振動伝達の大きい低周波領域の振動を大幅に低減 →大規模な基礎工事が不要になり、工場建屋内の2階、3階への設置が容易 ○軽量・コンパクト →PKS-030ポンプに比べ、VS2401 は質量で約35（40）％減、所要 　床スペースで約20（30）％減、全高では約50％減と軽量・コンパクト 　（　）内はVS1501 ○低騒音を実現 →到達圧力時の運転音を低減する機構を採用することにより、 　74dB（A特性）と低騒音化を達成 　（到達圧力時、オイルミストトラップ有、ポンプ側方1mでの測定値） ○優れたメンテナンス性 →日常点検がしやすいように油確認、油補充、油交換の方向を統一 →油の補充期間を延長するために8 ～ 10.5Lの可変油量式を採用 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

～SEMICON JAPAN出展の案内～ 会　　期：2017年12月13日₍水₎～15日₍金₎10:00–17:00 場　　所：東京ビックサイト 小間番号：東４ホール　4120 【出展製品】 マルチチャンバ型スパッタリング装置 ENTRONTM-EX2 W300 マルチチャンバ型成膜装置 ENTRONTM-EX W300 DC電源 DPG-10/DPG-20 標準型クライオポンプ [6型] CRYO-U6H VACAL【バッカル】［VACAL-OX・VACAL-SAL］ ※招待状ご希望の方は、お気軽にお問い合わせください。

【技術資料】 ■プリント基板製造用スパッタリング装置「SMV-500F」 　・特長、スパッタリング法によるシード層の成膜 ■Si デバイスのはんだ実装における Au(Ag)レスプロセスの開発 　・スパッタリングにて成膜、低コストプロセスを検討 ■ReRAM 素子用スパッタリング量産技術開発の現状 　・プロセスの長所、短所および今後の動向 ■急速充電器「EVQC-7000 シリーズ」の開発 　・急速充電器の仕組み、概要 ■全自動マイクロプローブ XPS 分析装置「PHI X-tool」 　・特長、操作概要　　　　　　　　　　他 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【技術資料】 ■次世代半導体用ナノカーボン材料の開発動向 　・トランジスタ応用、配線応用、CNT の排熱応用 ■大容量PCRAM 向け量産装置とプロセスの開発 　・成膜プロセス，及び実際のデバイス評価結果について ■アルバックにおけるSiC パワーデバイスの量産技術開発進捗 　・SiC プロセスのキーテクノロジー、カーボンキャップと活性化アニール ■プラズマ実験装置用クライオポンプ「CRYO-U48NF」の開発 　・構造、特長 ■4K-GM 冷凍機「UR4K シリーズ」の新機種開発 　・新設計要素と開発結果について　　　　　　　　他 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。