CRTS シリーズは水晶発振式成膜コントローラCRTMシリーズに用いるセンサです。 様々な蒸着装置に広くご使用いただくために、豊富なラインナップをご用意しております。 CRTS-M6は水晶発振式成膜コントローラ CRTMシリーズ用に開発された、ロータリ式マルチセンサです。5MHzまたは6MHzのクリスタルが6枚搭載可能で、連続蒸着などにも安心してお使いいただくことができます。 【ラインナップ】 ○蒸着センサ CRTS-4 ○マルチセンサ CRTS-M6 ○マルチセンサ CRTS-12NS 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

CRTM-9100G は低コストと高機能を両立させることをコンセプトに開発された水晶発振式成膜コントローラです。 多層膜の連続蒸着や最大4 元までの同時蒸着制御、低レート制御など、アルバックが水晶発振式成膜コントローラのメーカとして、長年培ってきた技術をすべて搭載しました。各種蒸着プロセスにて、長くお役立ていただけます。 【仕様】 ○外形寸法　W×D×H 480mm×350mm×149mm ○質量　約8kg ○ユーティリティー　AC 85 ～ 230V 50/60Hz ○消費電力　60W Max ○使用環境　温度：5 ～ 40℃　湿度：5 ～ 95％ RH（結露なきこと） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

CRTM-6000Gは成膜コントローラとして求められる基本性能を充実させながら、コストパフォーマンスにも優れた水晶発振式成膜コントローラです。 ハーフラックサイズのコンパクトなボディーながら、低レート制御や99層までの多層膜連続蒸着制御も可能です。 【仕様】 ○外形寸法　W×D×H 240mm×350mm×99mm ○質量　約3.6kg ○ユーティリティー　AC85 ～ 230V 50/60Hz ○消費電力　30W Max ○使用環境　温度：5 ～ 40℃　湿度：5 ～ 95％ RH（結露なきこと） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

UNECSシリーズは薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。 独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。 ユニークなポータブルタイプをはじめ、自動ステージタイプや真空環境に対応した装置ビルトインタイプまで、用途に応じ幅広いラインアップを用意しております。 【仕様】 ○高速測定 →独特なスナップショット方式の採用により、最速20msの高速測定を実現 ○可視分光対応 →波長範囲は標準タイプ（530nm〜750nm）および 　可視分光タイプ(380nm〜760nm）から選択できる ○コンパクトなセンサユニット →投受光センサは回転機構を持たない光学素子のみで構成されており 　非常に軽量・コンパクトで、定期的なメンテナンスも必要ない ○豊富なラインアップ →ユニークなポータブルタイプをはじめ、手動／自動ステージタイプや 　大型基板タイプ、大気／真空環境に対応した装置ビルトインタイプ 　など、多様な用途に対応したラインアップを用意している 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。