真空計G-TRANシリーズ マルチイオンゲージST2-1/ST2-2は、真空計にとって厳しい環境下であっても三極管型の利点を最大限に生かした長寿命を実現。 ULVACは、真空計にとって厳しい環境でもより長く、しかも精度よく測定可能な電離真空計を開発・製品化。 三極管型メタル電離真空計は、ランニングコストを大幅に抑え、さらに各種プロセスの歩留まり向上においてもお役立て頂けます。 【特徴】 ○三極管型メタル電離真空計（特許申請中） ○測定子が小型・メタル製 ○広帯域測定 ○異なる測定範囲の測定子が接続可能 ○正確な大気圧測定 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

AxTRANは、イオン源とイオンコレクタとの間にBessel-Box型エネルギーフィルタを配置した熱陰極型電離真空計です。 軟X線、ESDイオン等による残留電流を低減したことで、0.5x10^-10Pa の測定分解能を実現しました。 高エネルギー加速器などの真空装置の圧力測定に最適です。 【仕様】 ○使用温度範囲　10 ～ 40°C ○使用湿度範囲　15 ～ 80％（ただし結露なきこと） ○電源電圧　AC85 ～ 240V ○外形寸法　W×D×H 240mm×350mm×99mm ○質量　5.3kg 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

GP-Gシリーズは、気体の熱伝導を利用した定温度型ピラニ真空計です。 フィラメント材に白金（Pt）を使用しており大気圧でも壊れません。手軽に低真空領域の圧力が測定できる用途の広い真空計です。 また、セットポイント付では、各種インターロックや排気シーケンスのコントロールに利用できます。 【ラインナップ】 ○GP-1000G ○GP-2001G ○GP-2002G ○GP-1GRY（A） ○GP-1G　ほか 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

センサユニットSP1 は、「測定子WP シリーズと回路部一体型」で3000Paから0.4Paまでの測定が可能なピラニ真空計です。この真空計は従来のコントローラから操作・表示部を取り除き、必要最低限の機能に絞り込むことで、「コストの低減」や「省スペース化」を可能としました。 【仕様】 ○LED表示　パワー、エラー、セットポイント1/2 ○電源電圧　DC24V±2V, 90mA（Max.） ○入出力コネクタ　D-sub-15P（M2.6 screw） ○本体質量　190g（測定子含まず） ○付属品　入出力コネクタ 1式　取扱説明書 1部 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

G-TRANシリーズ　SAU圧力センサユニットは、大気圧近傍（ゲージ圧：-100kPa ～ 10kPa）を精度よく測定可能な半導体型薄膜素子採用の圧力センサユニットになります。 高真空下での連続運転にも対応可能となり、また内表面の材質は、耐食性に富んだSUS316Lを採用しております。 【仕様】 ○圧力基準　ゲージ圧 ○測定圧力範囲　-100 ～ 10kPa（ゲージ圧） ○測定精度　±3％ F.S. ○温度特性　ZERO ±0.2％ F.S./℃ 　　　　　　SPAN ±0.1％ F.S./℃ ○繰り返し性　±2％ F.S. 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

ULVAC は、異なる測定範囲の測定子が接続可能なトランスデューサ型『G-TRAN シリーズ マルチイオンゲージ』（特許申請中）を開発、製品化しました。 従来方式の複数の原理を一つの匡体に組み合わせた複合的な真空計では、「1つの測定子の故障で測定子の全交換が必要」「測定子が複雑で故障しやすい」「測定子が高価」などのお客様の声をよく耳にします。この新方式であれば、広帯域測定を可能としながら、ランニングコストも大幅に抑え、低環境負荷の対応となります。 【ラインナップ】 ○SH2-1　標準仕様 ○SH2-2　シリアル通信仕様 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

G-TRANシリーズの逆マグネトロン型コールドカソードゲージです。 フィラメントを使用しないため、センサの消耗、破損の心配がありません。 また、メンテナンスが容易な構造となっていますので、ランニングコストの低減が可能です。 【特徴】 ○トランスデューサ仕様 →圧力表示器が不要な場合、表示構成上の真空計にかかるコストの 　低減化、制御盤まわりの省スペース化、省配線化などを実現 ○メンテナンス性 →測定子をお客様にて簡単にメンテナンス可能な構造 ○フィラメントレス →フィラメントを使用していないので再生が可能 ○制御出力信号 →セットポイント2点の出力可能 ○測定値出力信号 →圧力は0 ～ 10V出力（非線形出力） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

本ディスプレイは、G-TRAN 全シリーズ、およびCCM シリーズ対応の1 チャンネルディスプレイです。 測定ユニットと接続することにより、圧力表示や圧力接点の設定、各種操作が手軽に行え、動作状況も一目でわかります。 ディスプレイユニットを介して、リモート操作による制御、測定が可能です。 【特徴】 ○0-10Vのリニア出力 ○セットポイント出力（3点） ○入力電圧をDC24V ○表示部は見やすいLED ○CE標準対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

４チャンネルディスプレイユニットは、最大４台まで測定ユニットを接続、同時計測・表示が可能です。 ８点のセットポイント出力、I/O・通信制御機能を標準装備します。 大気圧ピラニゲージまたはピラニゲージとイオンゲージの連動機能により、簡単に広範囲の圧力計測が可能です。 【特徴】 ○□96mmDINサイズを採用 ○入力電圧をDC24V、AC100Vから選択 ○最大4台の計測ユニットの接続が可能 ○各センサ(CH1〜4)の同時計測・出力が可能 ○IG(CH1)と、PG(CH2)の連動測定が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

CCMT-D シリーズは、セラミック（アルミナ）でできた隔膜が気体の圧力変化により変形し、それにともない変化する静電容量から圧力を検出するキャパシタンスマノメータです。 センサ部はセラミックによる一体構造ですので、優れた再現性、安定性を備えており、低・中真空領域の圧力をガスの種類に関係なく（絶対圧真空計）、精度良く測定出来ます。 【特徴】 ○長期間にわたる安定製性 ○セラミック膜の採用による、優れた耐腐食性 ○温度補償回路内蔵タイプ ○汚れからセンサを保護する構造を新規採用 ○プッシュボタンによる0点調整が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

G-TRANシリーズ大気圧ピラニ真空計 SW1は、大気圧から5 × 10-2 Pa までの広領域の測定が可能なピラニ真空計です。 さらにこの真空計は従来のコントローラ（センサユニット）から操作・表示部を取り除き、必要最低限の機能に絞り込み、「コストの低減」や｢省スペース化｣を可能としました。 【ラインナップ】 ○SW1-1/SWP-16 ○SW1-2/SWP-R1/8 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。