A2Kシリーズは、反応性スパッタリングプロセスにおいて直流電源にプラス電圧をパルス印加し、ターゲット上の電荷を中和する異常放電防止ユニットとなります。 異常放電を削減することでハイパワーの投入が可能。 A2K-20K、40Kは各々6台まで並列運転可能。複数台のA2Kの出力パルス同期が可能です。 既設装置にも簡単に取り付けでき、低コストでの歩留り・スループットの向上を実現します。 【特徴】 ○高スループット ○基板ダメージの低減 ○基板温度の抑制 ○簡易な接続性 ○逆パルス周波数の変更可 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

株式会社アルバックでは、プラズマ負荷に最適な DC電源「DPG-10/DPG-20」をはじめ、高効率RFアンプの搭載で 小型・軽量化を実現した RF電源「RFS-N シリーズ」など、 成膜装置向け電源を用途に合わせたラインナップで取り揃えております。 【ラインナップ】 ■DC電源「DPG-10/DPG-20」 ■EB電源「HPS-Nシリーズ」 ■RF電源「RFS-Nシリーズ」 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

EGNシリーズは、新たにメンテナンス性の向上に主軸を置いて開発した金属蒸着用電子ビーム蒸発源です。 フラットトップ構造および15mmハースデッキの採用により、電子ビーム蒸発源への着膜面積が少なくなり、高いメンテナンス性を実現しております。 【仕様】 ○電子ビーム偏向角度　270° ○るつぼ数　6 ○冷却水量　10L/min ○外形（W×D×H）　260mm×340mm×144mm ○重量　28kg 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

EGP-1G は、構造のシンプルな180° ビーム偏向方式を採用することによりコストを抑えた光学膜蒸着用電子ビーム蒸発源です。 さらに、2面位置決め構造の採用により、メンテナンス後の高いビーム位置再現性を有したモデルとなっています。 【仕様】 ○電子ビーム偏向角度　180° ○冷却水量　10L/min ○外形（W×D×H）突起部含まず　185mm×239mm×179mm ○重量　11kg ○最大出力　10kW 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

RFS-N シリーズは13.56MHz・0.5kW/1/kW/3kW/5kW出力のプラズマプロセス用RF電源です。高効率RFアンプを搭載することで小型・軽量化を実現しています。 さらにRF電源にオートマッチングコントローラ機能を内蔵していますので、本体ユニットのみでRF 電源の電力制御、マッチングシステム制御が可能です。 【ラインナップ】 ○RFS-1305N/1310N ○RFS-1330N/1350N ○MBX-1305N/1310N ○MBX-1330N/1350N 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

HPS-Nシリーズは、アルバックの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、回路の安定化と性能の向上を図ったエレクトロンビーム蒸発源対応の電源です。 EBガンコントローラEGC-10GSと組み合わせてご使用いただくことにより、光学薄膜用EBガンおよび、金属薄膜用EBガンの両方に対応することができます。 【ラインナップ】 ○HPS-600N ○HPS-1000N ○EGC-10GS 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

DPG-10およびDPG-20は10kWおよび20kW出力のスパッタリング用DC電源です。 信頼性のある部品と回路で構成しております。 長年培ってきた電源のアプリケーションを含めたノウハウを設計に反映したプラズマ負荷に最適な信頼性の高い電源です。 【仕様】 ○入力電圧　AC208V ○変動範囲　AC187 ～ 229V ○相数、周波数　3相　50/60Hz ○入力接続部　コネクタ接続 ○入力容量　13.5kVA以下 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。