サクラクレパスの製品・サービス一覧

Arクリーニング用No.20(超高感度タイプ)の変色の温度依存性に関する 技術データをご紹介いたします。 検証結果は、高温条件ほど変色色差ΔE＊abは大きくなる傾向がみられました。 同じ温度条件では、基本的にカード型のほうがラベル型よりも変色色差 ΔE＊abは大きく、その差は低温ほど顕著であることがわかりました。 【概要】 ■RFプラズマ装置(アリオス株式会社製) ■RF電力：60W ■Arガス流量：40sccm ■到達真空度：5×10^-4Pa ■処理圧：10Pa ■ステージ温度：25～100℃ ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 ※画像1枚目がカード型、2枚目がラベル型。

• 特殊ラベルなど

O2クリーニング用No.3(低感度タイプ)の変色の温度依存性に関しての 技術データをご紹介いたします。 カード型、ラベル型と検証。いずれも温度が高いほど処理前後の変色色差 ΔE＊abは大きくなる傾向が見られました。 また、使用した「PLAZMARK O2クリーニング用」は、O2ラジカルに 反応するため、UV洗浄・UVオゾン洗浄にも適用することが可能です。 【概要】 ■RFプラズマ装置(アリオス株式会社製) ■RF電力：60W ■O2ガス流量：40sccm ■到達真空度：5×10^-4Pa ■処理圧：10Pa ■ステージ温度：25～100℃ ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 ※画像1枚目がカード型、2枚目がラベル型。

• 特殊ラベルなど

ウエハを隙間を設けて設置し、その隙間に侵入する活性種の動きを、 ウエハ裏面に貼り付けた「PLAZMARK 耐熱性」のNo.101で評価した 技術データをご紹介いたします。 Arプラズマ処理と酸素プラズマ処理で比較し、O2プラズマ処理はウエハ 裏面側中心部まで変色したことから、回り込む長寿命の酸素ラジカルの 存在が示唆。 また、Arプラズマ処理はウエハ裏面は変色しなかったため、 Arイオンは 裏面側には回り込まないと考えられます。 【放電条件】 ■RFプラズマ装置(アリオス株式会社製) ・Ar gas ＝ 5Pa,Power ＝80W,Time ＝60sec ・O2 gas ＝ 5Pa,Power ＝80W,Time ＝30sec ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 特殊ラベルなど

基板バイアス印加側電極に、O2クリーニング用(No.1)および Arクリーニング用(No.22)のプラズマインジケータを設置し、 Arプラズマ処理を実施した技術データをご紹介いたします。 基板バイアス印加に応じて(0～50W)、イオンで変色しやすいArクリーニング用 インジケータの色差が大きく増加するのに対し、ラジカルで変色する O2クリーニング用インジケータは微増。 バイアスによりArイオンの照射量が増加していることを、Arクリーニング用 インジケータが検知していると考えられます。 【放電条件】 ■Ar gas ＝ 5Pa ■Power ＝ 80W ■Time ＝ 30sec ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 特殊ラベルなど

MgF2カバーの有無により、プラズマ処理中の発光の影響を検証した 技術データをご紹介いたします。 MgF2カバーしたインジケータとしていないものを、同時にArまたは O2プラズマ処理した結果、MgF2カバーした方はほとんど変色なし。 このことから、プラズマインジケータの変色に対するプラズマ発光の影響は 非常に小さいという結果となりました。 【概要】 ■実験内容 ・MgF2カバーしたインジケータとしていないものを、 　同時にArまたはO2プラズマ処理 ■実験結果 ・MgF2カバーした方はほとんど変色しなかった ■結論 ・プラズマインジケータの変色に対するプラズマ発光の影響は非常に小さい ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 特殊ラベルなど

ウエハ型セラミックタイプ(サファイア基板)変色の温度依存性の 技術データについてご紹介いたします。 ウエハ型セラミックタイプを400℃加熱しながらプラズマ処理した場合、 Arプラズマでは変色色差は小さくなる傾向が見られ、O2プラズマでは 変色色差が大きくなる傾向が見られました。 変色の温度依存性はあるが、400℃でもインジケータとして使用可能である ことを確認したという結果になりました。 【Ar/O2プラズマ処理　概要】 ■方式：CCP(RF) ■初期真空度：5.0×10^-4Pa ■RFパワー：50W ■ガス流量：40sccm ■処理ガス圧：10Pa ■処理時間：10分 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 ※画像1枚目がArプラズマ処理、2枚目がO2プラズマ処理。

• その他検査機器・装置

ウエハ型セラミックタイプ(Si基板)変色の温度依存性の技術データに ついてご紹介いたします。 「PLAZMARK」のウエハ型セラミックタイプを400℃加熱しながらプラズマ 処理した場合、Arプラズマでは変色色差は小さくなる傾向が見られ、 O2プラズマでは変色色差が大きくなる傾向が見られました。 変色の温度依存性はあるが、400℃でもインジケータとして使用可能である ことを確認することができました。 【Ar/O2プラズマ処理　概要】 ■方式：CCP(RF) ■初期真空度：5.0×10^-4Pa ■RFパワー：50W ■ガス流量：40sccm ■処理ガス圧：10Pa ■処理時間：10分 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 ※画像1枚目がArプラズマ処理、2枚目がO2プラズマ処理。

• その他検査機器・装置

「PLAZMARK」の一部をマスキングしてプラズマ処理し、マスク有無の 部分の変色性を確認した結果についてご紹介いたします。 マスクしていない部分については　O2プラズマでは黄色に変色、Arプラズマ では灰色に変色するが、マスクしている部分は変色が見られないといった 結果に。 結論は、耐熱性NO.101はプラズマが照射された部分のみ変色する為、 メタルマスクでのパターニングの効果や遮蔽物の影響を見ることが可能と いうものでした。 【プラズマ処理条件(一部)】 ■ガス種：O2 ・ガス流量(sccm)：40 ・処理圧力(Pa)：10 ・電力(W)：100 ・処理時間(min)：5 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 特殊ラベルなど

O2クリーニング用No.1(高感度タイプ)の変色の温度依存性 の技術データについてご紹介いたします。 いずれも温度が高いほど処理前後の変色色差ΔE＊abは大きくなる 傾向が見られました。 「PLAZMARK O2クリーニング用」は、O2をはじめ、N2、Air、CF4、H2、 NH3などラジカル性のプラズマ検知に最適化したインジケータです。 O2ラジカルに反応するため、UV洗浄・UVオゾン洗浄にも適用できます。 【概要(カード型)】 ■RFプラズマ装置(アリオス株式会社製) ■RF電力：60W ■Arガス流量：40sccm ■到達真空度：5×10^-4Pa ■処理圧：10Pa ■ステージ温度：25～100℃ ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 ※画像1枚目がカード型、2枚目がラベル型。

• 特殊ラベルなど

プラスチック製筆記具にPLAZMARKを3枚貼付けてコロナ処理し、 インジケータの変色具合の目視確認と色差測定を行いました。 設備として、プラスチック製筆記具に対する印刷前処理にコロナ放電を 利用。従来は始業時に濡れ試薬を用いて点検しており、基準を外れた 場合は出力値をUPしたり、ワイヤ電極の掃除・調整を実施。 結果、変色色差は小さかったが、目視での強弱の判別も可能であり、 濡れ試薬では判定が難しかった処理分布評価に有用と考えられます。 【評価】 ■プラズマインジケータ：PLAZMARK 大気圧用 ラベル No.41高感度 ■色差計：コニカミノルタ製蛍光分光濃度計 　FD-5(測定光源M1、照明系C光源、2°視野) ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 特殊ラベルなど

一般家庭用に市販されているオゾン除菌消臭器でどの程度変色するかどうか 調査しました。 結果、送風口側面にインジケータを設置して一晩運転した場合、ほとんど 変色しませんでした。つづけて、送風口に直接インジケータが当たるよう 設置し直して一晩運転した場合、ほぼ完全変色。 オゾン濃度を0.06ppmと仮定し、14時間運転した時のCT値を単純計算すると 0.06ppm×14時間×60分＝CT値50.4ppm・分となり、実験用オゾン発生器での 変色性とほぼ一致しました。 【実験概要】 ■装置：環境基本法で規定されている環境基準(0.06ppm)以下に調整された 　オゾンを発生する市販装置 ■試験条件：約35m2の会議室(容積約100m3)、無人で照明を付けずに一晩運転 　風量は「中」に設定 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 特殊ラベルなど

ラジカル種と反応するPLAZMARK O2クリーニング用No.1～3カード、 大気圧プラズマ用No.41、42ロングラベルについて、オゾンガスによる 変色性を調査しました。 真空プラズマ中で各種ラジカル種と反応して変色するように設計された O2クリーニング用No.1～3カードは、常温常圧下、活性酸素の一種である オゾンガスによっても変色。 O2クリーニング用3種類を真空プラズマ装置で処理した場合、色差は No.1高感度＞No.2中感度＞No.3低感度となるが、オゾンガスに対しては No.1高感度≈No.2中感度＞No.3低感度となって応答性が異なる結果となりました。 【オゾンガスによる変色テスト(一部)】 ■オゾン発生器：株式会社IHIアグリテック製オゾン発生装置OW-5 ■オゾンモニター：荏原実業株式会社製EG-2001 ■色差計：コニカミノルタ製蛍光分光濃度計FD-5(測定光源M1、照明系C光源、2°視野) ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• プラズマ表面処理装置

耐熱性ラベルNo.101(高感度タイプ)の変色の温度依存性 の技術データについてご紹介いたします。 Arプラズマ処理では高温条件ほど変色色差ΔE＊abは小さくなる傾向が みられ、O2プラズマ処理では高温条件ほど変色色差ΔE＊abは大きくなる 傾向があり、Arプラズマ処理と逆の温度依存性を示します。 また、「PLAZMARK 耐熱ラベル」は、フレキシブル性、接着性が ありますので、基板表面や装置内に自由に張り付け評価が可能です。 【Arプラズマ処理 概要】 ■RFプラズマ装置(アリオス株式会社製) ■RF電力：60W ■Arガス流量：40sccm ■到達真空度：5×10^-4Pa ■処理圧：10Pa ■ステージ温度：25～200℃ 【O2プラズマ処理 概要】 ■RFプラズマ装置(アリオス株式会社製) ■RF電力：60W ■O2ガス流量：40sccm ■到達真空度：5×10^-4Pa ■処理圧：10Pa ■ステージ温度：25～200℃ ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• プラズマ表面処理装置

耐熱性ラベルNo.102(低感度タイプ)の変色の温度依存性 の技術データについてご紹介いたします。 Arプラズマ処理では高温条件ほど変色色差ΔE＊abは小さくなる 傾向がみられます。 O2プラズマ処理では高温条件ほど変色色差ΔE＊abは大きくなる 傾向があり、Arプラズマ処理と逆の温度依存性を示します。 【Arプラズマ処理 概要】 ■RFプラズマ装置(アリオス株式会社製) ■RF電力：60W ■Arガス流量：40sccm ■到達真空度：5×10^-4Pa ■処理圧：10Pa ■ステージ温度：25～200℃ 【O2プラズマ処理 概要】 ■RFプラズマ装置(アリオス株式会社製) ■RF電力：60W ■O2ガス流量：40sccm ■到達真空度：5×10^-4Pa ■処理圧：10Pa ■ステージ温度：25～200℃ ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• プラズマ表面処理装置

Arクリーニング用No.23(低感度タイプ)の変色の温度依存性 の技術データについてご紹介いたします。 高温条件ほど変色色差ΔE＊abは大きくなる傾向がみられます。 同じ温度条件では、基本的にカード型の方がラベル型よりも 変色色差ΔE＊abは大きく、その差は低温ほど顕著です。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【概要(カード型)】 ■RFプラズマ装置(アリオス株式会社製) ■RF電力：60W ■Arガス流量：40sccm ■到達真空度：5×10^-4Pa ■処理圧：10Pa ■ステージ温度：25～100℃ ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• プラズマ表面処理装置

「大気圧プラズマ用」のNo.40(超高感度)シート型を用いて、 トーチ型の大気圧プラズマ装置を使用した分布評価を実施します。 接着用途では、処理が「疎」の部分が多くても一通り処理が できていれば接着可能。そのため、効率的な処理を行うために ピッチを大きくし、「疎」の部分が多い処理となります。 接着用途の処理では「密」の部分のみが変色し、想定した処理が できていることを確認。また、コーティング用途の処理の時は全体が 薄いピンク色に変色し、均一な処理ができていることを確認できました。 【装置情報】 ■装置型式：AP-4000R ■ノズル型式：RN-041835-SU ■色差計：コニカミノルタ製蛍光分光濃度計 　FD-9/MYIRO-9(測定光源C、照明系C光源、2°視野) ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• プラズマ表面処理装置

「PLAZMARK大気圧プラズマ用」のNo.41(高感度)とNo.42(低感度)を 用いて、ドライエアー大気圧プラズマ処理前後のインジケータの 色調変化と、PETフィルムに対する水の接触角およびインジケータの 変色色差を確認します。 No.41(高感度)インジケータは弱いプラズマ処理条件のPETフィルムに 対する水の接触角と相関が見られ、No.42(低感度)インジケータは 水の接触角と相関が見られました。 詳しい技術データについては関連リンクよりご覧いただけます。 【装置情報】 ■装置型式：株式会社電子技研製 AP-2000 　誘電体バリア放電式大気圧プラズマ装置 ■色差計：コニカミノルタ株式会社製 蛍光分光濃度計 　FD-5(測定光源M1、照明系C光源、2°視野) ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• プラズマ表面処理装置

「大気圧プラズマ用」のNo.41(高感度)を用いて、長尺型大気圧 プラズマ装置の分布評価を行いました。 結果、目視で大気圧プラズマ装置の処理ムラが検知可能。中心がよく 変色していることから、プラズマ処理に偏りがあることがわかりました。 現在使っている装置の状態を把握することができるため、メンテナンス用途 としても使用可能なほか、色差計を活用することで、数値解析をすることが でき、面内の分布評価を定量的に行うことができます。 【装置情報】 ■装置型式：株式会社電子技研製 AP-2000 　誘電体バリア放電式大気圧プラズマ装置 ■処理条件：CDA：6SLM、出力7.5kV、処理速度 300mm/min、処理回数1回 ■色差計：コニカミノルタ製蛍光分光濃度計 　FD-9/MYIRO-9(測定光源 C、照明系C光源、2°視野) ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• プラズマ表面処理装置

色差計で測定すると毎回同じ数値にならないのですが、 とのお悩み相談についてご紹介いたします。 インジケータの実力値として、全く同じ処理を行ったときに 色差値ΔE＝2～3程度のばらつきが出ることが当社の実験結果 として出ています。 これには色差計のばらつき・装置(処理)そのもののばらつき・ インジケータ自体の変色のばらつきなど様々な要因が含まれます。 ※記事の詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。 　詳しくは、お気軽にお問い合わせください。

• プラズマ表面処理装置

ワークの底面にもプラズマ処理されているか確認したいのですが、 どうすれば良いですか、とのお悩み相談についてご紹介します。 大面積タイプのインジケータをワークの下に敷いて処理を行う という方法を一度お試しください。 ワークを置いている箇所の変色有無によって、底面にもきちんと プラズマが当たっているかどうかを判断することができます。 ※記事の詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。 　詳しくは、お気軽にお問い合わせください。

• プラズマ表面処理装置

『PLAZMARK 大気圧プラズマ用』は、筆記具形状となる マーカータイプのプラズマインジケータです。 小型や複雑な形状のワークに対するプラズマ処理を容易に 可視化が可能。マーカータイプであるため、手軽に使用でき、 運用コストも抑えられます。 また、マーキングを行うことで、Roll to Roll などの柔軟な 素材に対するプラズマ処理の確認にも利用可能です。 【特長】 ■筆記具形状となるマーカータイプ ■狭い部分のプラズマ処理も確認できる ■小さい部品、色の濃い部品にも描ける ■パイプのような曲面にも描ける ■手軽に使用でき、運用コストも抑えられる ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他マーキング

プラズマ処理効果の評価ツールとして、2014年の発売以来、 お客様の用途に応じてラインアップを拡充してきた「PLAZMARK(R)」。 このたびご要望の多かったウエハプロセス向け製品の第1弾として 『PLAZMARK(R) "ウエハ型" セラミックタイプ』が登場！ 電子デバイスのエッチングやアッシングなど、 ウエハプロセスの面内分布等の評価にご利用いただけます。 【特長】 ■高い耐熱性(400℃)を実現 ■クリーン設計でLEDやMEMSなどの工程に好適 ■基板はシリコン・サファイアの2種類をご用意 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

• ウエハー

『プラズマインジケータ(TM)　PLAZMARK(R)』は、プラズマで変色する色材を用いたプラズマ処理効果の確認用インジケータです。 プラズマ密度に応じて段階的に変色しますので、プラズマの状態を「色で見える化」できます。 変色は不可逆反応のため、判定記録として残せ、工程管理にも利用できます。 また、変色は簡単に数値化でき、他の測定結果との相関を見ることもできます（ただし数値化には別途、色差計が必要です）。 ★無料でサンプル進呈しております。お気軽にお問い合わせください。 ※簡単なアンケートにご協力ください。（下部の基本情報をご確認ください。） 【こんな状況ではありませんか？】 様々な分野で利用が進む中で・・・ ・処理効果はできていますか？ ・レシピ開発はスムーズですか？ ・装置メンテナンス後の調整に手間がかかっていませんか？ ・工程管理に困っていませんか？ ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• そのほか消耗品

『プラズマインジケータ(TM)　PLAZMARK(R)』は、プラズマで変色する色材を用いたプラズマ処理効果の確認用インジケータです。 プラズマ密度に応じて段階的に変色しますので、プラズマの状態を「色で見える化」できます。 変色は不可逆反応のため、判定記録として残せ、工程管理にも利用できます。 今回、ご要望の多かった、PLAZMARK「耐熱性」の新規ラインナップとして、変色性能の高感度タイプ（型番：No.101）を発売しました。 ★無料でサンプル進呈しております。お気軽にお問い合わせください。 ※簡単なアンケートにご協力ください。（下部の基本情報をご確認ください。） 【特長】 ・高い変色感度を実現。 ・現行品の特長はそのまま踏襲。 【こんな状況ではありませんか？】 様々な分野で利用が進む中で・・・ ・処理効果はできていますか？ ・レシピ開発はスムーズですか？ ・装置メンテナンス後の調整に手間がかかっていませんか？ ・工程管理に困っていませんか？ ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• そのほか消耗品

『プラズマインジケータ(TM)　PLAZMARK(R)』は、プラズマで変色する色材を用いたプラズマ処理効果の確認用インジケータです。 プラズマ密度に応じて段階的に変色しますので、プラズマの状態を「色で見える化」できます。 変色は不可逆反応のため、判定記録として残せ、工程管理にも利用できます。 また、変色は簡単に数値化でき、他の測定結果との相関を見ることもできます（ただし数値化には別途、色差計が必要です）。 プラズマガス種は、酸素、窒素、アルゴン、四フッ化炭素（CF4）、水素、塩素、アンモニアなどです。 ★下記に分かりやすく説明した動画を公開しております。 【特長】 ■装置内に置くだけ、煩雑な機器操作は不要 ■処理後、すぐに「色」で判断できる ■段階的に色が変化するため、面内分布を細かく評価できる ■高額な評価装置が不要なため、設備経費が軽減できる ■評価時間が短縮でき、総合的な生産性の向上が期待できる ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• そのほか消耗品

『PLAZMARK 耐熱性』は高温プロセス向けプラズマ処理効果の評価ツールです。 色材に無機材料、機材にポリイミドを採用。 ラベル型でありながら200℃の高い耐熱性を実現します。 フレキシブル性、接着性に優れているため基板表面や装置内に 自由に貼り付けることができます。 【構成】 ■保護フィルム ■検知部（変色色材） ■基材（ポリイミド） ■剥離フィルム ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

• その他検査機器・装置

【こんな状況ではありませんか？】 様々な分野で利用が進む中で・・・ ・処理効果はきちんと確認できていますか？ ・レシピ開発はスムーズですか？ ・装置メンテナンス後の調整に手間がかかっていませんか？ ・工程管理に困っていませんか？ ・お客様からプラズマ処理品質のエビデンスを求められていませんか？ 『プラズマインジケータ(TM)　PLAZMARK(R)』は、プラズマで変色する色材を用いたプラズマ処理効果の確認用インジケータです。 プラズマ密度に応じて段階的に変色しますので、プラズマの状態を「色で見える化」できます。 変色は不可逆反応のため、判定記録として残せ、工程管理にも利用できます。 また、変色は簡単に数値化でき、他の測定結果との相関を見ることもできます（ただし数値化には別途、色差計が必要です）。 ★無料でサンプル進呈しております。お気軽にお問い合わせください。 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• そのほか消耗品

プラズマインジケータTM（商品名：PLAZMARK）は、プラズマ処理効果を簡単に可視化できる評価ツールとして、一昨年発売以来、おかげさまでご好評を頂いております。商品ラインナップも、プロセスや使用環境に応じて「O2(酸素)クリーニング用」、「耐熱性ラベル」、「Ar(アルゴン)クリーニング用」、「大気圧プラズマ用」と、順次拡大して参りました。 今回、ご要望の多かった、PLAZMARK「耐熱性」の新規ラインナップとして、変色性能の高感度タイプ（型番：No.101）を発売いたします。 【特長】 ■高い変色感度を実現。 ■現行品の特長はそのまま踏襲。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• そのほか消耗品

『PLAZMARK』は、プラズマで変色する色材を用いた、プラズマ処理効果確認用インジケータです。 プラズマ処理強度に応じて徐々に変色しますので、プラズマの状態を「色で見える化」できます。 変色は簡単に数値化でき、他の測定結果との相関を見ることもできます（ただし数値化には別途、色差計が必要です）。 従来の検査方法では、「プローブ法」「段差計」「接触角計」「濡れ試薬」など 測定技術や専門知識が必要だったり、時間がかかっていたり、面倒だったり、作業者によって結果がばらついていました… PLAZMARKであればだれでも簡単に評価できます！ 【こんな状況はありませんか？】 様々な分野で利用が進む中で ・処理効果の確認に手間がかかる… ・レシピ開発がスムーズにいかない… ・プラズマ処理の均一性が気になる… ・装置メンテナンス後の調整に手間がかかる… ・工程管理に困っている… ・お客様からプラズマ工程管理のエビデンスを求められている… ★手頃なコストで導入できます。サンプル無料進呈中です！ ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• そのほか消耗品

『PLAZMARK O2クリーニング用・Arクリーニング用』は実装工程や後工程 向けのプラズマ処理効果の評価ツールです。 「O2クリーニング用」はラジカル性のプラズマ検知に最適化。 UV洗浄やUVオゾン洗浄にも適用できます。 「Arクリーニング用」はイオン性のArプラズマを効率よく検知。 ラジカル主体のプラズマや、ラジカル源となるガスとの混合系では O2クリーニング用のほうが適しています。 【使用例】 ■めっき前の表面改質 ■ワイヤーボンディングなど接合面の表面改質 ■部品実装後のアンダーフィル前クリーニング ■LSI、メモリ、MEMS等電子デバイスの封止前のクリーニング ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

• その他検査機器・装置

目に見えないからこそ、正確に測定したいプラズマ。 今まで手作業で測定していた方必見の、測定効率UPのご提案です。 『PLAZMARK』は、プラズマで変色する色材を用いた、プラズマ処理効果確認用インジケータ。 プラズマ処理強度に応じて徐々に変色しますので、プラズマの状態を「色で見える化」できます。 変色は簡単に数値化でき、他の測定結果との相関を見ることも可能！ （ただし数値化には別途、色差計が必要です） 【PDFにて課題別の解決事例をご紹介！】 ・月に1度くらいの頻度で不良が発生。手順は指導しているが、作業員によってばらつきがある。 ・3次元形状をムラなく表面改質できているかどうか、確認方法に悩んでいた。 ・自社製プラズマ装置に不具合がないか、原因究明を求められた。 ・ラインごとの品質のバラツキを指摘され、毎日対応に追われている。 ・プラズマクリーニングの効果確認の装置が高価で測定が面倒。 ※事例については、PDFをダウンロードしてご覧ください。

• そのほか消耗品

『PLAZMARK　Arクリーニング用』は、アルゴンプラズマに代表される イオン性の強いプラズマに対して変色感度がある色材を用いることで、 クリーニングや前処理工程の処理効果の評価に使用できるプラズマ インジケータです。 また一種のみであった「Arクリーニング用」の変色感度に、高感度タイプの インジケータを商品化。 これにより、これまで評価が難しかったソフトなArプラズマ処理や短時間処理 でもご使用頂くことが可能となりました。 【特長】 ■高感度を実現 ■装置内に置くだけの簡単操作 ■処理後、すぐに色で判断可能 ■段階的に色が変化するため、面内分布を細かく評価可能 ■高額な評価装置が不要なため、経費軽減 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他実験器具・容器

『PLAZMARKⓇ デスミア用』は、プリント配線板ビアホールのプラズマ デスミア用の貼付が可能なラベル型インジケータです。 バッチ式プラズマデスミア装置はもちろん、ロールtoロール式プラズマ デスミア装置でもお使いいただける仕様となっており、従来法のエッチング 量測定と同等の評価を色の変化で手軽に評価できます。 また、他のPLAZMARKⓇラインナップがレンジオーバーしてしまう高出力 長時間の強力なプラズマ処理にもお使いいただけます。 【特長】 ■感度2種類をラインナップ ■フレキシブルなラベル型 ■色差計による数値化も可能 ■面倒な重量測定なし ■O2＋CF4系ガスに対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他実験器具・容器

『PLAZMARK 大気圧プラズマ用』は常圧処理工程や洗浄工程向けの プラズマ処理効果の評価ツールです。 新規有機色材の開発により、大気圧プラズマのラジカル種に 特化した検知性能を実現。 プリント配線板やFPD製造など、大面積の大気圧(常圧)プラズマ処理の チェックに適しています。 UV洗浄やUVオゾン洗浄にも適用できます。 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

• その他検査機器・装置

当製品は、販売中のウエハ型セラミックタイプに比べ、金属元素を使用しない 設計のため、金属汚染が気になるお客様でも安心してお使い頂ける製品です。 表面のインジケータ膜は有機系の材料のみを利用しており、 基板には標準規格のシリコンウエハを使用。半導体前工程での利用を想定し クリーンなプロセスで利用できるよう設計しています。 【特長】 ■金属元素を使用しない設計 ■表面のインジケータ膜は有機系の材料のみを利用 ■8インチと12インチのサイズをご用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• プラズマ表面処理装置

『PLAZMARK ウエハ型』はウエハプロセス向けの プラズマ処理効果の評価ツールです。 ご使用の基板と同じ形状のインジケータを用いることで 簡単に面内分布の可視化が可能。 基板サイズや材質、変色感度は要望に応じて対応します。 【特長】 ■無機色材の採用で清浄性を確保 ■放出ガスを極限まで低減 ■400℃の耐熱性 ■基板サイズ、材質は要望に応じて対応 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

• その他検査機器・装置

照射されたプラズマの処理条件に応じて連続的に変色する、 プラズマ処理効果の評価ツール(プラズマインジケータ)「PLAZMARK」を マンガでわかりやすく解説した冊子を進呈中！ 使い方や仕組み、一般的な評価方法との違いのほか、 常圧処理工程・洗浄工程向け、実装工程・後工程向け、デスミア処理向け、 高温プロセス向け、ウエハプロセス向けなど豊富なラインアップも紹介しています。 ★本マンガ資料はダウンロードボタンよりすぐにご覧いただけます。 【「PLAZMARK」の特長】 ■「色」で簡単に評価が可能。面内分布評価が容易 ■高額な設備が不要。評価時間の短縮を実現 ■機差や均一性をチェックして効率をアップ。品質安定に貢献 ※製品について詳しくは資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 ★サンプルをご希望の方は「サンプル申込はコチラ」 もしくはお問合せフォームよりお申込ください。

• その他実験器具・容器

『PLAZMARK O2クリーニング用・Arクリーニング用』は、 実装工程や後工程向けのプラズマ処理効果の評価ツールです。 「O2クリーニング用」はラジカル性のプラズマ検知に好適。 UV洗浄やUVオゾン洗浄にも適用できます。 「Arクリーニング用」は、アルゴンプラズマに代表される イオン性の強いプラズマに対して変色感度がある色材を用いることで、 クリーニングや前処理工程の処理効果の評価に使用できるプラズマ インジケータです。 一種のみであった「Arクリーニング用」の変色感度に、高感度タイプの インジケータを商品化。 これにより、これまで評価が難しかったソフトなArプラズマ処理や短時間処理 でもご使用頂くことが可能となりました。 当冊子では、プラズマ中の活性種(ラジカル・イオン)により変色する 機能性色材を用いた評価ツールのプラズマインジケータ「PLAZMARK」を マンガでわかりやすく解説しています。

• その他検査機器・装置

照射されたプラズマの処理条件に応じて連続的に変色する、 プラズマ処理効果の評価ツール(プラズマインジケータ)「PLAZMARK」を マンガでわかりやすく解説した冊子を進呈中！ 【セミナー開催のお知らせ】 ■日時：2022年9月29日（木） ■時間：16：00～17：00 ■テーマ：色差測定について ■参加方法：無料（事前申込が必要） ★セミナー参加をご希望の方は、「セミナー申込はこちら」よりお申込みください。 【「PLAZMARK」の特長】 ■「色」で簡単に評価が可能。面内分布評価が容易 ■高額な設備が不要。評価時間の短縮を実現 ■機差や均一性をチェックして効率をアップ。品質安定に貢献 ※本マンガ資料はダウンロードボタンよりすぐにご覧いただけます。

• その他実験器具・容器

照射されたプラズマの処理条件に応じて連続的に変色する、 プラズマ処理効果の評価ツール(プラズマインジケータ)「PLAZMARK」をマンガでわかりやすく解説した冊子を進呈中！ 使い方や仕組み、一般的な評価方法との違いのほか、 常圧処理工程・洗浄工程向け、実装工程・後工程向け、デスミア処理向け、 高温プロセス向け、ウエハプロセス向けなど豊富なラインアップも紹介しています。 ★本マンガ資料はダウンロードボタンよりすぐにご覧いただけます。 【「PLAZMARK」の特長】 ■「色」で簡単に評価が可能。面内分布評価が容易 ■高額な設備が不要。評価時間の短縮を実現 ■機差や均一性をチェックして効率をアップ。品質安定に貢献 ※製品について詳しくは資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 ★サンプルをご希望の方は「サンプル申込はコチラ」 もしくはお問合せフォームよりお申込ください。

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『PLAZMARK 大気圧用超高感度タイプ』は、処理時間が短い プラズマインジケータです。 マイルドなプラズマ処理を繰り返した時の変色見本と変色色差の 比較では、今までの高感度と比べて変色速度が3倍以上。 貼付可能な「ロングラベル型」と、一度に分布評価が可能な 「シート型」の2形状をご用意しております。 【こんなプロセスに好適】 ■スキャンスピードが速い(処理時間が短い) ■プラズマパワーが小さい ■現行高感度No.41では変色しない ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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『PLAZMARK Arクリーニング用』は、O2クリーニング用では 検知しにくいイオン性のArプラズマを効率よく検知できる カード型のインジケータです。 ArやHeなど、O2クリーニング用では検知しにくい イオン性のプラズマを効率よく検知可能。 ラジカル主体のプラズマや、ラジカル源となるガスとの 混合系では、O2クリーニング用のほうが適しています。 【特長】 ■イオン性のプラズマ検知に最適化したインジケータ ■目的に合わせてお選びいただける3形状 ■半導体の後工程など幅広く使用可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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『PLAZMARK Arクリーニング用』は、O2クリーニング用では検知しにくい イオン性のArプラズマを効率よく検知できるラベル型のインジケータです。 ArやHeなど、O2クリーニング用では検知しにくいイオン性のプラズマを 効率よく検知可能。 当製品の他に、気になる箇所に手軽に設置できる「カード型」と、大面積で 分布を捉えることのできる「シート型」の3形状をご用意しております。 【特長】 ■イオン性のプラズマ検知に最適化したインジケータ ■目的に合わせてお選びいただける3形状 ■半導体の後工程など幅広く使用可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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『PLAZMARK Arクリーニング用』は、O2クリーニング用では 検知しにくいイオン性のArプラズマを効率よく検知できる シート型のインジケータです。 めっき前の表面改質をはじめ、部品実装後のアンダーフィル前 クリーニングなど、幅広い場面で使用可能。 ラジカル主体のプラズマや、ラジカル源となるガスとの混合系では、 O2クリーニング用のほうが適しています。 【特長】 ■イオン性のプラズマ検知に最適化したインジケータ ■目的に合わせてお選びいただける3形状 ■半導体の後工程など幅広く使用可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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当社で取り扱う、プラズマインジケータ『PLAZMARK』について ご紹介いたします。 当製品は、プラズマ中の活性種(ラジカル・イオン)により変色する 機能性色材を用いた評価ツール。 プラズマ強度に応じて連続的に変色するので、プラズマの処理効果を 細かく評価することができます。 【特長】 ■プラズマ強度に応じて連続的に変色 ■プラズマの処理効果を細かく評価 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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