キヤノンアネルバの製品・サービス一覧

ガス分析システムはものづくりの品質管理や研究開発の手段として、幅広い分野・業界で利用されてきましたが、 分析対象の違いによって測定条件の違いがあり、適した測定を行うためには個別の対応が必要となるケースがあります。 キヤノンアネルバでは、自社製の四重極型質量分析計を使用して、お客様のご要望を元にオーダーメイドで構成（仕様）を設計し、ご要望・測定用途に沿った、好適なシステム構成を提案いたします。

• その他計測・記録・測定器

■『キャパシタンスゲージ』は、高精度で安定した絶対圧力を測定できる温度補正型の隔膜真空計です。 　　優れたゼロ点の安定性、低温度依存性、優れた対振動性が特長です。 ■『コールドカソードピラニゲージ』は、堅牢なコールドカソードゲージ(冷陰極電離真空計)とピラニゲージを組み合わせ、 　　大気圧から高真空まで広い圧力測定範囲を持つコンビネーションゲージです。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他計測・記録・測定器

当社は、1967年の設立以来今日まで長年培った真空技術や成膜加工技術で、 真空薄膜製造装置や真空コンポーネント製品の開発・製造・販売・サービス事業を 展開しております。 「真空技術で未来を拓く」をテーマに掲げ、高付加価値製品を お客さまへ提供し、市場の発展に貢献してまいりました。 2005年にキヤノングループ会社となり、今日ではキヤノン産業機器グループの 一員として、グローバルなグループネットワークの強みを最大限に活かした 事業展開を目指しております。 【事業内容】 ■真空成膜加工装置製造・販売 ■真空コンポーネント製品製造・販売 ■保守サービス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他計測・記録・測定器
• 真空機器
• その他半導体

『ミニチュアゲージ』は、ガラス製ゲージ球の大きく 割れ易いという欠点を除いた金属製の小型ゲージ球です。 取付場所の選定が容易で、さらに感度や測定範囲等の ゲージの性能を損なうことなく小型化(従来の1/20当社比)。 到達圧力からスパッタ等のプロセス圧力(1Pa台が測定可)までの 圧力計測が1つのゲージで行なえます。 【ラインアップ】 ■MG-2 ■MG-2M ■MG-2I/NW16、25 ■MG-2I/φ34ICF、φ70ICF ■MG-2F ■MG-2WF ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他計測・記録・測定器
• 圧力計

『ピラニゲージ』は、大気圧から測定できる手軽さと、 高いコストパフォーマンスを併せ持つ用途の広い真空計です。 再現性がよく、低・中真空領域の測定に好適。 各種システム搭載用として、食品、自動車、医薬品をはじめ、 様々な産業でご使用いただけます。 【特長】 ■高いコストパフォーマンス ■5×10^-2Paから大気圧 ■様々な産業で使用可能 ■粗引き系の圧力測定、排気系の圧力モニタ、制御などの用途がある ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 圧力計
• その他計測・記録・測定器

温度補正型の隔膜真空計、キャパシタンスゲージ『M-342DG』 【特長】 ■高精度で安定した圧力測定 ・優れたゼロ点安定性 ・低温度依存性 ・優れた対振動性 ■コンパクト・低消費電力 ・質量200g、サイズW46mm×H49mm×L106mmと軽量でコンパクト ・消費電力0.5W ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 圧力計

『V-025SV』は、主に油回転真空ポンプの吸気口に取り付けて使用します。 カットバルブとベントバルブの機能を装備。停電や誤操作などによる ポンプ油の逆流防止に役立ちます。 駆動源には油回転真空ポンプで発生する真空力を利用します。従来の 自動バルブのような圧縮空気およびそのための配管は不要です。 (ポンプが動作していない状態ではバルブは開きません。) 【特長】 ■ポンプ油の逆流防止 ■圧縮空気およびその配管は不要 ■駆動源には油回転真空ポンプで発生する真空力を利用 ■制御回路不要 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい

• バルブ

『951-7179 インレットバルブ』は、真空装置内に特定ガスを 導入するための製品です。 軸シールはオーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを、 真空シールはふっ素ゴム(バイトン)を使用。 高真空、超高真空装置をリークさせる際のガス導入用バルブとして 適しています。また、10^-7Pa程度の超高真空領域まで使用可能です。 【特長】 ■超高真空領域用 ■大気混入なし ■優れた許容加熱性 ■容易なメンテナンス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• バルブ

『超高真空バリアブルリークバルブ』は、導入ガス流量の調節を 必要とする真空装置に使用する製品です。 調節可能最少リーク量が6.7×10^-9Pa・m3/sec以下と きわめて微少流量領域からのガス導入が可能。 また、全金属製で450℃までのベーキングが可能ですので、 超高真空装置用に適しています。 【特長】 ■熱と外部衝撃に強いシール部 ■微少ガス流量を安定調節 ■優れた許容加熱性 ■広範囲ガス流量の調節が可能 ■超高真空接続可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器
• バルブ

『Vシリーズ』は、長寿命化とメンテナンス性向上を図ったL型バルブで バルブに内蔵しているベローズは、材質にハステロイ合金を採用しています。 標準でバルブに使用しているエアーシリンダには全て、 開閉用のポジションセンサスイッチ(磁気センサー)を装備。 バルブボディはステンレス鋼を用いており、特殊な接続フランジも容易に 溶接接合できます。また、バルブ内部部品洗浄作業及び保守部品交換作業が 短時間で可能です。 【特長】 ■超高真空領域まで使用可能 ■寿命バルブ ■開閉ポジションセンサスイッチ ■優れた許容加熱性 ■豊富な接続フランジ ■容易なメンテナンス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• バルブ

『Vシリーズ』は、10^-4Pa程度の高真空領域まで使用できるL型バルブです。 真空シールおよび軸シールにふっ素ゴム(バイトン)Oリングを使用。 高真空装置用バルブ、超高真空装置のあら引きバルブとして好適です。 また、圧空駆動式バルブに使用しているエアーシリンダは、開閉用の ポジションセンサスイッチを装備しています。 【特長】 ■10^-4Pa程度の高真空領域まで使用可能 ■軸シール部のみ、ふっ素グリースを使用 ■開閉ポジションセンサスイッチ装備 ■駆動方式 　・圧空 　・手動 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• バルブ

『超高真空L型ポリイミドバルブ』は、10^-8Pa程度の超高真空領域まで 使用できる製品です。 真空シールには耐熱温度が高くガス放出の少ないポリイミド樹脂を使用。 150℃以上のベーキングを伴なう超高真空装置用バルブとして適しています。 また、バルブボディにはオーステナイト系ステンレス鋼を、軸シールにも オーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを使用しています。 【特長】 ■10-8Pa程度の超高真空領域まで使用できる ■優れた許容加熱性 ■ガス放出の少ないシール材 ■小さな締付けトルク ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• バルブ

『超高真空L型オールメタルバルブ』は、10^-8Pa以下まで使用できる 全金属製の製品です。 バルブボディにはオーステナイト系ステンレス鋼を、軸シールにも オーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを使用。 全溶接構造で、真空にさらされる個所はオイルフリーで清浄です。また、 弁封止構造はICFフランジ同様の信頼性の高いCapturingシール構造を 採用しています。 【特長】 ■超高真空領域用 ■Capturingシール構造 ■優れた許容加熱性 ■容易なガスケットの交換 ■並列配管接続可能(951-7148ミニメタルバルブを除く) ■容易なメンテナンス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• バルブ

当社では、セラミック封止の端子をICFフランジに溶接した、 各種『電流端子』を揃えております。 これらの端子は、絶縁特性がよく機械的および熱的に丈夫で、 しかもリークのおそれがないという特性を持っています。 そのため、超高真空装置や熱的負荷の大きい装置に用いられ、 高い信頼性を得ています。 【特長】 ■実績あるロー付け技術とICFフランジにより、高温のベーキングに対応 ■熱的特性・機械的特性・電気的特性に優れている ■超高真空領域まで使用可能 ■大電流導入用、小電流導入用、高圧電流導入用、多極端子付など 　各種ご用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他端子台
• その他機械要素

『直線導入機』は、真空中に取り付けた機器の直線運動の導入に用い、 圧力が10^-8Pa以下の超高真空領域まで使用できます。 オールメタルなのでハードベークが可能。超高真空系に適しています。 ベローズの伸縮を利用し真空内に直線運動を導入するため、操作中での リークの心配がありません。 【特長】 ■真空側と大気側とを、ベローズで完全に遮断したベローズ式直線導入機 ■構成部品はすべて非磁性体なので、磁気を嫌う真空装置系に適している (954-7626、7627は除く) ■全機種共ハンドル1回転で1mmの直線移動量で、ハンドル目盛りは20等分 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他機械要素
• 真空機器

当製品は、真空中に取り付けた機器の回転運動の導入に用い、圧力が 10^-8Pa以下の超真空領域まで使用することが可能な回転導入機です。 磁気結合型回転導入機とベローズ式回転導入機をご用意。 真空ブレージング接合を採用し、エラストマーシールは一切使用して おりませんので、超高真空系に適しています。 【特長】 ■大きな伝達トルク ■長寿命 ■ベークアウト可能 ■アウターロータストッパ ■モータ駆動可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他機械要素
• 真空機器

当社が取り扱う『補助材料』をご紹介致します。 「モリペースト500」は、MoS2微粒子とベース油(鉱油)を高濃度に配合した ペースト状製品。機械部品の嵌合部、摺動部、ネジ部に少量塗布するだけで 摩耗、かじり、焼付きを防止します。(真空内用ではありません) 他に、「シースヒータ」や「ボルト、ナット、ワッシャ」などの ご用意があります。 【モリペースト500　特長】 ■化学的に安定 ■焼付き、摩耗を防止 ■低速で重荷重の個所の潤滑に有効 ■ペースト状なので、油では困難な場所の潤滑が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• そのほか消耗品
• ボルト
• その他ヒータ

『超高真空ビューイングポート』は、真空容器内を外部より観察するための のぞき窓です。 コバールガラス、または合成サファイアとコバールを封着したものを ICFフランジに溶接しているので、10^-8Pa以下の超高真空領域まで使用可能。 特にサファイア製ビューイングポートは、紫外線領域(短波長)の電磁波や 粒子線の照射に対して安定した透過特性を持っています。 【特長】 ■広く鮮明な有効視野 ■超高真空領域まで使用可能 ■優れた加熱許容性 ■広範囲波長を安定透過 ■優れた耐放射特性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器

『真空スイッチ』は、単極双投接点を備え、作動圧力の上限または下限において 同時にON・OFF2点制御信号が得られ、作動圧力の変化もわずかです。 また、真空側はすべてSUS-304を使用しており、大気とのシールは溶接構造 なので高真空に接続可能。 そのため、自動化真空装置等の保護及び安全回路用スイッチとしても 使用できます。 【特長】 ■単極双投接点を備えている ■作動圧力の上限または下限において、ON・OFF2点制御信号が得られる ■真空側はすべてSUS-304を使用 ■大気とのシールは溶接構造なので、超高真空に接続可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器

当社では、取扱いが便利なISO規格対応の真空フランジを取り扱っています。 ISOではこれをQuick-release Couplingと呼び、呼び径10、16、25、40の 4種類の小型フランジについて規格化されています。 いずれもボルトは用いず、クランプで容易に着脱できる機能的な フランジです。また、このフランジを用いた各種の接続素子も 用意していますのでご利用ください。 【特長】 ■ボルト・ナットが不要で着脱が容易 ■オス・メスなしの完全対称形フランジ ■フランジの全周を、継続的かつ均一に締め付ける ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• カップリング

装置を組み立てるにあたり、配管接続のためいろいろの素子を用います。 当社の取り扱う接続素子は、ICFフランジで接続する系列のもので、 超高真空装置本体およびそのあら引き系に使用されています。 フイッティング、メタルアダプタ、ガラスアダプタ、φ15アダプタの ラインアップがあります。 【特長】 ■種類が豊富 ■用途に合わせて使用可能 ■ICFフランジ付き ■超高真空まで使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 配管材

当社では、超高真空フランジとして『ICFフランジ』を取り扱っています。 当製品は、メタルシールフランジで、現在知られている超高真空用 フランジの中では特に信頼性が高く、取り扱い方法も簡単。 専用の無酸素銅製ガスケットを使用します。 【特長】 ■"Capturing"の理論により、ガスケットを弾性的にシール ■10^-10Pa以下の圧力に耐える仕様 ■-196℃より+450℃までの温度範囲でリークフリー ■オス・メスなしの完全対称形フランジ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器

『フォアライントラップ』は、ガス通路に設けたモレキュラシーブにより、 油分子を効率よく吸着します。 さらに、モレキュラシーブを液体窒素で冷却することによって、油分子のみ ならず水蒸気も効果的に吸着します。(フォアライントラップSの場合) また、ヒータが内蔵されていますので、使用前にモレキュラシーブを ベーキングすることによって、簡単にモレキュラシーブの吸着能力を 再生できます。 【特長】 ■簡単に油上記の逆流を防止することができる ■ガス通路に設けたモレキュラシーブにより、油分子を効率よく吸着 ■使用前にモレキュラーシーブをベーキングすることによって、 　簡単にモレキュラーシーブの吸着能力を再生可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空ポンプ

POWER Ecoシリーズの当製品は、省エネルギーの観点から、消費電力や 冷却水量を低減することを目的として開発された高性能省エネルギー型の クライオポンプです。 冷凍機の高効率化やマルチウエーブ制御により、コンプレッサ1台で運転可能な クライオポンプの台数が増えているため、1台あたりの消費電力や冷却水量が 格段に低減されています。 【特長】 ■省エネ・省資源に有効［消費電力、冷却水量：15～70％低減可能］ ■再生・起動時間の短縮［従来に比べて半分以下(当社比)］ ■排気性能の向上［実質的なアルゴン排気容量を1.5～4倍と大幅に向上(当社比)］ ■低振動［従来に比べて約1/10以下］ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空ポンプ

POWERシリーズの当製品は、実用的な排気性能やマルチ運転での温度安定性を 向上させた高性能型のクライオポンプです。 振動加速度の平均値は従来に比べ約10分の1以下(当社比)。 マルチ運転時に1台のポンプのみ再生しても、極端に起動時間が長くなる ことはなく、運転環境による起動時間の変化を最小限にしました。 【特長】 ■ヒータレスで安全な高速再生を実現 ■実用性に優れた起動特性と温度安定性 ■低振動 ■アルゴン排気容量の限界値ギリギリまで良好な排気性能を持続 ■冷凍能力を大幅にアップ、安定した水素排気性能を長時間持続 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空ポンプ

『コンビネーションポンプ』は、チタンサブリメーションポンプと三極型 イオンポンプ(ノーブルポンプ)を組み合わせることで、イオンポンプの 有している清浄な超高真空が容易に得られるという特長をそのまま生かし、 大排気速度を安い価格で得られます。 また、油など有機物は全く使用しておりませんので、油汚染のない 超高真空が得られ、運転操作が簡単で停電の場合にも無人運転ができます。 【特長】 ■大排気速度 ■軽量でコンパクト ■安全設計 ■清浄な超高真空 ■液体窒素が不要 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空ポンプ

「チタンサブリメーションポンプ」および「タイバックポンプ」は、 チタンを真空中で加熱昇華させ、周囲壁面にチタン蒸着膜(ゲッター面)を作り、 金属のゲッター作用を利用して、気体の吸着排気を行うゲッターポンプです。 イオンポンプと併用することにより、オイルフリーの超高真空が実現可能。 また、小型軽量で取付場所を選びません。 【特長】 ■オイルフリーの超高真空 ■経済的 ■コンパクト設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他ポンプ
• 真空ポンプ

『エクセルポンプ』は、小型軽量の真空ポンプです。 イオンポンプをベースに、低い圧力領域での放電特性を改良し開発した ポンプ素子、効率のよいベーキングを行えるビルドインヒータを採用。 また、NEG(非蒸発型ゲッタ)ポンプの内蔵によりXHVの達成を可能にしました。 【特長】 ■UHV、XHV領域での高い排気能力 ■高効率ベーキングの実現 ■小型、軽量 ■クリーンルーム対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空ポンプ

『イオンポンプ・ノーブルポンプ』は、超高真空ポンプです。 磁場中で冷陰極放電を起すことにより、電離された気体分子が陰極に 埋め込まれること、また陰極との衝突の際の陰極材料(Ti)をスパッタして、 活性なゲッター膜を連続的に作ることを利用して排気を行います。 油など有機物を一切使用していないため、系を汚さず清浄な真空が得られます。 【特長】 ■完全オイルフリー ■超高真空、極超真空 ■無人運転 ■不活性ガスの排気(ノーブルポンプ) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空ポンプ

『P-500』は、10^-2Pa～10^-4Pa以下の高真空からイオンポンプ又は ノーブルポンプを運転する制御装置です。 表示は緑色の大型LEDを採用し、離れた位置からの視認性を向上。 従来モデルとの互換性を考慮しながら、機能アップ、CE、RoHS適合を 実現しています。 充実したI/0機能に加えて、オプションボード追加によってRS232C通信への 対応が可能など自動化装置・遠隔操作用装置に適しています。 【特長】 ■高性能 ■充実の機能 ■高互換性 ■通信対応 ■適合規格：CEマーキング、RoHS指令　適合 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空ポンプ
• その他プロセス制御

『Cシリーズ』は、多様なガス分析のご用途への対応をはかりながら、 シンプル＆コンパクトにまとめたガス分析システムです。 基本構成（排気系＋マスフィルタ）を選択、さらに各種ご用途を想定し、 あらかじめ設定されている推奨オプション類を選択・付加することによって、 お客様のご用途に適したシステム構成とすることが可能。 シンプルでありながら、基本的なインターロック機能を標準装備し、 安心してご使用いただけます。 【特長】 ■フレキシブルにカスタマイズが可能 ■W480mm×D500mmの省スペースに設置が可能 ■シンプルでありながら、基本的なインターロック機能を標準装備 ■後付けのガス分析用排気ユニットとして、分析管の無い構成でも注文可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他計測・記録・測定器

『Dシリーズ』は、各種ガス分析、研究開発分野において好適な ガス分析システムです。 パソコン制御による容易な測定が可能。 用途に合わせて、四重極型質量分析計にTMP排気系とオプションの 組み合わせができるフレキシブルな構成となっております。 【特長】 ■分析計は5機種より選択可能 ・M-101QA-TDF、M-101/201QA-TDM、M-401QA-M（高感度/高速） ■用途に合わせて、組み合わせシステムアップ可能 ■小型、省スペース ■容易な操作性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他計測・記録・測定器

キヤノンアネルバ株式会社では、質量数410amuまで測定が可能な 高性能・高機能の四重極型質量分析計を取り扱っております。 m/Z＝1～410を1秒間隔でデータ取得できる「M-401QA-MGSY/MUSY」や 8桁のダイナミックレンジで高感度の「M-401QA-MGHY/MUHY」をご用意。 UHV型（かご型）、ガス導入型（箱型）の選択が可能なほか、 低ガス放出のイオン源を採用、デガス機能を有します。 【特長】 ■UHV型（かご型）、ガス導入型（箱型）の選択が可能 ■低ガス放出のイオン源を採用 ■デガス機能有り ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他計測・記録・測定器

『M-101/201QA-TDM』は、高感度・高機能で低ガス放出を実現した PC制御専用の四重極型質量分析計です。 検出器に2次電子増倍管を使用し、イオン化電圧、エミッション電流の 細かい設定が可能。薄膜製造装置のガス分析から加速器ガス分析等 幅広く使用されています。 また、当社では各種真空装置の残留ガスモニタに適した低価格版の 「M-070QA-TDF」もご用意しております。 【特長】 ■検出器に2次電子増倍管を使用 ■低ガス放出のイオン源を採用 ■イオン化電圧、エミッション電流の細かい設定が可能 ■QUADVISION ■豊富なI/O機能を標準装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他計測・記録・測定器

プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』は、測定質量範囲1～80amuであり、2.0Pa以下（差動排気系不要）の圧力から測定可能な四重極型質量分析計です。 プロセス中のガス分圧を監視し、プロセスガス異常・リークなどの不具合を検知し、プロセス安定性を提供いたします。 プロセス中の品質管理や残留ガス分析などにご活用ください。 【特長】 ■プロセス中に高感度で水素を検出 ■広い圧力領域を高感度で測定 ■メンテナンスサイクルが長く、低ランニングコスト ■さまざまなアラーム機能により、生産中に異常を検出 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 　資料内の動作圧力に関する記載が「​1.3Pa以下」となっておりますが、正しくは「​2.0Pa以下」となります。

• その他半導体製造装置

『M-723HG、M-823HG、M-923HG』は、多様なゲージに対応する 豊富な拡張ボードを備えた一般的なB-A型電離真空計シリーズです。 真空装置のプロセスコントロールに必要な遠隔操作機能や APC（自動圧力制御）で有効なレンジホールド機能を標準装備。 「M-823HG」ではワイドレンジ B-A ゲージとサーモカップルゲージの コンビネーション及びゲージの自動切替を行うオートフィラメント機能の 搭載により大気圧から高真空領域までを1台で高精度にカバーします。 【特長】 ■圧力レンジは自動切換 ■圧力及び種々のメッセージが液晶表示 ■豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能 ■セットポイントを2点標準装備 ■記録計用出力として、D/A 出力を標準装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器

『M-833HG』は、ミニチュア B-A ゲージ専用のコントロールユニットです。 オプションにて、多用なゲージ、データ出力等に対応する拡張ボードを用意。 ミニチュア B-A ゲージと TC ゲージ（オプション）のコンビネーション及び、 ゲージの自動切替を行うオートフィラメントの搭載により、 大気圧～超高真空までの高精度な真空測定を実現出来ます。 【特長】 ■見やすい液晶表示形式 ■圧力及び、種々のメッセージが液晶にて表示 ■圧力レンジは自動切換 ■豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能 ■セットポイントを 2点標準装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器

『M-431HG』は、ミニチュアゲージ専用の真空計制御電源です。 入力電圧はワイド電圧。 外部入出力で、RS-232C通信機能を標準装備し、 CEマーキング、RoHSに対応しています。 自動化真空装置の圧力測定や、スパッタなどのプロセス圧力の測定、 制御などにご使用いただけます。 【特長】 ■外部入出力 ■RS-232C通信機能を標準装備 ■入力電圧はワイド電圧 ■CEマーキング、RoHS対応 ■耐熱温度80℃/250℃のケーブルもご用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器

『M-320XG』は、大気圧から1×10^-2Paまでの広い範囲にわたって、 信頼性の高い測定ができるクリスタルゲージです。 水晶振動子の共振インピーダンスが圧力に応じて変化するという現象を利用し、 はるかに再現性が高く、また大気圧付近での安定性の高い測定が可能。 あら引きゲージとしての用途以外に、チャンバの大気圧ベントの検出用の 圧力スイッチとして、またプロセス圧力の測定などにも使用が可能です。 【特長】 ■大気圧から10^-2Paまで、優れた再現性で測定 ■熱源（フィラメント）を持たない ■取り扱いが安全な上、プロセスガスに影響を与えない ■コントローラ部は、手のひらサイズ、質量はわずか200g ■環境に配慮した少ない消費電力 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器

『M-601GC/603GC』は、トランスデューサ型真空計シリーズ対応表示器です。 大型デジタルLCD表示で見やすく、操作性も大幅に向上。 現場の利便性に追求した様々な工夫が詰まっています。 用途に合わせて1chタイプと3chタイプがご選択いただけます。 【特長】 ■ゲージ自動認識 ■大型デジタルLCD表示 ■RS232Cインターフェース標準装備 ■優れた操作性 ■見やすい3タイプ表示 ・デジタル表示、トレンドグラフ（最長18H）、アナログメータ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器

『G-511シリーズ』は、素早い画像取得ができ、ターゲットの 回転調整不要の透過密閉型マイクロフォーカスX線源です。 ウォーミングアップは3分以内で立上げ時の長い待ち時間を解消。 X線管寿命の自己診断機能で、計画的な装置保守に貢献します。 【特長】 ■ 110kV昇電圧1秒以内 ■ ターゲットメンテナンスフリー ■ ウォーミングアップ3分以内 ■ X線管寿命の自己診断機能 ■ オプションで1秒以下のパルス出力が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器

『G-311シリーズ』は、高輝度で高拡大率、素早い画像取得が 可能な透過密閉型マイクロフォーカスX線源です。 ターゲットの回転調整が不要で、装置稼働率が向上。 立上げ時の長い待ち時間が解消され、長期保管後の エージングが不要です。 【特長】 ■海外運用に対応 ■高倍率で高撮影スループット ■計画的な装置保守に貢献 ■10Wで4μmを解像 ■CE、RoHS対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器

『HELENシリーズ』は、小型、軽量、可搬性をコンセプトに開発した ポータブルタイプのヘリウムリークディテクターです。 機動性を重視したコンパクトタイプの「M-212LD」やダイヤフラム ポンプを搭載した「M-212LD（-D）」、ハイパワーの「M-222LD」 など、さまざまな製品をご用意。 業界でも高レベルの感度、安定性、応答性を実現しています。 【特長】 ■イージーオペレーション ■ボタン操作1つで機器の立ち上げから測定までが可能 ■高レベルの感度、安定性、応答性を実現 ■10^-12Pa･m3/sの高感度と長時間の使用に対しても高い安定性を実現 　最小可検リーク10^-13Pa・m3/sのモデルもラインアップ ■耐久性を重視した堅牢設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器

キャパシタンスゲージ『M-342DG』は、高精度で安定した圧力測定、 最小限のゼロ点調整頻度を実現した隔膜真空計です。 質量は200g、サイズはW46mm×H49mm×L106mmと軽量でコンパクト。 圧力センサ部に新開発の小型シリコンMEMSチップを採用し温度や振動、 気圧変動などの外部環境から受ける影響を最小限に抑えました。 【特長】 ■高精度で安定した圧力測定 ■優れたゼロ点安定性 ■温度依存性が低く、優れた安定性を温度調整機構なしで実現 ■優れた対振動ノイズ性能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他半導体製造装置

ピラニゲージ『M-350PG』は、大気圧から測定できる手軽さと、高い コストパフォーマンスを併せ持つ用途の広いピラニ真空計です。 低・中真空領域の測定用として、各種システム搭載用として、食品、 自動車、医薬品をはじめ、様々な産業でご使用いただけます。 【特長】 ■再現性がよく低価格 ■5×10^-2Paから大気圧 ■低・中真空領域の測定に好適 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器