プレテック　静岡製作所の製品・サービス一覧

当社が提供する「ラジカル洗浄ユニット」は、独自の深紫外LED発光体を採用し、 オゾン水などの洗浄液からOHラジカルを効率良く生成できるコンパクトな製品です。 UV-C照射によるオゾン水分解技術により、高純度洗浄を求める微細加工工程において、 有機汚染物やフォトレジスト残渣の除去、金属汚染の抑制などに貢献します。 接液部は合成石英で構成されており、クロスコンタミを防止。 水銀を使用しないLED仕様で、長期間にわたり安定運用が可能です。 デモ機も用意しておりますので、ご希望の方はお気軽にご連絡ください。 【特長】 ■コンパクトサイズで省スペースに設置 ■リニアな発光制御が可能 ■環境負荷を抑えつつ高効率な洗浄が可能 ■半導体製造、医療機器、食品加工など応用分野が広い ■ユニット内部の分割制御により、劣化時のフィードバック設定が可能 ■フォトマスクなど金属膜酸化防止プロセスに適応 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

• その他洗浄機

近接メガソニック洗浄ユニット「PA10-Q60AE-S」は、 1.0MHzまたは3.0MHzの高周波音波を基板へ直接照射し、 微粒子や残渣を非接触で効率よく除去できる洗浄ユニットです。 独自の液供給システムを備え、基板外周部まで均一な洗浄エリアを確保。 液体の飛散やエネルギー損失を抑え、微細構造を持つ半導体ウェハーや フォトマスク基板の精密洗浄に適しています。 本体は高純度石英製で、低発塵かつ耐薬品性に優れ、強酸・強アルカリ薬液との併用洗浄にも対応。 基板直上照射方式のため枚葉洗浄装置との相性が良く、プロセスごとに柔軟な設計が可能です。 【用途】 ・半導体ウェハーの微粒子除去 ・フォトレジスト剥離後の残渣洗浄 ・TSV・MEMS構造、成膜後、CPM後の洗浄　など ※使用感を確認できるデモユニットもご用意しています。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 超音波洗浄機

ソニックチェッカー（PT-VM02）は、半導体洗浄装置や部品洗浄向けの洗浄槽の保守・点検・経年劣化管理に適した超音波音圧センサーです。 片手で持てる最軽量ハンディタイプながら、20kHz～8MHzの広帯域に対応。 半導体洗浄槽に対してクロスコンタミを防止し、独自の検出アルゴリズムを採用して 従来の検出器では難しかった微細な超音波エネルギーの検出を可能にしてます。 【主な用途】 ■洗浄槽の日常管理、経年劣化管理 ■洗浄装置の性能比較 ■キャビテーション強度の評価 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。 ※使用感を確認するデモ機もご用意しております。

• その他計測・記録・測定器

『LEOユニット PT-0878LEO』は、コンパクトな設計と紫外線の 局所的な照射を実現し、小流量でのプロセス処理を可能にした 赤外線(UV)LEDハイパワー洗浄ユニットです。 水銀ランプと比較して長時間のランニングを実現。オゾン水への深紫外光を 組み合わせて、高効率なOHラジカルを発生し、有機物助教に貢献します。 ウイルスなどへの高い殺菌力から医療分野、食料品分野での活用も 期待される製品です。 【特長】 ■脱水銀社会に向けて、深紫外LEDを搭載した洗浄液処理ユニットを実現 ■水銀ランプと比較して長時間のランニングを実現 ■コンパクトな設計と紫外線の局所的な照射を実現し、小流量での 　プロセス処理を実現 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 紫外線・オゾン応用殺菌システム・装置

『ソニックチェッカー PT-VM02』は、片手で手持ち可能な小型アンプを採用し、 安定な使用感を実現した音圧計です。 7セグLED表示として数値の見やすさ向上し、検出値に対しても オートレンジ機能搭載で微弱な音圧でもしっかり表示。 周辺のノズル対策済みで安定的なアナログ出力方法を実現しました。 また、デュアル電源方式として、使い方に応じてACアダプタと電池方式を 切替選択することができます。 【特長】 ■センサー部が石英製を選択可能で洗浄液の汚染がない ■片手で手持ち可能な小型アンプを採用し、安定な使用感を実現 ■7セグLED表示として数値の見やすさ向上し、検出値に対しても 　オートレンジ機能搭載で微弱な音圧でもしっかり表示 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。 ※使用感を確認するデモ機もご用意しております。

• その他計測・記録・測定器

『近接型メガソニック PA10-Q60AE-S』は、ノズル先端より1.0MHzまたは 3.0MHzの音波を照射する洗浄ユニットです。 低出力領域からリニアリティーの高い発振が可能。基板直近での洗浄するため、 サブミクロンのパーティクルが除去できます。 空振り防止機能保有する液供給を可能とし、基板への振り切り動作も可能で 基板全体への再現性の高い洗浄を実現します。 【特長】 ■ノズル材質は石英のため低発塵で薬液に耐久性がある ■ノズル先端より1.0MHzまたは3.0MHzの音波を照射 ■低出力領域からリニアリティーの高い発振を可能としている ■基板直近での洗浄するため、サブミクロンのパーティクルが除去できる ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 超音波洗浄機

当社では、先端の超音波テクノロジーで、さまざまな精密洗浄を サポートする「ウルトラソニック洗浄ユニット」を取り扱っております。 超音波発振器は高性能トランジスタを採用し、用途に合った出力と周波数を 選択可能な「ウルトラソニック」と、超音波による定在波の波長を連続的に 変化させ超音波エネルギーの強弱を完全にクリアーする「スイープソニック」 をラインアップ。 ご用命の際は当社までお問い合わせください。 【ウルトラソニック 特長】 ■超音波の液共振により発生するキャビテーションでパーティクルを除去 ■超音波発振器は高性能トランジスタを採用し、用途に合った出力と 　周波数を選択可能 ■シリコンウェハー、磁気ディスク、レンズ、カセット(キャリア)等 　1μ以上のパーティクル除去に効果的 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 超音波洗浄機
• その他洗浄機

当社では、750kHzを使用したバッチ式洗浄ユニットをはじめとする 「ファインシリーズ洗浄ユニット」を取り扱っております。 「ファインソニック(バッチ式洗浄ユニット)」は、特殊型振動素子により 効率よく音波を伝搬させワークにダメージを与えずにサブミクロンの パーティクルを除去。 その他、シリコンウェハー、フォトマスク等の洗浄に適した「ファインジェット (スプレー式洗浄ツール)」や、1.5MHzの音波をのせた超純水を噴射し洗浄する 「ファインスコール(シャワー式洗浄ツール)」をご用意しております。 【特長】 ＜ファインソニック＞ ■750kHzを使用したバッチ式洗浄ユニット ■特殊型振動素子により効率よく音波を伝搬させワークにダメージを 　与えずにサブミクロンのパーティクルを除去 ■シリコンウェハー、フォトマスク、磁気ディスクの洗浄に適している ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 超音波洗浄機
• バッチ式洗浄機
• スプレー洗浄機

「精密洗浄装置」は、さまざまな精密部品・製品の洗浄工程で幅広く 導入されている信頼性の高いシステムです。 タッチパネルなどの採用により、操作性・安全性・メンテナンス性がさらに向上。 またシステムの随所にハイグレードなパーツを使用して完成度を高めています。 洗練された超音波洗浄ユニットにより、スーパークリーン洗浄を実現します。 【用途】 ■CD/LDマスターディスク ■プラスチックレンズ・光学レンズ ■メモリーディスク・アルミ/ガラス ■液晶TFT/CF ■ケース/カセット ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 超音波洗浄機
• オゾン発生装置
• その他洗浄機

当社では、メモリーディスク、液晶ガラスの洗浄に大きな効果を発揮する 「ディスク洗浄装置」を取り扱っております。 カセットレス方式の採用で洗浄能力の向上と省エネルギー化を実現。 バッチ洗浄部は当社のバリエーション豊富な超音波洗浄ユニットから 用途に合わせて選択でき、適切な周波数でダメージを与えずに パーティクルを除去できます。 【特長】 ■カセットレス方式の採用によりバッチ洗浄とブラシ洗浄が一つの装置で可能 ■ブラシ洗浄部はサンドスクラブ方式のため両面同時洗浄が可能 ■バッチ洗浄ユニットとブラシ洗浄ユニットの組み合わせは自在 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 超音波洗浄機
• バッチ式洗浄機
• その他洗浄機

「カセットレス洗浄装置」は、ロボット搬送がスムーズでチッピングが 生じない、大幅なランニングコストの低減が可能な製品です。 ファインソニック(高周波発振器/振動子)を使用。ダメージを 与えることなくパーティクルの除去が可能です。 数々のスーパークリーンテクノロジーを採用し、洗浄におけるカセットの 問題点をすべて解決します。 【特長】 ■カセット接触部の洗浄ムラも解消 ■少ない槽内薬液量で、よりいっそうクリーンに ■消費電力を大幅にカット ■槽間移動時の薬液量を少量化 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 超音波洗浄機
• バイオ関連製品 洗浄装置

ウェハー横置き、枚葉式ファインジェット方式の採用で高い洗浄能力を 実現する「スピンソニッククリーナー」をご紹介いたします。 サブミクロンのパーティクルまでも取り除くことができ、さらに工程数を カットし、薬液管理およびヒーターが不要に。 洗浄時間の短縮、ランニングコストの節約などを可能とするすぐれた パフォーマンスを発揮します。 【特長】 ■薬液対応ファインジェット＆400kHzファインジェットにより高い洗浄能力を実現 ■非接触洗浄(ブラシレス洗浄)によりメンテナンスフリーとダメージレスを実現 ■1ステージで各洗浄・乾燥工程を可能に ■完全常温プロセスのためヒーターを必要とせず、消費電力を大幅にカット ■機能別のユニット構成により設置面積のコンパクト化と 　自由度の高いレイアウトを実現 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 超音波洗浄機
• バイオ関連製品 洗浄装置

『ファインソニック』は、均一な音圧を実現できる洗浄ユニットです。 1W刻みの安定した出力調整が可能。各種ウエハー基板洗浄や 各種フォトマスク、磁気ディスクなどに適しております。 また、最大出力アップで洗浄エリアの拡大に貢献します。 ご用命の際は、当社までお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■均一な音圧を実現 ■多彩な周波数を選択可能[750kHz/(1000kHz)/(1500kHz)/2000kHz] ■微細な出力調整：1W刻みの安定した出力調整可能 ■最大出力アップ：洗浄エリアの拡大 ■通信機能：発振器状態の監視、外部設定(PT-150MV) ■各種規格対応(FCC,CE,RoHS) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他 洗浄装置

『ファインスコール』は、FPD用基板洗浄や各種ウエハー基板洗浄などに 適した洗浄ユニットです。 洗浄幅は160mmから2210mmまでラインアップ。 きめ細やかなサイズバリエーションをご用意しております。 また、最大出力アップで、洗浄エリアの拡大及びコストダウンに貢献します。 ご要望の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■きめ細やかなサイズバリエーション ■洗浄幅は160mmから2210mmまでラインアップ ■微細な出力調整：1W刻みの安定した出力調整可能(PT-150MV) ■最大出力アップ：洗浄エリアの拡大及びコストダウン ■通信機能：発振器状態の監視、外部設定 ■各種規格対応(FCC,CE,RoHS) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他 洗浄装置

『ファインジェット』は、多彩な周波数を選択可能な洗浄ユニットです。 低出力から高出力までの安定した発振で枚葉洗浄の幅広いニーズに対応。 各種ウエハー基板洗浄や磁気ディスク、ウエハーのCMP後洗浄などの 用途に適しております。 また、耐薬品、メタルコンタミネーションフリーといった多彩なノズル バリエーションがございます。 【特長】 ■微細な出力調整：1W刻みの安定した出力調整可能(PT-010J50) ■多彩な周波数を選択可能(400kHz/1500kHz/3000kHz) ■多彩なノズルバリエーション：耐薬品、メタルコンタミネーションフリー ■検出機能強化：振動子劣化を検出可能(PT-010J50) ■通信機能強化：発振器状態の監視、外部設定(PT-010J50) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他 洗浄装置