LCの製品・サービス一覧

当製品は、キャリアレスとキャリアタイプをラインアップした 「多槽式ウェハ洗浄装置」です。 キャリアレスタイプは高清浄度な洗浄に対応し、薬液や純水の 使用量とフットプリントを大幅に削減。キャリアタイプは1バッチ の搬送カセット数を1または2カセットから選択できます。 酸系薬液用処理、アルカリ系薬液用処理、有機系薬液用処理の 各プロセスによる装置構成が可能です。 【多槽式キャリアレスの特長】 ■ワークサイズは、6インチ、8インチ、12インチウェハに対応 ■キャリアレス搬送により成膜前洗浄などの高清浄度な洗浄に対応 ■薬液や純水の使用量を大幅に削減 ■フットプリントを大幅に縮小 ■乾燥はIPA乾燥、温水引き上げ・IR乾燥、マランゴニ乾燥から選択 ■ローダー、アンローダーはカセットまたはFOUPに対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他表面処理装置
• その他半導体製造装置

「枚葉式スピン洗浄装置」は、超音波スプレーノズル、二流体スプレー ノズル、高圧JETノズル、オゾン水なども搭載可能で、用途に合わせた 処理が可能な製品です。 ワークサイズは、2インチ～12インチウェハに対応します。 また500mm角までの角基板にも対応可能(要ご相談)。 酸系・アルカリ系・有機系の各プロセスモジュールによる 装置構成ができます。 【特長】 ■多彩なチャンバー形態で、様々なプロセスニーズに対応 ■ワークサイズは、2インチ～12インチウェハに対応 ■500mm角までの角基板にも対応可能(要ご相談) ■酸系、アルカリ系、有機系の各プロセスモジュールによる装置構成が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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