【仕様】 ■撮影対象寸法：W150mm×H150mm×D150mm 以下のワークサイズ ■ステージ外観寸法：W600mm×H550mm×D400mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 画像処理機器

【機能】 ■電気測定：順方向電圧、電流 ■エネルギー測定：カロリーメーター、放射束、光束 ■分光スペクトル測定：シグナルレベル、ピーク波長、ビーム幅、半値幅 ■色測定：色度、主波長、相関色温度、演色指数、SDCM ■温度測定：周囲温度、LD温度 ■分類値設定、信号出力機能、データー保存機能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• ソフトウェア（ミドル・ドライバ・セキュリティ等）

【機能】 ■LEDアセンブリモジュールに印加する電圧・電流の条件設定 ■電気特性/光学特性などの計測項目の設定 ■検査データの判定機能 ■検査対象物(ワーク)の分類排出に関する条件設定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• ソフトウェア（ミドル・ドライバ・セキュリティ等）

【装置構成】 ■赤外線顕微鏡本体 ・対物レンズ：5x､10x､20x､50x(オプション：100x） ■赤外線カメラ400万画素 ■デスクトップパソコン又はノートパソコン ■取り扱い説明書 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他顕微鏡・マイクロスコープ

【装置構成】 ■赤外線顕微鏡本体　対物レンズ　5ｘ、10ｘ、20ｘ、50ｘ、(100ｘ：オプション） ■赤外線カメラ130万画素 ■検査用パソコン 又はノートパソコン ■取り扱い説明書 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他顕微鏡・マイクロスコープ
• 電子顕微鏡

【その他機能】 ■アライメントマークずれ ■自動アライメント機能 ■カセットtoカセット搭載可能 ■ロボットによる自動供給、搬出 ■オフラインソフトウエアにより欠陥部の机上での確認も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他検査機器・装置
• 欠陥検査装置

【特徴】 ○検出画像を保存可能 ○画像オートフォーカス ○自動計測ソフトウェア(ＯＫ,ＮＧ判断機能付き)

• 光学顕微鏡
• 欠陥検査装置

VCSELの観察を行う際に鮮明な画像が得られないケースは多々ありますが、その画像を照明光の波長を変化させることとエンハンサソフトを使用する事でで鮮明に表示する事が可能です。酸化部の寸法計測、面積計算も可能です。

• 半導体検査/試験装置
• その他画像関連機器
• その他光学部品

【特徴】 ○ウエハー用OCR装置 ○特許取得新照明による高読取性能 ○簡単な接続・取付 ○Web GUIを利用した簡単なオペレーション ○RS232CとEthernet接続が可能 【仕様】 ○横置き、縦置きのマウント可能 ○ワーキングディスタンス：40mm、 ○光学倍率：OCR、２DID、バーコード ●詳しくはお問い合わせください。

• その他半導体製造装置
• 画像処理機器

・寸法　大　W1000×D600×H450 　　　　中　W 600×D320×H332 　　　　小　W 400×D320×H290 ・材質　　　　アルミニウム ・表面処理　　つや消し黒塗装 ・入出力端子　BNCコネクタ×2、バナナコネクタ×2 　　　　　　 丸形4芯MSコネクタレセプタクル×1

• その他実験器具・容器
• その他計測・記録・測定器
• キャビネット

【特徴】 ○USBインターフェースでノートパソコンに接続 ○リアルタイムで放射能強度を表示 ○フォトマルを使用した本格的な線量計でガンマー線を高感度計測 ○本体サイズ：２００ｍｍX１５０ｍｍX４０ｍｍ ○使用電源：AC１００V ○構成：本体・ノートパソコン・USBケーブル・リアルタイム計測ソフトウエア ●詳しくはお問い合わせください。

• 放射線測定器

【特徴】 ○シンチレーター方式のX線用ラインセンサーカメラ ○カメラの画素数は320pixから3840pixまで対応可能 ○ラインスピードは最大40m/minまで対応可能 ○パソコンへはカメラリンクで接続 【仕様】 ○X線感度範囲：25ｋV～160ｋV ○検出素子ピッチ(mm)：0.2/0.4/0.8 ○検出幅(mm)：256/512/768 ○検出画素数(pixel) →検出幅256mmタイプ：1280/640/320 →検出幅512mmタイプ：2560/1280/640 →検出幅768mmタイプ：3840/1920/960 ○対応ラインスピード：0.2mm：4～10m/min、0.4,0.8mm：4～40m/min ○A/D変換：12bit ○データ出力I/F：Camera Link (Basic Configration) ○外形寸法(mm)、全重量 →W290×H40×D150、4.5kg →W545×H40×D150、8.3kg →W800×H40×D150、12.2kg ●詳しくはお問い合わせください。

• ハイスピードカメラ
• X線検査装置

【特徴】 ○ウエハー用OCR装置 ○特許取得新照明による高読取性能 ○簡単な接続・取付 ○Web GUIを利用した簡単なオペレーション、自動学習よる高速処理(1GHｚ以上) ○RS232CとEthernet接続が可能 【仕様】 ○横置き、縦置きのマウント可能 ○ワーキングディスタンス：40mm、 ○光学倍率：OCR、２DID、バーコード ●詳しくはお問い合わせください。

• その他半導体製造装置
• 画像処理機器

【特徴】 ○今まで目視にて行なっていた顕微鏡検査を自動化、定量化 ○検出画像を保存可能 ○検査結果をマップ表示可能 ○画像オートフォーカス ○欠陥検出ソフトウェア(ＯＫ,ＮＧ判断機能付き) ○ティーチングプレイバック動作 →一度教えたステージ動作を繰り返し動作 ○赤外線カメラを使用しており、赤外光がシリコンを透過する原理を利用 →非破壊検査が可能 ●詳しくはお問い合わせください。

• 光学顕微鏡
• 欠陥検査装置

【特徴】 ○対象ワーク →透明フィルム　標準幅100mm（分解能により10～500mm対応可） ○検査項目 →異物、気泡、キズ、その他フィルム上の欠陥、ピンボール、筋ムラ等にも対応可能 ○検査時間 →標準送り速度　10m/min Max15m/min可（視野100mm時、視野 約100mm） ○検査精度 →標準分解能　25μm（7～100μm：検査幅による） →検出可能最小欠陥　分解能の3倍 ○欠陥処理 →サイズ分別、サイズごとの係数、データ表示 ○装置構成 →画像処理装置　DITLCCD5000 →照明装置　アパーチャ・透視照明 →カメラ　5000pix　ラインセンサーカメラ →レンズ　約0.5倍　WD＝300ｍｍ ○ソフトウェア →スタートボタンにより自動的に検査をスタート →フィルム上にＳ、Ｍ、Ｌの欠陥がそれぞれいくつあるかを表示 ○カスタムオーダー →装置の性能・機能およびユーザーインターフェイス等の仕様はご希望に対応可能 →合わせて搬送装置の製作も承ります ○ＣＥマーキング取得可能 ●詳しくはお問い合わせください。

• 光学測定器
• 外観検査装置
• 欠陥検査装置

【特徴】 ○マルチダイスLEDの欠損及び低輝度品を高速に検出 →目視ではまぶしくて見えない、マルチダイスLEDモジュールの 　チップ欠損及び低輝度チップを高速ラインセンサーカメラにて検出 ○簡単に高精度な検査が可能 →LEDモジュールを検査台に載せてスタートボタンを押すだけ ○UVLEDにも対応 ○対応ワークサイズ：５０ｍｍX５０ｍｍ（客先仕様に対応します） ○対応可能LEDモジュール：白色他可視色、UV ○検査時間：１SEC/個 ○使用カメラ：１０２４pix　ラインセンサーカメラ ○外部入出力：10Base100 ○その他：汎用DIOを搭載可能 ○使用電源：AC１００V（５０Hz/60Hz) ●詳しくはお問い合わせください。

• 光学測定器
• 外観検査装置
• 欠陥検査装置

【特徴】 ○読出し信号10electoronicsと微小な光に反応 ○電子冷却FFT－CCDを使用しているため、ローノイズでコンパクト ○超高感度であるため、オンライン測定などの高速計測が可能 ○色計測ソフトウェア、膜厚解析ソフトウェアを用意 ○分光ユニットを使用したハード、ソフト、機構部のトータルシステムに対応 ○インターフェースはUSBタイプ、E-therタイプ、SCSIタイプ ○LED発光用外部出力端子付き ●詳しくはお問い合わせください。

• 分光分析装置

新旧文書をソフトウエアで自動比較します。 複数のルールを設定する事により段落の入れ替えチェックや改訂ルールの整合性チェック等を行う事ができます。 比較結果は画像表示と改訂リストとして出力します。 多言語に対応しています。 カスタマイズ対応できます。

• 内部統制・運用管理
• その他セキュリティ・監視システム
• その他

分光器を用いて高速で部品の色計測を精密に行い、異なった色の混在や微小な色の変化を検出してOK・NG判定をするインライン検査装置です。 約30色の色判定が可能です。

• 画像処理機器
• 外観検査装置
• 欠陥検査装置

レンズに発生する各種欠陥（擦り傷、異物など）を弊社独自の画像処理方法を用いて検出する自動検査装置です。 曲率の変化に対応しパラメータを変更するだけで検出が可能となります。

• 画像処理機器
• 外観検査装置
• 欠陥検査装置

ホロライトはコンパクトなキューブ型筐体からホログラム再生に理想的な低発熱、大面積、高輝度、高指向特性を持つＬＥＤ照明光を発生します。ホロライト背面にあるリアボールの前後移動による照明領域及び拡がり角度の調整、停消費電力による長時間の乾電池駆動、軽量アルミボディの採用により様々な空間で御使用になれます。

• 半導体検査/試験装置
• 画像処理用照明
• その他光学部品

MEMSに於いて赤外線でウェーハ裏面の観察を行う際に鮮明な画像が得られないケースは多々ありますが、その画像をエンハンサソフトで鮮明にする事が可能です。傷や異物の寸法計測も可能です。

• 半導体検査/試験装置
• その他画像関連機器
• その他光学部品