【その他特長】 ■作業モードと警報をLCD表示 ■ローラー圧力、チャック温度、マウント速度を簡単に入力指示 ■テープの交換が短時間 ■停止時間が最小 ■UVテープ用保護テープ回収可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【ラインアップと特長】 ■7122 ・前面装着の2"エアベアリングスピンドル、60krpmで1.2KWまでDCブラシレスモータで閉回路速度制御を行う ・2"～3"ハブ及び円形ブレードと互換 ・8"×8"製品までカバー ■7132 ・前面装着の2"エアベアリングスピンドル、60krpmで1.2KWまでDCブラシレスモータで閉回路速度制御を行う ・2"～3"ハブ及び円形ブレードと互換 ・12"までの円形製品、フレーム付きの12"×9"角型サブストレート或はフレームなしの12"×12"チャックまでカバー ■7124 ・4"高出力エアベアリングスピンドル、30krpmで2.5KWまでDCブラシレスモータで閉回路速度制御を行う ・4"及び5"の円形ブレードと互換 ・8"×8"製品までカバー ■7134 ・4"高出力エアベアリングスピンドル、30krpmで2.5KWまでDCブラシレスモータで閉回路速度制御を行う ・12"円形製品或はフレーム付き12"×9"角型材料或はフレームなし12"×12"チャックをカバー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他の特長】 ■ロード・アンロードが簡単 ■メンテナンスが容易 ■モニターは回転式、調整可＋USBハブ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【可能な傾斜ダイシング】 ■プレーナーウエーブガイド ・Si、Silica-on-Silicon ・Polymer on Si ・InP ・GaAs ■ファイバーウエーブガイド ・LiNbO3 ・Fused Silica ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他の特長】 ■自動カーフ検査により歩留まり向上 ■自動Y軸矯正で最大の精度を保証 ■テープ表面検査で一定のカット品質を保証 ■タッチスクリーンユーザーインターフェイス ■オプション ・破損ウェーハ認識、テープ表面検知、先進の多倍率映像装置 ・硬質及び厚い用途に強力スピンドル、特殊チャック、ドレスステーション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【光学性能】 ■高度な連続画像拡大機能 ■壊れたブレード検知機 ■研磨機内蔵 ■各種ポーラスセラミックチャック（4",5",6",or8"） ■高出力スピンドル ■バーコードリーダ ■ダイシングフロアー管理システム（DFM） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【応用例】 ■QFN（銅＋エポキシモールド）：45μm、53μm、63μm、75μm、88μm、105μm ■ハイブリッド基板とセラミックパッケージ（アルミナ）：30μm、45μm、53μm、63μm、88μm ■ソーデバイス（LiTaO3＆LiNbO3）：15μm、20μm、30μm ■ソーデバイス（石英）：25μm、30μm、35μm、45μm ■テープヘッド（フェライト）：6μm、9μm ■コミュニケーション（ガラス＋シリコン）：20μm、25μm、30μm ■光デバイス（ガラス）：3μm、6μm、9μm ■ファイバーオプティクス（ガラス）：25μm、30μm、35μm、45μm ■オプティカルスプリッター（石英）：25μm、30μm、35μm、45μm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【応用例】 ■PCB/LEDパッケージ（FR4およびBTレジン）：10μm、13μm、17μm ■BGA（FR4およびエポキシーモールド）：30μm、50μm ■マルチレヤーキヤパシター（グリーンセラミック）：30μm、50μm ■超音波センサー・マイクロポジショナー（PZT）：6～8μm、10μm ■テープヘッド（フェライト）：3～6μm、10μm、13μm ■磁気ヘッド（TIC）：3～6μm、10μm、13μm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【ラインアップ】 ■7222 ・2"エアベアリングスピンドル、60krpmまで可能なDCブラシレスモーター ・2"-3"ハブと環状ブレードと互換 ・8"までの円形製品に対応 ■7223 ・2"高出力（2.4KW）エアベアリングスピンドル、60krpmまで可能なDCブラシレスモーター ・2"-3"ハブと環状ブレードと212mm×142mmまでの矩形製品に対応 ■7224 ・4"高出力（2.5KW）エアベアリングスピンドル、30krpmまで可能なDCブラシレスモーター ・4"と5"ハブの環状ブレードと互換 ・8"までの製品に対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他の掲載内容（一部）】 ＜ハードウェア改善項目＞ ■工業用PC -頑丈で固定化仕様、ウインドウーブロック ■大型バキュームキャニスターでエア消費量30%削減 ■ターンテーブルは高トルクで高精度(1ミクロン) ■ドレスステーションは迅速交換で各種厚さ支援 ■NCH位置移動、汚染最少化 ＜ソフトウェアの新機能＞ ■Mil 8 (Matrox Imaging Library)に切換 ・画像解析のソフトウェアツールによって画像性能を改善 ■オートフォーカス ・カーフチェック及び一般検査を支援 ■アイポイント検出の前処理 ・生のデータを理解可能な形式と明解な画像に変換するデータマイニング技術を用いる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【主な機能】 ■循環容量　20リットル/分 ■微細ろ過　0.02ミクロン以下 ■ろ過フィルターは自己洗浄 【好適応用】 ■水圧変化が悩ましい ■温度変化が困る ■保守費用が高い ■環境規制が厳しい ■環境維持が注目される ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他の特長】 ■LCD入力表示 ■経済的 ■ユーザインターフェイス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【主な機能】 ■エアベアリング送り軸（X） ■高い精度を得るための自動カーフ検査と品質分析 ■プロセスデータロギングと統計解析 ■ロックスピンドル軸による高速＆シンプルなブレード交換 ■SECS/GEMプラットフォーム対応 ■システムのすべての領域にフルアクセス可能

【応用例】 ■PBGA（FR4及びレジン）：40μm、45μm、50μm、55μm ■磁気ヘッド（TiC）：3～6μm、10μm、17μm ■光センサーコミュニケーション（ガラス）：15μm、17μm、20μm、25μm、30μm、45μm ■LTCC（ソフトアルミナ）：20μm、25μm、30μm、35μm ■QFN（銅＋エポキシーモールディング）：70μm、80μm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。