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・低床構造 ・位置決め安定性±2nm ・速度リップル±0.1%@100mm/s ・高い幾何学的精度 ・機器の状態監視をする「スマートモジュール」搭載可能 ・ワンストップサービス ・カスタム対応可能
○ 詳細はカタログをご覧になるか、お問合せください。
【展示会情報】 展示会名：JIMTOF2024 会期：11月5日（火）～ 10日（日） 会場：東京ビッグサイト ブース番号：西ホール W2051 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問合せ下さい。
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■半導体製造装置向け製品を、オールインワンでご提供 コンポーネントにとどまらない、サブシステムもご提供可能です。 中でも、ウエハ搬送ロボットは当社製DDモーターや高剛性クロスローラーベアリングを搭載。 主要コンポーネントは当社製品でカバーし、高性能とリーズナブルを両立します。 ■手厚い技術サポート 神戸と東京に、ものづくり支援の拠点として「ロボット技術センター」を構えています。 実証実験や、ボトルネックになりがちなPoC概念検証を当社技術担当者がサポート。 ティーチングやサンプルプログラムの提供、保守メンテナンス担当者には法令に則った特別教育を受講いただくことも可能です。
産業全体の課題である自動化・省力化に。 ■豊富な製品群をオールインワンでご提供。 産業用ロボットの重要部品を当社製でカバーすることで、コスト削減を実現。 さらにユニットやシステムでの納入で、購買や組立、品質保証、生産管理など、できる限りの点で貴社の工数削減をご提案します。 ■手厚い技術サポート 神戸と東京に、ものづくり支援の拠点として「ロボット技術センター」を構えています。 ボトルネックになりがちなPoC概念検証から自動化システムの導入まで、当社の技術担当者がサポート。 ティーチングやサンプルプログラムの提供、保守メンテ担当者には法令に則った特別教育を受講いただくことも可能です。 ■半導体製造装置向けサブシステムも 当社製DDモーターや高剛性クロスローラーベアリングを搭載したウエハ搬送ロボットのほか、EFEM、ウエハアライナー、ナノレベルの超精密ステージなどもラインアップ。 高い技術力を要する半導体製造装置向けサブシステムも当社で揃います。
■コスト削減 オイルの使用とメンテナンス頻度を抑えコストを削減します。 ■クリーンで環境にやさしい クリーン環境に最適な低発塵構造です。 ■容易なメンテナンスで長期間使用可能 ほとんどの用途において、メンテナンスはほぼ必要ありません。 ■柔軟な取付け 取付方法に制約がなく、任意の方向に潤滑することができます。 ■容易な取外し ブロックが機械に組付けられていても、カートリッジの取外しが容易に行えます。 ■さまざまな潤滑材に対応 交換式のカートリッジには、さまざま使用環境に応じていずれかの承認済み潤滑油を再充填することができます。 ■特殊環境対応 粉塵が多い環境、もしくは水にさらされるような環境でも、自己潤滑装置により良好な潤滑効果が期待できます。 ○ 詳細はカタログをご覧になるか、お問合せください。 リニアガイドウェイカタログ内に詳細がございます。
■悪環境下での使用 ステンレス鋼を使用しており、高湿度環境や耐食性が要求される環境での使用に適しています。 ■互換性 ステンレス鋼シリーズと炭素鋼シリーズは、外観とねじ寸法が同じため、直接置換えることが可能です。 ○ 詳細はカタログをご覧になるか、お問合せください。
エアシリンダーを電動アクチュエーターに1台置き換えるだけで、 ・年間CO2排出量 416.7kg 削減！ ・年間消費電力 928kWh 削減！ ・年間電気代 18,226円 削減！ ※本ページ掲載の数値は当社での実験における測定値から算出していますが、 その正確性や再現性を保証するものではありません。 ご使用の環境や条件により電力消費量が異なる場合があることをご承知おきください。
・8インチ、 12インチのFOUP/FOSBにダイレクトに対応。 ・製品のクリーン度はClass 1。 フォトリソグラフィー、エッチング、CVD、PVD、洗浄、検査等、さまざまな半導体プロセス装置でご使用いただけます。 ・関連する安全規制に準拠して、システムは緊急停止機能を提供し、電気制御システム、感知システム、真空システムなどのさまざまな機能モジュールをリアルタイムで監視。 ユーザーに最も包括的で安全な保護を提供いたします。 ・ボールねじ、リニアガイドウェイなどのウエハロードポートの主要コンポーネントは、すべて当社で開発および製造。 ソフトウェアとハードウェアの垂直統合により、ユーザーのニーズに応じてカスタマイズも可能です。
■4方向超高剛性 CRGシリーズリニアガイドウェイは、ボールをニードルローラーとし、ローラーとレールとブロックが線接触方式なので、ローラーが高負荷を受けた状態でも変形は微量です。リニアガイドの剛性値を大幅にアップし更なる高精度加工を維持できます。 ■長寿命 点線接触のローラーは力を分散せることで、接触応力を大幅に低減。線接触のローラーを採用するこ長寿命化を実現しました。 ■カバーストリップ レールの防塵は標準レールキャップの他、オプションカバーストリップをご選択いただけます。 【ブロック形状は3種】 W：フランジ H：スクエア L：スクエア（低） ○ 詳細はカタログをご覧になるか、お問合せください。 リニアガイドウェイカタログ内に詳細がございます。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
※詳しくは各製品のPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問合せ下さい。
【特長】 ■3.2kHz速度応答 ■チューニング不要 ■自動チューニング機能 ■リップル補正機能 ■ガントリー制御 ■ネットワーク接続機能 ■各種モーターをサポート ■安全トルクオフ(STO)機能 ■様々なエンコーダーをサポート ■デジタル、アナログ、Tamagawa、EnDat、BiSS-C ■200V~240Vac/380~480Vac 電源入力 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問合せ下さい。
・2-12インチ対応のラインアップ ・最短4.9秒以内のウエハアライメントが可能 ・ウエハの中心や角度等の補正動作と同時に、繰返し精度±0.1ｍｍの実現が可能 ・クリーン度Class 1
【特長】 ■高速 ■高分解能 ■高精度位置決め ■簡単で良好な操作性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問合せ下さい。
※詳しくは各製品のPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【特長】 ■ 軽量コンパクトで部品点数が少ないシンプル設計 ■ 幅広い減速比ラインアップ（1/50、1/80、1/100） ■ ゼロバックラッシュで高い繰返し位置決め精度 ■ 専用ソフトウェアを内蔵した高性能ドライバー付
HIWINは、トータルデザイン、材料選択、高度な製造・組立、熟練エンジニアと最新設備とによる総合力でユーザーの様々なニーズに応える高品質なボールねじを提供いたします。 ○ 詳細はカタログをご覧になるか、お問合せください。
詳細はカタログをダウンロードいただくか、お気軽にお問合せください。
【ナットの種類】 ・重負荷型 ・ナット回転式R1
【ナットの種類】 FSI：内部循環こま式・フランジ付 FST：Super Tシリーズ（静音・高DN）・フランジ付 FSC：Super Sシリーズ（静音・高DN）・フランジ付
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小径Φ8～15、各種ナットでご用意しています。 短納期品Φ6～は短納期ボールねじのページをご覧ください。 【ナットの種類】 FSIRSI：内部循環こま式・フランジ付/丸型 FSV/FSWRSV/RSW：外部循環式・フランジ付/丸型 FSB/RSB：チューブ埋込式・フランジ付/丸型 SSV：角型
【ナットの種類】 FSH：エンドキャップ式・フランジ付 FSI：内部循環こま式・フランジ付 FSV/FSW/FDV/FDW：外部循環式・フランジ付 FSB：チューブ埋込式・フランジ付 SSV：角型 O…：オフセット予圧 P…：圧縮予圧
【ナットの種類】 FSI/FDI：内部循環こま式・フランジ付 RSI/RDI：内部循環こま式・丸型 FSV/FSW/FDV/FDW：外部循環式・フランジ付 RSV/RSW/RDV/RDW：外部循環式・丸型 FSB/RSB：チューブ埋込式・フランジ付/丸型 SSV：角型 O…：オフセット予圧 P…：圧縮予圧
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