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ハイウィン株式会社

設立1999年11月
資本金34900万
従業員数170名
住所兵庫県神戸市西区井吹台東町7-4-4
電話078-997-8827
  • 特設サイト
  • 公式サイト
最終更新日:2026/01/09
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半導体サブシステム 半導体サブシステム
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半導体サブシステム

半導体サブシステム

半導体・LED・FPD産業向けに、コンポーネントだけにとどまらないサブシステムをご提案します。 DDモーターなど自社製主要コンポーネントを採用し高性能とリーズナブルを両立したウエハ搬送ロボットや、業界最小クラスのウエハアライナーなどをラインアップ。

HIWINウエハアライナー

高速・高精度・高剛性・高効率、そして省スペースを実現! 2-12インチ対応の【HIWINウエハアライナー】

HPAシリーズは3軸制御のウエハアライナーで、 全てに当社製単軸ロボットモジュールを採用。 高速、高精度、高剛性、高効率、小型化を実現します。 オールインワン設計の内蔵型コントローラーにより、外部コントローラーや配線スペースが不要で、同等仕様で業界最小サイズです。 透明・半透明・不透明物体の輪郭検出が可能なスマート光透過型レーザーセンサーを搭載。 ウエハやガラスなど、 2~12インチまでのワークに対応可能です。

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HIWIN ウエハロードポート

8インチ、 12インチ製品の搬入出に対応した共用型ロードポート。

ウエハロードポートHLPシリーズは、 8インチ・ 12インチ製品の搬入出に対応する共用型ロードポートです。 FOUP/FOSBに直接接続でき、 8インチオープンカセット用のアダプター(8OCA)をオプションで選択可能です。

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HIWINウエハ搬送ロボット【Eシリーズ】

高精度&高剛性! 2-12インチ対応のウエハ搬送ロボット【Eシリーズ】

自社製DDモーターを採用し、高精度&高剛性が特長。 2-12インチウエハに対応。ギアなしで経年劣化が少ない設計、また部品点数も少ないためメンテナンス工数も軽減されます。 高性能とリーズナブルを両立するロボットは、ウエハ搬送にとどまらない、PCBやガラス基板搬送用途のカスタム対応のほか、ロボット自体の搬送軸も仕様に合わせてご提案します。

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『自動化・省力化ソリューションの導入支援』

産業用ロボットの導入からシステム構築までトータルで対応。多彩なロボットやステージで段取り替えや搬送の効率アップ

当社は、機械要素部品とメカトロ製品のメーカーであるアドバンテージを活かし、 産業用ロボットや自動化設備向けステージなどの開発・製造を手掛けており、 『自動化・省力化ソリューションの導入支援』も行っております。 スカラロボットや垂直多関節ロボットによる ピックアンドプレースや組立の自動化など、数多くの実績を持ち、 産業用ロボットだけでなく、減速機やサーボモーターなどの要素部品や モジュール・システムも含めてワンストップでご提供。 神戸と東京にロボット技術センターを構えており、 システム導入を当社技術担当者がサポートいたします。 【2023国際ロボット展(IREX2023)に出展!】 会期中のブースでは、垂直多関節ロボットやスカラロボットなど、 各種産業用ロボットをご覧いただけます。ぜひお立ち寄りください。 日時:2023年11月29日~12月2日 10:00~17:00 会場:東京ビッグサイト 小間:東6ホール E6-16 ※「PDFダウンロード」より当社の産業ロボットなどの資料をご覧いただけます。  お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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『半導体サブシステムソリューション』

半導体製造装置向けのコンポーネントからサブシステムまで、トータルでご提供可能です

当社は機械要素部品からメカトロ製品まで幅広く開発・製造を手掛けています。 半導体産業・FPD産業に適した、ステンレス製リニアガイドウェイ「MGシリーズ」や ボールねじ「Super Sシリーズ」のほか、ウエハ搬送ロボット、 EFEM、ウエハアライナー、ナノレベルの超精密ステージなどもラインアップ。 コンポーネントからサブシステムまで、ワンストップでご提供し、 調達にかかわるコストや工数の大幅削減が実現します。 【SEMICON Japanに出展します】 半導体装置にご使用いただける、ステンレス鋼のリニアガイドウェイや ボールねじなどの機械要素部品、ウエハロボット、ウエハ ロード・アンロードシステムを出展予定です。 ぜひ、お気軽にお立ち寄りください。 日時:2023年12月13日(水)~15日(金) 会場:東京ビッグサイト(小間番号:東2ホール No.2309)

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ナノ精度位置決めステージ【N2ステージ】※リーフレット進呈中

ナノメートル精度のポジショニングステージ。半導体検査装置、半導体製造装置に!

技術要件の厳しい半導体検査装置や半導体製造装置に応える ナノ精度の位置決めリニアモーターステージ。 位置決め安定性は±2nmで100mm/sでの高速安定性は±0.1%。 低床で安定した構造でハイエンドの精密検査装置などに好適。 モーションコントロールとシステムテクノロジーの開発・製造で 培った技術をあますことなく発揮し、これからのものづくりに貢献する高精度ステージです。

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ナノ精度位置決めステージ標準モデル4機種 / カスタム対応可能

ウエハ白色干渉測定、PLP検査、LDI露光機、ウエハ光学検査対応標準モデルをラインアップ

半導体製造の後工程の技術躍進が進む後工程でご活用いただける ナノ精度の位置決めリニアモーターステージです。 技術要件の厳しい半導体検査装置や半導体製造装置に。 標準機投入によりお客様の開発期間を短縮させるソリューションを提供します。 当社では自社製コンポーネントを幅広くそろえており、各部材、技術者をすべて社内で確保できるため、 他社では真似できない設計納期、生産納期を実現します。 <機械要素部品><メカトロ製品><制御技術>の 3 つの要素を備えており、 標準機だけでなくカスタム対応にも柔軟かつ迅速に対応ができます。

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HIWINウエハ搬送ロボット【Aシリーズ】

全ての軸にACサーボモーター採用。2-12インチ対応のウエハ搬送ロボット【Aシリーズ】

自社製の主要部品を搭載。 すべての軸にACサーボモーターを採用しています。 繰返し精度は最大±0.1mmで、2-12インチウエハに対応。 高性能とリーズナブルを両立するロボットは、ウエハ搬送にとどまらない、PCBやガラス基板搬送用途のカスタム対応のほか、ロボット自体の搬送軸も仕様に合わせてご提案します。

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多軸位置決めステージ【MD-ZT】

高速フォーカス・高精度検出、ウエハ反りなどによる焦点誤差を解消!

多軸位置決めステージ【MD-ZT】は、Z軸、Rx軸、Ry軸、Rz軸、およびLift-Zの5軸自由度を、高さ90mmのコンパクトな構造で実現。 従来のZ軸+T軸構成をXYステージに組み合わせる際に発生する、負荷重量の増加や高さの問題を解決します。

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