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半導体サブシステム
半導体・LED・FPD産業向けに、コンポーネントだけにとどまらないサブシステムをご提案します。 DDモーターなど自社製主要コンポーネントを採用し高性能とリーズナブルを両立したウエハ搬送ロボットや、業界最小クラスのウエハアライナーなどをラインアップ。