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【ラインアップ】 ■矩形ベローズシリーズ ・矩形 溶接ベローズ 伸縮変位タイプ ・矩形 溶接ベローズ 取付誤差吸収タイプ ・矩形 折込ベローズ 取付誤差吸収タイプ ・廉価版 矩形 溶接ベローズ（オプション） ■長円形ベローズシリーズ ・長円形 溶接ベローズ 伸縮変位タイプ ・長円形 溶接ベローズ 取付誤差吸収タイプ ・長円形 成形ベローズ 取付誤差吸収タイプ ■自由形ベローズシリーズ ・自由形 溶接ベローズ 伸縮変位タイプ ・自由形 溶接ベローズ 取付誤差吸収タイプ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【LFB その他の特長】 ■優れた耐食性を有する ■Cl2、HBrガスに対しても応力腐食割れを防止 ■高温強度を有する ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【ラインアップ】 ■VPシリーズ ■HPシリ－ズ ■真空パイプパーツ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【ラインアップ】 ■高真空アングルバルブ(16A～65A) ■高真空アングルバルブ(80A～100A) ■高真空ストレートバルブ(16A～63A) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【ラインアップ】 ■IF規格成形べローズ ■CF規格成形べローズ ■IC規格成形べローズ ■KF規格成形べローズ ■KP規格成形べローズ ■PF規格成形べローズ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【特長】 ＜コンパクト溶接ベローズ＞ ■一山あたりのストロークが従来の30％以上アップし、経済性を実現 ■コンパクトで大きい伸縮量が得られる ■バネ反力が小さい ■エンドフィッティングの選択が出来、設計に自由度がある ■Y型エンドフィッティング付は、お客様での溶接が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
IKCでは真空用機器（加速器及び半導体機器等）の配管接続に便利で、かつ柔軟な耐腐蝕性の4種類の真空フレキシブルチューブを規格化しました。なお規格品以外の長さ及びフランジの製作も行っています。 詳細は『ダウンロード』よりご確認ください
【仕様】 ■磁気結合式直進回転導入機は直進方向のストロークを3種類から選択可能 【ラインアップ】 ■MFL-70 ■MFL-114 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【ラインアップ】 ■MFR-34 ■MFR-70 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【ラインアップ】 ■IRC-34 ■IRC-70 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【ラインアップ】 ■ILC34-10 ■ILC34-15 ■ILC34-20 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【ラインアップ】 ■ILD-34M ■ILD-70M ■ILD-114M ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【掲載製品】 ◎直進導入機 ○ベローズ式直進導入機 手動タイプ(ILD-M) ○ベローズ式直進導入機 自動タイプ(ILD-A) ○ベローズ式コンパクト直進導入機(ILC) ◎回転導入機 ○コンパクト回転導入機(IRC) ○高精度回転導入機(IRP) ○磁気結合式回転導入機(MFR) ○ベローズ式シールシャッター(RCS) ◎マルチ導入機 ○磁気結合式直進回転導入機(MFL) ○XYテーブル機構(TSL/TSN) ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
【仕様】 ○使用圧力範囲：大気圧～1×10^-6 Pa ○ヘリウムリーク量 本体：1×10^-10 Pa・m3/s以下 弁板：1×10^-10 Pa・m3/s以下 ○対応差圧力：正圧、同圧、逆圧 ○メンテナンスサイクル：1×10^6 回（弁板 O-Ringは除く） ○材質（弁箱、弁板）：SUS又はA5052 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
高い溶接技術により、仕切りバルブや架台まで含めた複雑な形状の対応が可能
ベローズ式回転導入機を使用した信頼・実績のある機構を採用 超高真空領域まで使用可能 バタフライ式でなおかつシャッター折り曲げ式機構のため、視界が広範囲 回転ロック機構付きで、開度が任意に設定可能 両端コンフラットフランジ（両刃）のため、配管途中に取り付け可能
ベローズ式シール機構 コンフラットフランジをラインナップ XY方向調整のみでなく、角度調整機構付きもラインナップ
中空構造のため、可能フランジに駆動させたものを任意に取り付けが可能 シール部に溶接ベローズを採用し、高真空の領域で使用可能 ベーキング温度120℃(最大150℃まで)対応
サイズ毎に共通なパイプの端部にＮＷフランジが溶接された真空配管です。 ＮＷ１０〜ＮＷ１００までのサイズに対応しています。
【特長】 ■パーティクルフリー ■高いレベルのシール性 ■イージーメンテナンス ■長寿命で高品質 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ＩＫＣの高真空アングルバルブは豊富な実績をもつ成形・溶接ベローズを内蔵した長寿命の真空バルブです。
真空機器（特に半導体製造装置）の各種可動部分及び、 バルブの軸シールに使用するベローズとしてハステロイ (R)C22を用いた成形ベローズを規格化しました。 ■耐腐食性に優れている ・他のNi-Cr-Mo合金に比べて優れた耐食性を有します。 ・Cl2、HBrガスに対しても応力腐食割れを防止します。 ■高温強度を有する ・650℃に於いてSUS316Ｌの常温引張強さ、0.2%t耐力等よりも優れております。 ■長寿命設計可能 ・成形ベローズでの10(６乗)寿命の設計が可能となりました。 ・従来より更に使用時寸法が短くなりコンパクト設計が可能となります 詳細は『ダウンロード』よりご確認ください
金具の付かないベローズ部のみの規格になります。 より長寿命で、よりクリーンなベローズを製造し、即応・即納体制（Quick Response & Quick Delivery）でお届けしてまいります。
ＩＫＣの高真空アングルバルブは豊富な実績をもつ成形・溶接ベローズを内蔵した長寿命の真空バルブです。 超高真空用及び有毒なガス系にも使用可能なＣＦ(コンフラット)フランジ付きです。
強力な永久磁石を用いた磁気カップリング方式の導入機構です。 回転導入と直進回転導入の２タイプをご用意しており、モーター駆動にも対応可能です。
CFフランジ接続及び 端管接続用成形ベローズ ベローズ：SUS316L フランジ：SUS304L
IKCでは真空用機器（加速器及び半導体機器等）の配管接続に便利で、かつ柔軟な耐腐蝕性の4種類の真空フレキシブルチューブを規格化しました。なお規格品以外の長さ及びフランジの製作も行っています。
ＩＫＣの直線(直進)導入機は、高信頼性の溶接ベローズを内蔵し長ストロークを可能にした直線(直進)導入機です。 また、各サイズ共に手動と自動のタイプをご用意致しました。
ＮＷフランジ同士を接続する為に必要な真空配管用クランプ部品です。 ＮＷ１０〜ＮＷ１００までのサイズに対応しています。
JIS真空フランジ付ベローズ ベローズ：SUS316L フランジ：SUS304
コンフラットフランジ付き溶接ベローズです。 より長寿命で、よりクリーンなベローズを製造し、即応・即納体制（Quick Response & Quick Delivery）でお届けしてまいります。
ＩＫＣの高真空アングルバルブは豊富な実績をもつ成形・溶接ベローズを内蔵した 長寿命の真空バルブです。 ◆バルブ材質の真空側は全てステンレス(ＳＵＳ)で構成 ◆コンパクト設計により、小型・軽量化を実現 ◆正圧・逆圧、どちらも０.１５ＭＰaの差圧でも漏れません ◆取り付け姿勢が自由 （特に指定のない場合は、圧力変動の大きい方に弁座が向く取り付け姿勢を推奨しております。） ※詳細は【お問い合わせ】よりどうぞ。
１０世代に対応したバルブです。 安定した性能をもち、納入先のお客様よりご信頼をいただいております。
より長寿命で、よりクリーンなベローズを製造し、即応・即納体制（Quick Response & Quick Delivery）でお届けしてまいります。
【その他の特長】 ■無摺動で装置内を高度なハイクリーン状態に保つ ■シール保持時間が長く、逆圧シールに対し安定したシール性能を発揮 ■お客様からのご要求を反映し、イージーメンテナンスを考慮して設計 ■弁箱付タイプはメンテナンスフランジを上部に設けており、 上部より弁板の脱着が可能 ■100万回のライフサイクルと安定した品質をご提供 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
本ベローズ式回転導入機は高精度回転導入機とコンパクト回転導入機があり、大気側から真空側へ回転運動を伝えるためのユニットです。真空と大気の遮断には金属製の溶接ベローズを用いているので、超高真空領域までご使用いただけます。 回転位置決め精度(無負荷時)が２°±０.５°のコンパクト回転導入機と、０.５°の高精度回転導入機の２タイプをご用意致しております。
端管付成形ベローズ ベローズ：SUS316L フランジ：SUS316
ＮＷフランジ同士を接続する為に必要な高圧配管用クランプ部品です。使用最高圧力0.49MPaまでご使用頂けます。ＮＷ２５〜ＮＷ６３までのサイズに対応しています
検査、搬送、位置決め工程などの自動化に。提案例の紹介資料進呈
厚さ３ｍｍまでのシート素材を自動でカット。サンプル無料進呈
業界の枠を超えたリニューアルでビジネスを加速！総合カタログ進呈
