入江工研では、『特殊形状ベローズ』を取り扱っております。 正方形、長方形の開口を基本形状とした「矩形ベローズシリーズ」をはじめ、 角丸長方形の開口を基本形状とした「長円形ベローズシリーズ」お客様の 御要望に沿った開口で製作する「自由形ベローズシリーズ」をラインアップ。 様々なニーズに合った製品を御提案致します。 【特長】 ■矩形ベローズシリーズ ・チャンバーとチャンバーの接続部やチャンバーとゲートバルブの 　接続部の取り付け誤差吸収用 ・折込ベローズと溶接ベローズの2種類ご用意 ■長円形ベローズシリーズ ・矩形ベローズでは変位性能を出しにくい角部を半円状にする事で 　変位性能を向上させた製品 ・成形ベローズと溶接ベローズの2種類ご用意 ■自由形ベローズシリーズ ・装置設計や配管設計の都合上、丸形や矩形・長円形ではベローズの 　スペースが確保出来ない場合などに、空いているスペースで適切な 　開口形状に製作する製品 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 管継手

『LFB/SFB』は、入江工研が取り扱う高性能な成形ベローズです。 「LFB」は、溶接ベローズ並みの高寿命を実現(100万回)した ロイヤル成形ベローズです。 優れた耐食性を有しており、Cl2、HBrガスに対しても応力腐食割れを防止。 650°に於いてSUS316Lの常温引張強さ、0.2％耐力等よりも優れております。 また「SFB」は、従来の成形ベローズより50％以上コンパクト設計が可能な スーパー成形ベローズです。 【特長】 ■溶接ベローズ並みの高寿命を実現（100万回） ■従来の成形ベローズよりバネ定数が1/2以下 ■従来の成形ベローズより50％以上コンパクト設計が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 管継手

当社が取り扱う『NW-KF配管継手』をご紹介します。 取扱いが非常に便利なISO規格によるNW－KFフランジの配管継手として、 真空配管用「VPシリ－ズ」と高圧配管用「HPシリ－ズ」を規格化しご用意。 この他に、溶接用フランジやブロックフランジなどの「真空パイプパーツ」も 取り扱っています。 【特長】 ■ボルト、ナットが不要 ■フランジのテーパー部にカップリングの内側のテーパー部をはめ込み 　蝶ネジを回す事だけで容易に着脱できる ■加熱温度は150℃まで可能 ■Heリーク量は1×10^-9Pa･m3/s以下 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 管継手

『高真空アングルバルブシリーズ』は、豊富な実績をもつ成形・溶接ベローズを 内蔵した長寿命の真空バルブです。 取り扱いが非常に便利なISO規格のNW-KFフランジ付きと、超高真空用及び 有毒なガス系にも使用可能なコンフラットフランジ付き、又一般JIS真空 フランジ付きの3種類の接続形式に、手動及び自動(圧空式)をシリーズ化。 また、バルブのメンテナンス期間を延長させる目的で、LXシリーズも 新しく規格品として用意しました。 【特長】 ■バルブ材質の真空側は全てステンレス(SUS)で構成 ■全体がコンパクト設計により小型、軽量化 ■正圧、逆圧、どちらも0.15MPaの差圧でも漏れない ■取り付け姿勢が自由 ■機能設計により大きなコンダクタンスが得られる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• バルブ

『成形べローズ』は、溶接べローズに比べて歴史的に古くいろいろな 製造方法が考案されていますが、一般的に広く採用されているのは、 機械的に成形するロール成形法と、液圧によるバルジ成形法があります。 当社は、独自の液圧成形法により製作。 応力のバラツキを防止が可能で、量産製作での品質の均一化が図れます。 【特長】 ■ロール成形法に比べて精度の高いものが得られる ■応力のバラツキを防止出来る ■量産製作での品質の均一化が図れる ■廉価である ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 管継手

『溶接ベローズ』は、精密なディスク上の薄肉金属板を内径と外径を交互に 溶接しながら繋ぎ合わせて製作される金属ベローズです。 コンパクトで大きい伸縮量が得られる「NS,NA規格溶接べローズ」と、 一山あたりのストロークが従来の30％以上アップし、経済性を実現した 「コンパクト溶接ベローズ」をラインアップしています。 【特長】 ＜NS,NA規格溶接べローズ＞ ■コンパクトで大きい伸縮量が得られる ■バネ反力が小さい ■長寿命での使用が可能 ■エンドフィッティングの選択が出来、設計に自由度がある ■Y型エンドフィッティング付きは、お客様での溶接が可能 ■取付け方向に制限がない ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 管継手

フレキシブルチューブの両端に、JIS B2290（真空フランジ） VG(固定)とVF(回転)を使用しています。 長さ：500,1000,1500,2000mm チューブ：ステンレス鋼 フランジ：ステンレス鋼

• 配管材
• チューブ

『磁気結合式直進回転導入機（MFL）』は、強力な永久磁石を用いた 磁気カップリング方式の導入機構です。 真空内外ともにサマリウム－コバルト磁石を使用しているため 高トルク伝達ができ、ロストモーションも少ない設計です。 直進回転導入機の他、回転導入機もご用意しているので用途に合わせて お選びいただけます。 また、モーター駆動にも対応可能です。 【特長】 ■真空内の従動磁石部はステンレス鋼薄板で封止し、ガス放出量を低減 ■磁石を取り付けたままベーキング可能 ■ベアリングを交換することで、半永久的に使用可能 ■オプションで回転防止機構もご用意 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他 機械部品

『磁気結合式回転導入機（MFR）』は、 強力な永久磁石を用いた磁気カップリング方式の導入機構です。 回転導入機の他にも、直進回転導入機をご用意しているので、 用途に合わせてお選びいただけます。 また、モーター駆動にも対応可能です。 オプションのモーター取付金具仕様にした場合、自動運転が可能です。 【特長】 ■真空内外ともにサマリウム－コバルト磁石を使用 ■ロストモーションが少ない設計 ■真空内の従動磁石部はステンレス鋼薄板で封止し、ガス放出量を低減 ■磁石を取り付けたままベーキング可能 ■ベアリングを交換することで、半永久的に使用できる　など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他 機械部品
• 真空機器

『コンパクト回転導入機(IRC)』は、高性能の溶接ベローズを内蔵し、 高真空を遮断し、回転運動を伝えるためのユニットです。 真空と大気の遮断には金属製の溶接ベローズを用いているので、 超高真空領域までご使用いただけます。 回転位置決め精度(無負荷時)が2°±0.5°のこちらのコンパクト回転導入機の他にも、 0.5°の高精度回転導入機もご用意致しております。 【特長】 ■入江工研の溶接ベローズを内蔵し、接続フランジCF34,CF70を規格化 ■駆動部シールに溶接ベローズを採用することで、高真空の領域で使用可能 ■機能中心に考え極めてシンプルに構成しているため、小型で軽量 ■回転ロック機構付 ■開度が任意に設定可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他 機械部品
• 真空機器

『ベローズ式コンパクト直線導入機(ILC)』は、高性能の溶接ベローズを内蔵し、 長ストロークを可能にした直線方向に駆動するタイプの導入機です。 基板用ステージの昇降やウェハーの搬送などにご使用いただけます。 また、非常にコンパクトなILCの他にも通常サイズもご用意しているので、 お客様のニーズに合わせてお選びいただけます。 【特長】 ■入江工研の溶接ベローズを内蔵し、ストローク10ｍｍ、15ｍｍ、20ｍｍまで規格化 ■当社ベローズ式直線導入機（ILDシリーズ）に比べ、非常にコンパクトな作り ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他 機械部品
• 真空機器

『ベローズ式直線導入機』は、高性能の溶接ベローズを内蔵し、 長ストロークを可能にした直線方向に駆動するタイプの導入機です。 基板用ステージの昇降やウェハーの搬送などにご使用いただいております。 他にも、自動式のものもご用意しているので、ニーズに合わせてご利用ください。 【特長】 ■入江工研製の溶接ベローズを内蔵し、ストロークを30～200mmまで規格化 ■駆動部シールに溶接ベローズを採用しているため、超高真空の領域で使用可能 ■機能中心に考え極めてシンプルに構成しているので、小型・軽量 ■ベーキング温度250℃に耐える設計 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他 機械部品
• 真空機器

直進導入機/回転導入機/マルチ導入機　総合カタログは、 各種金属機械製品・真空機器の設計、製造、販売などを行っている 入江工研株式会社の総合カタログです。 ベローズ式直進導入機 自動タイプ「ILD-A」をはじめ、 コンパクト回転導入機「IRC」や、磁気結合式直進回転導入機「MFL」など、 用途にあわせた幅広いラインナップを掲載しております。 【掲載内容】 ○概要 ○製品紹介 ○事例紹介 ○ラインナップ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• その他

300mm　半導体製造装置用ゲートバルブをあらたに開発致しました。 カム方式による one-action valveの機構を採用し、コンパクト化、メンテナンス性向上、及び低価格化を実現しました。 高速駆動対応により、タクトタイム短縮が可能です。 【特徴】 ○無摺動機構の採用で装置内をクリーンな状態に保持 ○弁板シール部は独自の溝形状により、メタルコンタクトの防止など 　クリティカルなアプリケーション下でも安定したシール性を確保 ○実績豊富なカム方式による駆動方法で、安定したシール性能を確保 ○長寿命に対応した品質と信頼性を確保 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• バルブ

当社では、チャンバー内部が超高真空から大気圧やプラズマ環境、希薄な活性ガス環境などの特殊な環境になるチャンバーの製作をいたします。

• CVD装置
• スパッタリング装置
• その他半導体製造装置

ビューイングポートへの蒸着保護および光・ビームの遮断にご利用ください。真空機器向けに設計したシャッターです。手動タイプと自動タイプ(エアー駆動)の2タイプを用意しています。

• CVD装置
• スパッタリング装置
• その他半導体製造装置

磁気結合式直進回転導入機（MFL）を取り付ける際の軸差および角度調整にご利用ください。真空容器への機器を取り付ける際、誤差調整用として最適です。

• スパッタリング装置
• その他半導体製造装置

真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動を伝達する導入機です。

• スパッタリング装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置

サイズ毎に共通なパイプの端部にＮＷフランジが溶接された真空配管です。 ＮＷ１０〜ＮＷ１００までのサイズに対応しています。

• 真空機器

FPD製造装置におけるガラス基板の大型化に対し、IKCは半導体製造装置、 真空機器などで培った技術と独自の技術開発により、これに応える 大型のゲートバルブを開発しました。 FPD製造装置向けとして各世代の基板サイズに対応したバルブをシリーズ化 しましたので紹介致します。 【ラインアップ】 ■KOSLARZE-II：昇降用シリンダとカムによって構成 ■NEW KOSLARZE：昇降用シリンダとシール用シリンダで構成 ■LINK：昇降用シリンダと弁板に組み込まれたリンク機構によって構成 ■SWELL GARIVA：昇降用シリンダと弁板内部に搭載されている 　シール用シリンダによって構成 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器
• バルブ

ＩＫＣの高真空アングルバルブは豊富な実績をもつ成形・溶接ベローズを内蔵した長寿命の真空バルブです。

• 真空機器

サイズ毎に共通なパイプの端部にＮＷフランジが溶接された真空配管です。 ＮＷ１０〜ＮＷ１００までのサイズに対応しています。

• 真空機器

真空機器（特に半導体製造装置）の各種可動部分及び、 バルブの軸シールに使用するベローズとしてハステロイ (R)C22を用いた成形ベローズを規格化しました。 ■耐腐食性に優れている ・他のNi-Cr-Mo合金に比べて優れた耐食性を有します。 ・Cl2、HBrガスに対しても応力腐食割れを防止します。 ■高温強度を有する ・650℃に於いてSUS316Ｌの常温引張強さ、0.2%t耐力等よりも優れております。 ■長寿命設計可能 ・成形ベローズでの10(６乗)寿命の設計が可能となりました。 ・従来より更に使用時寸法が短くなりコンパクト設計が可能となります 詳細は『ダウンロード』よりご確認ください

• その他機械要素

サイズ毎に共通なパイプの端部にＮＷフランジが溶接された真空配管です。 ＮＷ１０〜ＮＷ１００までのサイズに対応しています。

• 真空機器

金具の付かないベローズ部のみの規格になります。 より長寿命で、よりクリーンなベローズを製造し、即応・即納体制（Quick Response & Quick Delivery）でお届けしてまいります。

• 真空機器

ＩＫＣの高真空アングルバルブは豊富な実績をもつ成形・溶接ベローズを内蔵した長寿命の真空バルブです。 超高真空用及び有毒なガス系にも使用可能なＣＦ(コンフラット)フランジ付きです。

• 真空機器

強力な永久磁石を用いた磁気カップリング方式の導入機構です。 回転導入と直進回転導入の２タイプをご用意しており、モーター駆動にも対応可能です。

• 真空機器

CFフランジ接続及び 　端管接続用成形ベローズ ベローズ：SUS316L フランジ：SUS304L

• 真空機器

長さ：500,1000,1500,2000mm チューブ：SUS316L フランジ：SUS304L

• 真空機器
• チューブ

ＩＫＣの直線(直進)導入機は、高信頼性の溶接ベローズを内蔵し長ストロークを可能にした直線(直進)導入機です。 また、各サイズ共に手動と自動のタイプをご用意致しました。

• 真空機器

ＮＷフランジ同士を接続する為に必要な真空配管用クランプ部品です。 ＮＷ１０〜ＮＷ１００までのサイズに対応しています。

• バイス・クランプ

ＮＷフランジ同士を接続する為に必要な真空配管用クランプ部品です。 ＮＷ１０〜ＮＷ１００までのサイズに対応しています。

• バイス・クランプ

JIS真空フランジ付ベローズ ベローズ：SUS316L フランジ：SUS304

• 真空機器

コンフラットフランジ付き溶接ベローズです。 より長寿命で、よりクリーンなベローズを製造し、即応・即納体制（Quick Response & Quick Delivery）でお届けしてまいります。

• 真空機器

サイズ毎に共通なパイプの端部にＮＷフランジが溶接された真空配管です。 ＮＷ１０〜ＮＷ１００までのサイズに対応しています。

• 真空機器

ＮＷフランジ同士を接続する為に必要な真空配管用クランプ部品です。 ＮＷ１０〜ＮＷ１００までのサイズに対応しています。

• バイス・クランプ

ＩＫＣの高真空アングルバルブは豊富な実績をもつ成形・溶接ベローズを内蔵した 長寿命の真空バルブです。 ◆バルブ材質の真空側は全てステンレス(ＳＵＳ)で構成 ◆コンパクト設計により、小型・軽量化を実現 ◆正圧・逆圧、どちらも０.１５ＭＰaの差圧でも漏れません ◆取り付け姿勢が自由 （特に指定のない場合は、圧力変動の大きい方に弁座が向く取り付け姿勢を推奨しております。） ※詳細は【お問い合わせ】よりどうぞ。

• その他環境機器
• バルブ
• 真空機器

１０世代に対応したバルブです。 安定した性能をもち、納入先のお客様よりご信頼をいただいております。

• 真空機器

より長寿命で、よりクリーンなベローズを製造し、即応・即納体制（Quick Response & Quick Delivery）でお届けしてまいります。

• 真空機器

両端NWフランジ付 長さ：500,1000,1500,2000mm チューブ：SUS304 or SUS316L フランジ：SUS304 or SUS316

• 配管材
• チューブ

『コンパクトコスラーズII』は、次世代のLSI及びLCDの製造装置にも 使用可能な高品質の角型ゲートバルブです。 IKC独自の技術により、無摺動で装置内を高度なハイクリーン状態に保ち、 シール保持時間が長く、逆圧シールに対し安定したシール性能を発揮します。 また、お客様からのご要求を反映し、イージーメンテナンスを考慮して 設計されております。 【特長】 ■パーティクルフリー ■高いレベルのシール性能 ■イージーメンテナンス ■長寿命でハイレベルな品質 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器
• バルブ

本ベローズ式回転導入機は高精度回転導入機とコンパクト回転導入機があり、大気側から真空側へ回転運動を伝えるためのユニットです。真空と大気の遮断には金属製の溶接ベローズを用いているので、超高真空領域までご使用いただけます。 回転位置決め精度(無負荷時)が２°±０.５°のコンパクト回転導入機と、０.５°の高精度回転導入機の２タイプをご用意致しております。

• 真空機器

端管付成形ベローズ ベローズ：SUS316L フランジ：SUS316

• 真空機器

ＮＷフランジ同士を接続する為に必要な高圧配管用クランプ部品です。使用最高圧力0.49MPaまでご使用頂けます。ＮＷ２５〜ＮＷ６３までのサイズに対応しています

• バイス・クランプ

ＮＷフランジ同士を接続する為に必要な高圧配管用クランプ部品です。使用最高圧力0.49MPaまでご使用頂けます。ＮＷ２５〜ＮＷ６３までのサイズに対応しています

• バイス・クランプ