半導体製造装置の製品一覧

  • 分類:半導体製造装置

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高 性 能 か つシンプ ル なストリップ マシン

  • その他加工機械

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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減!】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録!ワークに応じた無料相談、テストも受付中!

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  • その他搬送機械

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独自のスパイラル構造により飛散を極小化!見切りが鮮明で、マスキングレスコーティングを実現

  • スパイラルコーター2.png
  • スパイラルコーター3.png
  • スパイラルコーター4.png
  • スパイラルコーター5.png
  • コーター
  • プリント基板
  • コーティング機

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長期保存/評価試験に好適なタイプ、卓上型タイプ、リーズナブルタイプをラインアップ!

  • 16a.png
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  • その他 恒温器・恒温槽
  • 半導体検査/試験装置
  • 恒温槽

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高安定、高精度ひずみ測定用アンプでかんたん設定を実現!インバータノイズに強いタイプもご用意

  • ?DPM-900 Series 画像2.png
  • その他計測・記録・測定器
  • 半導体検査/試験装置
  • 衝撃試験

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金属材料はもちろん、薄膜、イオン注入層・窒化層等の表面処理層、プラスチック・ゴム・セラミックス等の非金属材料の表面強度試験

  • スクリーンショット 2025-11-26 102950.png
  • スクリーンショット 2025-11-26 103141.png
  • ゴム
  • 蒸着装置
  • 薄膜蒸発装置

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耐薬品性・耐熱性・帯電防止を同時に満たす新素材。導電性PFAでブラシ開発が可能です

  • その他理化学機器
  • その他半導体製造装置

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生産では自動ディスペンス機能が備わっているセミオートコーターまたはオートコーターを推奨!

  • コーター

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薄型化するウェハー、ガラス基板、金属箔、フィルムなどの搬送にピッタリ!従来の真空吸着式の持つ対象物への局所ストレスを解消!

  • その他半導体製造装置

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Au合金をはじめ各種蒸着材料を用途に応じて提供。安定供給と納期短縮で、生産効率とコスト管理を両立する蒸着材料販売サービス

  • 蒸着装置
  • その他金属材料

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量産向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置(12インチウェハ対応)

  • CVD装置

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IPAの蒸気によって水分を置換し被対象物を乾燥、4~8インチウェハ用、各種洗浄機に組み込み・ドッキング可能

  • その他半導体製造装置

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縦型洗浄装置(VTCシリーズ)は省スペースで「薬液・純水削減」に貢献。世界トップクラスの納入実績(400台以上)

  • その他半導体製造装置

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量産向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置 (8インチウェハまで対応)

  • CVD装置

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FPDなどリジット/フレキシブルデバイスに対応した4.5世代のガラス基板成膜装置

  • CVD装置

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機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備!RCA洗浄液に変わる洗浄液・洗浄方法の採用

  • その他半導体製造装置

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カセット内のウエハを異なるカセットへ自動移載、2カセット同時やピッチ変換・FtoF(BtoB)等の機能を付加可能

  • その他半導体製造装置

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高精度な温度測定機能により、熱処理工程の温度制御に好適!

  • その他半導体製造装置

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シリコンウエハ製造のラッピング、ポリッシング工程でのウエハホルダーとして使用するキャリアをお客様のニーズに合わせて製作します

  • その他半導体製造装置

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露光装置及び、周辺装置用のレチクルケース。主要露光装置メーカーの露光装置にて多数採用済み。クリーンな環境での使用可能!

  • レチクルケース?.png
  • ステッパー

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徹底した静電対策によるレチクル保護と、独自機構によりレチクルの磨耗と取り扱い中の機械的衝撃による損傷のリスクを最小限に抑えます

  • レチクルポッド 21320-00-loaded-.jpg
  • レチクルポッド 21320-00-side.jpg
  • レチクルポッド シングル.jpg
  • フォトマスク

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交換部品は純正部品を使用し、純正手順で検査致します。また、短納期でOH修理対応致します。

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  • rcm9205.png
  • rc350d-b23.png
  • その他半導体製造装置

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結晶Si太陽電池セル量産用 NSG(SiO2)/PSG/BSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置

  • CVD装置

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試作・開発・小ロット生産向け NSG(SiO2)/BSG/PSG/BPSG膜成膜用 バッチ式(複数枚同時処理)APCVD装置

  • CVD装置

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少量・多品種向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 枚葉式常圧CVD(APCVD)装置(8インチSiCウェハ対応)

  • CVD装置

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独自技術で極小のナノバブルの開発に成功!超純水にも使用可◆設置簡単◆コンパクトで高機能◆洗浄能力UP

  • その他半導体製造装置
  • 超純水製造装置
  • その他

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切れ味と砥石寿命を理想的に!ドレッシングで砥石のムダづかい、してませんか?

  • 砥石
  • ウエハ加工/研磨装置
  • その他研磨材

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基板へのダメージがない!超低温スパッタが可能な真空成膜装置

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  • スパッタリング装置

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金属イオン溶出ゼロ。接液部オールPTFE構造で、医薬・半導体プロセスの汚染リスクを徹底排除する高洗浄性コネクタ

  • IMG_9517.jpg
  • 半導体検査/試験装置

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第28回 インターフェックスジャパン」出展のお知らせ

2026年5月20日~22日に開催される展示会「第28回 インターフェックスジャパン」に、 オートコネクタ・配管自動切換装置・Quitto・電子聴音棒を出展します。 ブースにはオートコネクタと配管自動切換装置のデモ機を展示しておりますので、実際にコネクタが自動で調芯し配管が着脱する様子をご覧いただけます。Quitto体験コーナーでは新商品「Quitto」によるワンアクションでの簡単着脱をお手に取り実感いただけます。 また、「音」をデータ化・見える化する診断装置:電子聴音棒 Kirari MUSEの実物も展示しております。 工場の自動化に興味がある方、自動化でお困りの方、へルールクランプの煩わしさを解消したい方、異音診断でお悩みの方は是非お立ち寄りください。 皆さまのご来場を心からお待ちしております。 「第28回 インターフェックスジャパン」 日時: 2026年5月20日(水)、5月21日(木)、5月22日(金) 10:00~17:00 会場: 幕張メッセ(ブース番号:30-27) 出展内容: 粉体用オートコネクタ、配管自動切換装置、「Quitto」、電子聴音棒

研磨PADのドレスは、ツール管理で大きく時間が変わります

  • ウエハ加工/研磨装置

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研磨PADの修正といえばDP付修正キャリアですが、作業効率改善とは?

  • ウエハ加工/研磨装置

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半導体、理化学機器、厨房機器など多分野で実績あり。ヒーター曲げ技術により、様々な形状を設計できます。

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  • その他半導体製造装置
  • 電気炉
  • その他ヒータ

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総合カタログがリニューアルしました

この度、弊社の製品・サービスをより見やすく、わかりやすくお伝えするために、総合カタログをリニューアルいたしました。 弊社は、工業用ヒーターやヒーター部品を搭載した機械装置を手掛けるメーカーです。お客様ごとにカスタマイズした製品を納入しており、設計、製造、販売まで一貫して当社で対応します。 シーズヒーターのお問い合わせ、熱のお困りごとに関する様々なご相談等も受け付けておりますので、お気軽にお問い合わせください。

断熱材不要で高効率、クリーン加熱が可能なヒーター!気体加熱器「クリーンホット」はヒーター曲げ技術を生かした電気ヒーターです!

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  • その他半導体製造装置
  • 加熱装置

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レジストに像が形成される過程をコンピュータ上に再現!好適なプロセス条件を効率的に発見

  • レジスト装置

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0.5インチウェーハに対応させるための独自のレジスト処理方法を搭載!

  • コーター

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「レジストの密着性を良くする」と言われるHMDS処理をご紹介!

  • レジスト装置

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ダイコー株式会社様の導入事例。全社共通のデータの活用で、業務効率化を実現!

  • 半導体検査/試験装置

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ステンレス製、容器・部品加工なら、おまかせください!

  • ステンレス容器
  • 石材加工機械
  • その他半導体製造装置

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パネル面に穴を空け、ビス留めするだけで簡単に取付けができるパネルマウント式の継手です。

  • その他工作機械
  • その他半導体製造装置
  • 管継手

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金型レスで安価な小ロット量産

  • 製造受託
  • エッチング装置
  • エンジン系部品

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【リニューアルにより性能向上!】流量センサとバルブの機能を一体化 マイコン制御により流量を自動で調整

  • その他半導体製造装置
  • 流量制御
  • 配管材

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広視野角・超高精細な撮像が可能で、各種MV用途に好適な超高画素カメラ (127M/250M/400M)

  • モノクロカメラ
  • カラーカメラ
  • 半導体検査/試験装置

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高耐久PTFEホースは、細波状PTFE構造により高い柔軟性と耐久性を両立。半導体製造装置の薬液供給ラインや可動配管部に対応します

  • RH27RH285i.png
  • RH27RH28_2i.jpg
  • RH27RH28i.png
  • RH27RH28_3i.png
  • ホース
  • その他半導体製造装置
  • エッチング装置

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高耐圧PTFEホースは、細波状PTFEコルゲーション構造を採用。高耐圧と低反力を両立し、高純度薬液ラインや可動配管部に対応します

  • RH27RH47_3.jpg
  • RH27RH47_2.jpg
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  • ホース
  • その他半導体製造装置
  • エッチング装置

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