更新日： 集計期間:2025年08月06日～2025年09月02日
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素材に新たな機能を吹き込む薄膜加工技術を解説した技術資料を進呈中！各種表面処理薄膜コーティング法を掲載！試作から生産案件まで対応
東邦化研株式会社では、イオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる機能性薄膜の受託加工（コーティングサービス）を行っております。 金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、合金膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、試作・開発・研究などの少量案件から、中小ロットの生産案件まで、幅広いご要望にお応えするべく体制を整えて参りました。 機能性薄膜をご検討の際は、お気軽にお声掛けください！ 柔軟な対応と35年以上の実績をもとに、お客様のご要望にお応えします！ また、本資料では各コーティング法の特徴の他、コーティング事例やパターン形成についても掲載しています。 ご興味のある方は資料をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
PVDとプラズマCVDのハイブリッドプロセスによるDLCコーティングです。
半導体フォーミング金型用セルテスDLCコーティングは、PVDとプラズマCVDのハイブリッドプロセスによる新しいDLC（ダイヤモンドライクカーボン）コーティングです。複合多層膜の採用により、従来のDLCと比較して密着力にすぐれ、厚膜（～ 5μm）が可能なため、抜群の耐久性を示します。また超硬合金だけでなく、工具鋼上でも下地強化層の採用により高い面圧に対応できます。DLC コーティングは表面が非常に平滑で硬く摩擦係数が低いため、はんだめっきやアルミ等の軟質金属の凝着を起こしません。このため金型に付着したはんだくずによる不良を飛躍的に低減し、クリーニング頻度の低減により生産性を飛躍的に向上できます。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
プラズマCVD法により、複雑形状の製品や内径内面へ密着力の優れたDLCーSi被膜をコーティングできます。
「プラズマCVD NEO-Cコーティング」は、真空中で得られる低柵プラズマを利用して種々の製品にトライボロジー特性に優れたＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）膜を高い密着力でコーティングします。 処理後の製品では、2000Hv前後の高硬度で低摩擦係数な平滑性に優れた高性能表面が得られます。 また、これまでのDLCの弱点だった付き回り性の悪さも大幅に改善し、複雑な形状を持つ金型、機械部品の凹凸面や内径内面の処理にも対応が容易です。 アルミ・銅など非鉄金属やハンダの凝着防止に効果があり、非鉄金属のプレス金型や摺動性の機械部品などのメンテナンス性が大幅に向上するとともに、耐久性も向上させる事ができます。 また、摩擦抵抗の低減や耐焼付き性の改善により加工時の潤滑油や離型剤の使用量を低減できることから、環境調和型の表面改質技術としても注目されています。
当社で行っている「イオン源蒸着」「PCVD」「FAD」について説明いたします！
DLCの成膜には、PVD(物理蒸着)や、CVD(化学蒸着)などの技術が用いられます。 イオン源蒸着は、フィラメントを加熱し、熱電子により炭化水素ガスを イオン化させ、電位差をつけた処理物に衝突させてコーティングする、 PVDの一種です。 PCVD(プラズマ化学蒸着)は、プラズマ領域でイオン化させた炭化水素ガス を、電位差をつけた処理物に衝突させて、コーティングします。 FAD(フィルタードアーク蒸着)は、磁場によるフィルターでイオン化 されたカーボンのみを処理物に引き込み、成膜します。 【当社で行っている成膜方法】 ■イオン源蒸着 ■PCVD(プラズマ化学蒸着) ■FAD(フィルタードアーク蒸着) ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
熱化学蒸着法により各種機能性セラミック膜を、単層又は多層コーティングし、得られた高硬度、高密着セラミック膜により素材の性能を向上
CVDコーティングとは CVD(Chemical Vapor Deposition)コーティングは化学的な成膜方式で、 大気圧～中真空（100～10-1Pa）の状態において、 ガス状の気体原料を送り込み、 熱、プラズマ、光などのエネルギーを与えて化学反応を励起・促進して薄膜や微粒子を合成し、 基材・基板の表面に吸着・堆積させ処理物表面に超硬質のセラミック化合物を化学的にコーティングさせる方法です。 熱化学蒸着法により各種機能性セラミック膜を、高温度（900～1100℃）で単層又は多層コーティングし、 得られた高硬度、高密着力セラミック膜により素材の性能を飛躍的に向上させます。 CVDコーティングの機能 すべり性／耐薬品性／耐熱性／ 撥水・撥油性／親水性／耐摩耗性／ 電気特性／寸法安定性
金型標準部品コーティングの各プロセスの特長などをご紹介！
『金型標準部品コーティング』では、 コーティングの特性や概要などについて ご紹介しています。 CVD（化学蒸着）プロセスは、 1000℃の高温雰囲気中にガスを充満し 化学反応させるため、品物全周に均一にコーティングされるので、 複雑形状品にも適用可能です。 PVD（物理蒸着）プロセスは、プラズマエネルギーを利用して 200 ～ 500℃の 低い温度でコーティングするので、基本的には変寸・変形がなく精度の 厳しい品物に適しています。 【特長（CVD法）】 ■ガスによる化学反応で蒸着する為、 形状による膜厚や着き廻りのバラツキが少ない ■膜厚はPVDの倍以上で密着力も高いため重プレス加工に適している ■装置も大きいので大物も処理可能であり価格もPVDに比べると安価 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
印刷ロール、搬送ロールなど中心に、小物から大型（φ1000mmx4000mm、2.7ton）までDLCコーティングします。
印刷ロール、搬送ロールなど中心に、小物から大型（φ1000mmx4000mm、2.7ton）までDLCコーティングします。
従来よりも密着力・耐摩耗性に優れる複合多層DLCコーティングが登場！摺動部品・精密金型・治工具の寿命向上に！
セルテスDLCは、プラズマブースタースパッタリング（PBS)とプラズマCVDのハイブリッドプロセスによる新世代複合多層DLCコーティングです。新プラズマ源の採用により、これまでより低温（180℃以下）で成膜でき、金型・部品の耐久寿命も従来DLCと比較して飛躍的に向上します。 高密着力の3〜5ミクロンDLC被膜により、これまで密着力不足で適用できなかった高面圧で使用される工具鋼金型やSUJ・SCM鋼部品にも適用できます。 【特長】 ■ファビリ（ファレックス）焼付き試験では、無潤滑下では2000kgfまで、 潤滑下では2500kgf以上の焼付き限界荷重を達成しました。 ■他社の複合多層DLCと比較してファビリ試験後の被膜の損傷がもっとも 軽微で、母材が赤熱して塑性流動を起こしても剥離しません。 ※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。
特殊イオン源を使用した装置で高耐久性ICFを成膜させ、高面圧下で使用しても剥離せず、高寿命化を達成した新機能被膜！
圧粉成形離型コーティングとは、従来面圧が高いと剥離していたDLC膜と比較して、高面圧下で使用しても剥離せず、高寿命化を達成した新機能被膜です。 圧粉成形加工時に上下杵への粉付着を防止し、鏡面性を維持します。この被膜は高面圧化での摩擦係数が低く、バインダーを含む粉末が杵へ付着することを防ぎます。 高い荷重が加わっても、剥離しににく、耐久性と耐摩耗性に優れており、密着力も高く安定した性能を発揮いたします。 より詳しい情報はお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードして下さい。
金属、樹脂、ゴムなどの長寿命化や耐久性向上を検討の方へ。DLCの特徴や製法を紹介
当社では、印刷用ロール製造のノウハウや設備を用いたDLCコーティングを行っています。 100℃程度の低温での成膜も行え、金属製の部品等のほか樹脂やゴムの 表面処理も可能です。耐摩耗性、摺動性、耐薬品性、耐食性、 ガスバリア性の向上に貢献。生体適合性にも優れています。 本資料では、「DLCコーティング」の特徴や製法について、 初めての方にもわかりやすくまとめて紹介しています。 【掲載内容】 ■DLCとは ■DLCの特徴 ■DLCの製法 ■DLCの分類 ■DLCの計測 ■Think LaboratoryのDLC ※PDFダウンロードよりご覧いただけます。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
FCVA方式により、スーパーＤＬＣ（水素基フリーのta-C膜）、Micc膜、各種金属膜を提供します
FCVA方(Filtered Cathodic Vacuum Arc)は、 PVD・CVD等既存のものとは異なる次元の高品質のコーティングを提供します。 また、成膜時に加熱を一切必要としない為、基材の変形等も起こらず、樹脂部品へのコーティングも可能です。 特にDLC膜（ta-C）は １）限りなくダイヤモンドに近い（高いsp3結合） ２）非常に高い硬度・密着性・耐摩耗性 ３）水素フリー ４）膜厚：数nm～10nm ５）内径にも成膜可 等の特徴があり、ハードディスク、精密金型、耐磨耗部品等様々な分野で使われております。 ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問合せください。
【新技術】溶射、CVDと異なる新工法で複雑構造でも全面コーティング可能！ ※ケース別コーティング事例集進呈中
ナラサキ産業は限りなく精密に膜厚コントロールを実現する セラミックスDIPコーティングを開発しました。 多くの材質に対して自由度の増したセラミックスコーティングが 可能になります。 【４つの特長】 ◆形状自由度が高くメーター級での3D形状にもコーティング可能 ◆大半の高機能素材へのコーティング可能 ◆平均 50μ の厚膜が可能 ◆コーティング面の面粗度が良く円滑性に優れる (Ra0.8 以下も） 【コーティング可能対象材質】 ■ファインセラミックス（アルミナ、ジルコニア、窒化アルミなど） ■石英ガラスなどの耐熱ガラス ■黒鉛、高融点金属 ※現在、膜の緻密度のさらなる向上の改良テスト実施中です。 ※コーティング事例集をダウンロードしてご覧ください。 用途に応じ複合セラミックス膜を駆使し最適化を実現します。 お気軽にお問い合わせ下さい。
30年を超え、受託薄膜加工一筋！豊富な経験と確かな技術に培われた加工実績
東邦化研株式会社の表面処理薄膜コーティング受託加工サービスの加工実績を紹介いたします。 単金属膜をはじめ、酸化膜、炭化膜、窒化膜、合金膜、光学膜、またこれらの多層膜（積層膜）と様々な膜種に実績を残しています。 【適用分野】 ■電気・電子部品：電極膜・絶縁膜・表面保護膜・透明導電膜など ■真空装置部品：汚染防止・絶縁膜・ボンディングメタルなど ■航空宇宙関連：軽量化・防蝕・固体潤滑など ■機械部品・金型：耐摩耗性・離型性・防蝕・表面硬化など 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
耐摩耗性やすべり性が大幅アップ！ＤＬＣコーティングの用途・選定例満載の小冊子
『DLCコーティング』は、回転・滑り・往復などの機械的相対運動が必要な部品の 表面に求められる特性をすべて兼ね備えた表面処理技術です。 切削工具や各種金型、自動車・機械部品へのコーティングで活躍します。 今ならDLCコーティングの活用方法が良く分かる用途例と選定例をまとめた 小冊子をプレゼント中！読むだけでDLCの特長と用途が良く分かります。 【DLCコーティングの特長】 ■硬くてなめらか ■無潤滑下で低い摩擦係数 ■摺動時、相手材を磨耗、損傷させない（低相手攻撃性） ■化学的に不活性で安定⇒焼付き、凝着、溶着を起こさない ■腐食性雰囲気中でも侵されない 詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧ください。
低摩擦＆高硬度！自動車部品、切削工具、金型などに適用可。低燃費化や磨耗防止に貢献
当社の『DLCコーティング』は、回転・滑り・往復などの機械的相対運動に 要求されるあらゆる特性を兼ね備え、切削工具や各種金型、 自動車・機械部品などへのコーティングで活躍します。 例えば、自動車エンジン部品への適用により 摩擦係数の低減が可能。低燃費化につなげられます。 ただいま、詳しい用途例や選定例をまとめた 「DLC・セラミックコーティング用途事例集」を進呈中です！ 【こんな用途に有効】 ■自動車エンジン部品：油中での摩擦抵抗低減による低燃費化 ■自動車駆動部品：磨耗低減による振動、静粛性向上 ■半導体実装部品：無潤滑化での焼き付き防止 ■Oリング：シール性は維持しながら摺動性向上 ※詳しくはPDFの資料をご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
