更新日： 集計期間:2025年10月08日～2025年11月04日
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ボルトを緩めたり締めたりする必要がなくなりセンサー位置変更が容易になった事例！
電気メーカーの製造工程で使用しているシャフト組込み治具の改善事例を ご紹介いたします。 センサーの位置変更で位置調整板をスライドさせるのが 面倒なことが課題でした。 そこで、位置調整板Xに変えてロングステージを使用。位置調整板Xを 固定するボルトを緩めたり締めたりする必要がなくなりセンサー位置変更が 容易になりました。 【事例概要】 ■課題 ・センサーの位置変更で位置調整板をスライドさせるのが面倒 ■解決 ・センサー位置変更が容易になった ・ボルトを締める時にセンサー位置がずれることがなくなった ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ミラック光学製アリ溝式ステージ
アリ溝式ステージのガタ・遊び・ゴリ・ムラ・キシミについて解説します。 ミラック光学製アリ溝式ステージの特徴について解説します。
Zステージ LMTシリーズ
各種コンポーネントを取り付け 大気側から直接移動調整が可能な中空Zステージ 【特徴】 ○オールメタルシールによりベーキング可能 ○コンフラットフランジ仕様により MBE装置等、各種超高真空装置に使用可能 ○φ34CF〜φ114CFまで対応 ○各種センサー・蒸着源と組み合わせることにより 真空内への移動が容易に行える ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
XYZステージ XYZシリーズ
3軸の移動機構により、加熱機構や各種導入機 その他コンポーネントの位置調整用に最適な中空XYZステージ 【特徴】 ○オールメタルシールによりベーキング可能 ○コンフラットフランジ仕様により、MBE装置等 各種超真空装置に使用可能 ○φ70CF〜φ203CFまで対応 ○2本の調整ツマミにより、X-Y移動が可能 クロスローラベアリングによる精密移動 ○トランスファーロッド、回転導入機、直線導入機等と 組み合わせることにより真空内への多軸運動伝達が行える ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
多孔質吸着ステージ
ピックアップミスにより不良率を軽減する 多孔質吸着ステージ 【特徴】 ○チップの浮き、回りによるピックアップミスを軽減 ○ウエハーシートを全面吸着が可能 ○ウエハーシートのたわみ解消 ○ニードル突き上げ量の一定化 ○稼働率の向上 ○メッキ剥離による異物混入の防止 ○カスタムオーダーで様々な材質、形状の対応が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
チップ吸着ミスやボンディングミスによる稼働率低下や不良率を低減！
『多孔質吸着ステージ』は、チップ吸着ミスによる装置の稼働率低下や ボンディングミスによる不良率を低減できるステージです。 ウエハーシートを全面吸着が可能で、また、ウエハーシートのたわみ解消 も行えます。 さらに、ウエハー吸着時における、メッキ剥離により異物混入 （メッキカス）も解消されます。 カスタムオーダーで様々な材質、形状の対応が可能です。 お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■チップの浮き、回りによるピックアップミスを軽減 ■ウエハーシートを全面吸着が可能 ■ウエハーシートのたわみ解消が可能 ■ニードル突き上げ量の一定化 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高精度で低断面・高剛性！機構備品を使用して、一から設計する手間を削減できる
『SK・・・W』は、回転案内部にIKOクロスローラベアリングを組込み、 テーブル上面の振れ量は5μm以下を実現した回転ステージです。 回転案内部にさまざまな方向に対して高剛性を発揮するIKOクロスローラ ベアリングを採用。 また、テーブルには、装置のテーブルや検査対象物等を直接取り付けること ができ、機構部品を使用して、一から回転ステージの設計をする手間を 削減することが可能です。 【特長】 ■回転案内部にIKOクロスローラベアリングを組込んでいる ■テーブル上面の振れ量は5μm以下を実現 ■回転案内部にIKOクロスローラベアリングを採用 ■クロスローラベアリングを直接テーブルとすることで低断面を実現 ■テーブルには、装置のテーブルや検査対象物等を直接取り付けることが可能 ■機構部品を使用して、一から回転ステージの設計をする手間を削減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
低断面でコンパクトなXYθ運動を実現するアライメントステージ！Xテーブルとθテーブルを基本構成としてラインアップ
『SA…DE』は、直動案内部にリニアウェイL、回転案内部にクロスローラベアリングを 使用したアライメントステージです。 駆動部にはダイレクトドライブ方式を採用しています。低断面でコンパクトな XYθ運動を実現するステージです。 高分解能リニアエンコーダを内蔵し、フルクローズドループ制御することで、 高分解能と高精度を実現しました。 【特長】 ■コンパクトなXYθテーブル ■XYθの組み合わせが自由 ■薄形・コンパクト ■高分解能・高応答 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
ウォームギア機構を採用した無限回転ステージ！テーブル上面の振れ量は5μm以下を実現しています
『SK…W』は、IKOクロスローラベアリングを回転案内部に採用した 回転ステージです。 更にクロスローラベアリングを直接テーブルとすることで高精度な 回転振れを実現しています。 テーブルには装置のテーブルや検査対象物などを直接取り付けることが可能で、 機構部品を使用し、一から設計する手間を削減します。 【特長】 ■高精度 ■低断面・高剛性 ■設計工数削減 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
モータを並列に配置した、XYステージ！独自構造により優れた作業性を実現します
当社が取り扱っている『PD…S』は、モータを一方向のみに配置している パラレルドライブステージです。 配置側を除いた任意の方向から容易に作業が可能。モータは定位置に固定され、 テーブル稼働時でも移動しません。 一般的なステージでは必要だった可動部の配線やケーブルベアも不要で、 外観はシンプルかつ軽量・省スペースとなっています。 【特長】 ■独自構造により優れた作業性を実現 ■低断面で外観もシンプル ■柔軟かつ多様なカスタマイズが可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
ダイレクトドライブ方式の回転案内にはIKOクロスローラベアリングを採用！極めて低い断面高さを実現しています
『SA…DE/T』は、ダイレクトドライブ方式を採用した、低断面でコンパクトな XYθ運動を実現するアライメントステージです。 従来の回転タイプは、回転動作角に制限がありましたが、新たにラインアップした 無限回転タイプ(当製品)は、360度を超える動作角や、連続回転動作に対応します。 また、高分解能エンコーダを内蔵したダイレクトドライブ方式のステージを フルクローズドループ制御することにより、高分解能と高精度を実現しています。 【特長】 ■XYθ軸の組み合わせが自由に ■薄形、コンパクト ■高分解能・高応答 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
ＸＹ各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応答性を可能としました！
精密ステージ 高応答XYステージ EXは、クロスＬＭガイドＣＳＲ形を採用した、サドルを使用しない構造のシンプルＸＹステージです。2軸のモータを固定する特殊な構造を採用することにより、動作部の重量を極限まで軽量化し、ＸＹ各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応答性を可能としました。 詳しくはお問い合わせください。
両面作業タイプのため、作業効率の向上が可能!
プッシュ・プル方式を採用！ 室内空調ランニングコストの削減に最適！ ワイドな作業スペースを確保！
固定位置の異なるカメラ・照明の固定に苦心していませんか？角度調整、耐荷重、カメラ・照明直接固定を実現した応用テスト台
ラインスキャンカメラ検査環境向けのFLEX-Lシリーズと、産業用カメラ検査環境向けのFLEX-Aシリーズがあります。 カメラや照明のテスト固定に、ブラケットもL金具も不要になります。 カメラの角度、照明の角度の大胆な可変、繊細な微調整を必要とするラインスキャンカメラ特有の難点を克服する専用ステージです。 耐荷重性能も持ち、実機運用も可能です。
キワを探る光学条件、実現には何が必要ですか？光学条件セッティング専用に開発した画像環境専用の実験設備
主柱は再現性のある角度ステップ可変、カメラや照明本体は撮像画像をもとに調整したい部位で調整できるラインスキャンカメラ専用の角度調整機構を搭載。ラインスキャンカメラ応用、欠陥検出の光学条件追求の実績から開発された画像処理環境専用の実験設備、FLEX-Lシリーズです。 産業用カメラ(エリアカメラ)の環境に向けたFLEX-Aシリーズもあります。
