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ダイナミックヘキサポッドステージ MISTRAL
MISTRALは、重要な直線移動および角度移動範囲 (直線移動で最大 ±460 mm、角度移動で ±40°) で最大 1 トンの荷重のモーション生成を可能にします。ボートの船体をテストするためにヒーブモーションを実現するために最初に設計されました。陸上、海軍、または航空の乗り物の軌道を再現することもできるため、その後搭載されるセンサー、電気光学システムなどの実験室テストが可能になります。
小型ダイナミックヘキサポッドステージ SIROCCO
SIROCCOは最大2トンの荷重での動作の再現が可能です。 このヘキサポッドは、液体の動きを研究したり、運動モデルに設定したり、車両をシミュレートしたりするために使用できます。 このソリューションは、運動発生器から独立した 6 自由度の測定システムを統合することができ、可動テーブルの位置をリアルタイムで制御することが可能になります。
パワフルヘキサポッドステージ AQUILON
AQUILON は、ラインナップの中で最も耐荷重の大きいヘキサポッドです。 6トンの重さを動かせます。 必要に応じて、より高いペイロード容量を備えたバージョンを実現できます。 AQUILON は主にうねりシミュレーション、スロッシング、防御 (砲塔テスト) アプリケーションに使用されます。
製品の設計～製造、組立てまでを扱うメーカの強みを活かし、カスタマイズなど小回りの利く対応をいたします
【製品紹介】 ・XY軸の並進移動にて位置決め調整が正確にできます。 ・製品の厚み（高さ）は 25mmです。 ・クロスローラガイドを移動ガイドに採用した高精度で軽量な直動型ステージです。 ・駆動方式に、ファインピッチのマイクロメータヘッド（P=0.25mm）を利用し、微細な調整も可能です。 ・当社製品 小型精密ラボジャッキ RJ-99Mへの搭載接続も可能です。 ・材料や検体の測定・分析など、位置決めが重要な用途に、光学用の精密ステージは有用です。 【参考】 ・目的に合せて各種の精密ステージ（精密ラボジャッキなど）をご用意しています。 ・こちらの商品に限らず、お困りごとやカスタマイズにも対応します。 ※産業交流展2024に、重荷重大型ラボジャッキ RJ-105HL（本製品）、高精度大型回転ステージ RA-200CR を展示しました。
製品の設計～製造、組立てまでを扱うメーカの強みを活かし、カスタマイズなど小回りの利く対応をいたします
【製品紹介】 ・中空構造により、ステージ面 φ200mm、耐荷重 20 kgf（196 N）を軽量設計（1.7 kg）にて実現。 ・粗微動切替クランプで粗動（360°回転）を固定した後、マイクロメータヘッドにより±3.5°の微動調整ができます。 ・移動ガイドにクロスローラを使用し、スムーズで精密な位置決めが可能です。 ・材料や検体の測定・分析のために、小型の装置・測定器を固定・位置調整する用途に有用です。 【参考】 ・こちらの商品に限らず、お困りごとやカスタマイズにも対応します。 ※産業交流展2024に、重荷重大型ラボジャッキ RJ-105HL（本製品）、高精度大型回転ステージ RA-200CR を展示しました。
ピエゾステージの選定に！最高1nmの分解能と優れた応答性！応用例も掲載中
最高1nmの分解能をもった超高分解能・高速応答のピエゾステージです。 内蔵変位センサによるフィードバック制御で信頼性の高い位置決めを行うことが出来ます。 【使用例】 ■半導体･液晶検査装置、干渉計機器、分析装置、顕微鏡レンズフォーカス、超精密加工、レーザー関連機器、ナノメータポジショニングなど・・・ 【ここが選ばれる理由】 ■1品からのカスタム対応 ■真空・非磁性対応可 ■組み合わせユニット対応 豊富なラインナップ、応用例を多数掲載中！ 詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
ピエゾWalk駆動による、ストローク25mm以上のリニアステージ
・トラベルレンジ：25mmと50mmタイプ ・75 N のアクティブフォース ・3 nm ミニマムインクリメンタルモーション ・電源オフ時のセルフロッキング ・多軸セットアップ対応：XY、XZ、XYZ ・真空対応
長寿命・高剛性設計｜高負荷環境でも精密でスムーズな動作を実現
高精度な産業オートメーション向けリニアステージ。 V-D07高負荷リニアモーターステージは、産業オートメーションやレーザー加工、精密検査装置に最適な高性能プラットフォームです。 アイアンコアリニアモータによるダイレクトドライブで、摩擦レスの高速・高加速度駆動を実現。最大3000mm/sの移動速度と1000Nの耐荷重を誇り、高精度リニアエンコーダによりナノメートル単位の位置決めが可能です。 高負荷環境での精密動作を求める製造業に、新たな選択肢を提供します。
高速応答＆高剛性ガイドで、サブミクロンの精密Z軸制御を実現
V-Z03は、ボイスコイルモータによるダイレクトドライブ方式で、高速かつ高精度なZ軸制御を実現。 高剛性クロスローラーガイドとリニアエンコーダにより、最小0.035µmの微細動作が可能。 最大荷重150Nに対応し、セルフロック機能や空圧カウンターバランスを搭載。 半導体製造や精密測定など、要求の厳しい分野で優れた性能を発揮します。
非接触・無摩耗で長寿命、ナノメートル単位の滑らかな動作を実現
PIglide A-121は、磁気ダイレクトドライブとエアベアリング技術を融合した直動リニアステージです。 摩擦やバックラッシュが一切なく、優れた真直度（最大±50nm）と繰返し精度（最大±10nm）を実現します。 非接触構造により長寿命でメンテナンスも最小限。 最大行程500mm、最大速度500mm/sまで対応。高精度な位置決めや速度制御が求められる半導体検査装置や精密測定装置に理想的な構成です。
摩擦ゼロ。25 mmの移動範囲で±0.2 µmの高精度位置決めを実現
A-143 PIglideは、25 mmの移動範囲を持つ小型リニアエアベアリングステージで、非接触構造により摩耗や潤滑の必要がなく、長寿命かつクリーンルーム対応を実現。 最小インクリメント0.025 µm、位置精度±0.2 µm、真直度±0.05 µmとナノメートルレベルの精度を誇り、計測・検査・光学機器のステージングに最適。 リニアモーターと32ビットBiSS-Cエンコーダを内蔵し、最大速度390 mm/s、加速度10 m/s²の高性能モーションが可能です。
最大33mmの移動量！超小型で高精度ピエゾ駆動リニアステージ
「B-421 BIX」は、筐体幅25mmで厚さ11mmと小型で、最大33mmの移動量を実現。 ピエゾ慣性ドライブにより、比較的高い保持力、高い分解能と位置再現性を発揮します。多軸に組合せも容易に可能で、装置設計におけるスペース制限を解決しつつ、ナノメートルスケールの動作を可能にします。
摩擦ゼロの回転精度。平面度200nm以下で光学検査に最適
PIglide A-62xシリーズは、光学アライメントや精密検査用途に求められる高精度・高安定性を追求したエアベアリング回転ステージです。 摩擦のない非接触回転により、ウォブルや偏心を極限まで抑制。平面度・偏心率は200nm以下と、ナノメートル単位の制御を実現します。 トルクモーターとオプションの絶対値エンコーダにより、位置決めも迅速かつ安全。クリーンルーム対応、水平・垂直どちらの設置にも対応し、実験環境に応じた柔軟なシステム構築が可能です。
5nm分解能・200mm/sで高速・滑らかなサブミクロン動作を実現
A-142は、10mmの移動範囲で最大200mm/sの速度と10m/s²の加速度を実現する、ボイスコイルモータ駆動の小型リニアステージです。 5nmのセンサ分解能、±0.2µmの位置精度、最小50nmのインクリメンタル動作が可能。 摩耗ゼロのエアベアリング構造により、潤滑剤不要・クリーンルーム対応で、半導体検査や光学調整、計測アプリケーションに最適です。
最大4軸対応、データ記録・波形生成機能も標準搭載
E-727は最大4チャンネル対応のデジタル制御ユニットで、標準仕様に加え高出力電流モデル（最大1500mA）もラインナップ。 アナログ入力／出力端子に加え、デジタルI/O、センサーモニター出力、波形ジェネレーター機能などを搭載し、先進的なピエゾモーションアプリケーションに完全対応。 センサーバンド幅10kHz、サンプリングレート100kHzでの信号処理が可能で、動的計測や同期制御にも優れた性能を発揮します。
