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最大800Nの保持力と5nm分解能、ナノ位置決めに革新を
N-216は、最大800Nの保持力と0.03nm（オープンループ）／5nm（クローズドループ）の分解能を備えたピエゾステッピングアクチュエータです。 独自のPiezoWalk(R)技術により、フルステップモードとナノステッピングモードを切り替えながら、高速かつナノ精度の位置決めが可能。 非磁性・クリーン・真空環境に対応し、半導体製造、ウェハ検査、ナノリソグラフィなど、微細制御を要求されるアプリケーションに最適です。
最大30kgの耐荷重と±0.1µm再現性を両立した高精度6軸制御
H-840は、スチュワートプラットフォーム構造を採用した高精度ヘキサポッドで、6本のアクチュエータにより並列駆動されます。 Z軸±25mm、X/Y方向±50mm、回転±30°と柔軟な動作を実現し、光学アライメントやマイクロマニピュレーションなどの高度な位置制御が可能。 最大30kgまでの荷重に対応し、±0.1µmの位置再現性と高い制御精度を兼ね備えています。
±0.2µmの再現性、アブソリュートエンコーダ標準搭載の重荷重対応モデル
H-850は最大250kgの耐荷重を誇る高剛性ヘキサポッドで、±50mm（XY）/±25mm（Z）、および±30°の広範囲な動作が可能です。 再現性はZ軸±0.2µm、回転軸±7.5µradと高精度。ブラシレスDCギアモータによる滑らかな動作と、アブソリュートエンコーダの即時位置取得により、高速かつ安定した制御が可能です。 構造はパラレルキネマティック方式で、ロボティクス、重量物アライメント、試験設備などに最適です。
安定した製造プロセスを実現する産業用 6軸位置決めシステム
24時間・365日稼働を前提に設計された、堅牢かつ高精度な産業用途向けのヘキサポッド。 コンパクトな設計でありながら高い耐久性を備え、厳しい環境下でも信頼性の高い位置決めを実現します。
ペルチェの駆動電源独自の回路方式を採用！小型・高効率で高精度なドライバ
『TDC-1640/1660 シリーズ』は大容量ペルチェ素子用の1ch デジタルコントローラ（1200Ｗ/1800W タイプ）です。 温度変換部・PID 制御部・バイポーラ高効率定電流駆動部が一体となっており、AC 電源を供給するだけでペルチェ素子の温度制御ができます。 さらに大電力タイプながら制御安定度±0.03℃を実現しました。 またパソコンとのインターフェイスを標準装備していますので、あらゆるシステムに対応することができます。 【特徴】 ○小型・高精度 ・マイコンによるソフトウェアディジタル制御を採用で高精度 ・ペルチェの駆動電源に当社独自の回路方式を採用し 小型・高効率で高精度 ○高速 ・ペルチェの温度コントロール専用に開発 ・制御サイクルが10 回/秒と高速 ○汎用性 ・表示パネルから温度センサ（Ｐt100，サーミスタ）を選択して使用可 ・パソコンとのインターフェースを利用し、種々の温調システムを構築 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
薄型XY回転ステージを使用。芯出しが短時間で可能になった事例をご紹介
精密機械会社の品質管理課で使用している部品の外周振れ測定治具の 改善事例をご紹介いたします。 ワークのセンターリング(芯出し)に時間がかかっていることが課題でした。 そこでX軸Y軸の移動と360°回転ができるステージを採用。従来のようにボルトを 緩めて位置調整板を移動させるより短時間で芯出しができるようになりました。 【事例概要】 ■課題 ・ワークのセンターリング(芯出し)に時間がかかっている ■解決 ・ボルトを緩めて位置調整板を移動させるより短時間で芯出しが できるようになった ・外周振れ測定も精度よくできるようになった ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ロングステージを使用する事で位置移動の作業性が向上した事例をご紹介！
金属加工会社の検査工程で使用中の外観検査治具の改善事例を ご紹介いたします。 撮影準備で照明とカメラの位置移動の作業性が良くないことが課題でした。 そこで、照明とカメラをそれぞれロングステージに取り付け。従来のように ボルトを締めたり緩めたりする必要がないため位置移動が容易にでき 作業性が向上しました。 【事例概要】 ■課題 ・撮影準備で照明とカメラの位置移動の作業性が良くない ■解決 ・位置移動の作業性が向上 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ボルトを緩めたり締めたりする作業が不要！短時間で位置決めができるようになった事例
金属加工メーカーの検査工程で使用しているワークの厚さを測定する 治具の改善事例をご紹介いたします。 ワークの厚さを測定するセンサーの位置決めに時間がかかることが課題でした。 そこで、測長センサーをフロントロックステージに取り付け。従来のように ボルトを緩めたり締めたりする必要がないので短時間で位置決めが できるようになりました。 【事例概要】 ■課題 ・ワークの厚さを測定するセンサーの位置決めに時間がかかる ■解決 ・短時間で位置決めができるようになった ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ボルトを緩めたり締めたりする必要がなくなりセンサー位置変更が容易になった事例！
電気メーカーの製造工程で使用しているシャフト組込み治具の改善事例を ご紹介いたします。 センサーの位置変更で位置調整板をスライドさせるのが 面倒なことが課題でした。 そこで、位置調整板Xに変えてロングステージを使用。位置調整板Xを 固定するボルトを緩めたり締めたりする必要がなくなりセンサー位置変更が 容易になりました。 【事例概要】 ■課題 ・センサーの位置変更で位置調整板をスライドさせるのが面倒 ■解決 ・センサー位置変更が容易になった ・ボルトを締める時にセンサー位置がずれることがなくなった ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
位置決め精度が求められる半導体製造に最適！ストッパー不要で微動なく固定。
半導体製造において、高精度な位置決めは欠かせません。しかし、従来のアリ溝式ステージでは、ストッパーによる微動や位置ずれが発生し、作業効率の低下や製品不良のリスクがありました。ミラック光学の『セルフロックステージ SLXシリーズ』は、特許取得のロック機構により、止めた位置から微動せず、高精度な位置決めを実現します。 【活用シーン】 - 半導体製造におけるウェハ搬送や検査工程 - 精密部品の加工や組立工程 - マイクロデバイスの製造工程 - 研究開発における精密位置決め - 自動化システムにおける高精度な位置制御 【導入の効果】 - 位置決め精度向上による製品不良率の低減 - ストッパー操作の省略による作業時間の短縮 - 微動による位置ずれ防止による作業効率向上 - 高精度な位置決めによる製品品質の向上 - 長時間安定した位置決めを実現
位置決め精度を追求！ストッパー不要で微動なし。高精度加工を支えるステージ。
精密な機械加工において、高い位置決め精度と安定した固定は不可欠です。しかし、従来のアリ溝式ステージでは、ストッパーやクランプ操作による微動や位置ずれが発生し、加工精度を阻害する要因となっていました。ミラック光学の『セルフロックステージ SLXシリーズ』は、特許取得のセルフロック機構を搭載することで、これらの課題を解決し、高精度な加工を実現します。 【活用シーン】 - 高精度な部品加工 - 検査工程における精密な位置決め - 長時間固定が必要な作業 - 限られたスペースでの作業 - 複雑な形状の加工 【導入の効果】 セルフロックステージ SLXシリーズを導入することで、加工精度向上、作業効率アップ、作業時間の短縮、不良品の削減など、様々なメリットが期待できます。
位置決め精度が求められる自動化システムに！ストッパー不要で微動なし！
自動化システムにおける高精度な位置決め作業に最適な、アリ溝式ステージ『セルフロックステージ SLXシリーズ』をご紹介します。SLXシリーズは、特許取得のセルフロック機構を搭載することで高い位置決め精度と安定性を提供します。 【活用シーン】 - 高精度な位置決めが求められる精密機器の製造現場 - 自動化された検査工程におけるサンプルの位置決め - ロボットアームによる部品の搬送や組立工程 - 研究開発における実験装置の精密な位置調整 【導入の効果】 - 位置決め精度向上による製品品質の向上 - 手動ストッパーやクランプによる作業時間の削減 - 位置ずれによる不良品の発生抑制 - 自動化システムの安定稼働と信頼性の向上
位置決め精度が求められる実験に！ストッパー不要で微動なく固定。
研究開発における高精度な実験や検査作業において、試料の位置決めは非常に重要です。ミラック光学の『セルフロックステージ SLXシリーズ』は、特許取得のセルフロック機構を搭載することで、ストッパー不要で確実な固定を実現。微動なく、高精度な位置決めを可能にするアリ溝式ステージです。 【活用シーン】 - 研究開発における精密な実験や検査 - 微細加工や組立作業 - 光学顕微鏡や測定機器のステージ - 自動化システムにおける位置決め機構 - 長時間安定した位置決めが必要な用途 【導入の効果】 - 位置決め精度が向上し、実験結果の信頼性が高まります。 - ストッパー操作が不要になり、作業効率が向上します。 - 微動や位置ずれによるミスを防ぎ、作業の安全性を高めます。 - スタイリッシュなデザインで、実験スペースをスッキリと見せることができます。
精密測定での位置ズレも回避可能。スリム形状で狭小スペースでも使いやすい！
バリエーション豊富で多彩な組み合わせができる「アリ溝式ステージ」に、 ロングストロークでストッパー不要の『SLXシリーズ』が加わりました。 ストッパー類を排した構造によりスリムな形状を実現し、 省スペース設計の治具や装置にも適しています。 精密測定での位置ズレも回避でき、半導体や電子部品の 生産設備メーカーにも導入実績がある製品です。 【特長】 ■ステージの移動はお手持ちの六角レンチまたは六角ドライバーを使用 ■±15mmの広い移動量で柔軟な位置調整が可能 ■水平方向以外の設置も可能 ■1軸と2軸タイプをラインアップ ■高い位置決め精度での加工・検査が求められる用途や、 位置調整後に長時間確実に固定したい用途で活躍 ★現在、弊社製ステージ全般の特長をわかりやすく紹介した動画を公開中です。 ※製品の詳細は資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
ミラック光学製アリ溝式ステージ
アリ溝式ステージのガタ・遊び・ゴリ・ムラ・キシミについて解説します。 ミラック光学製アリ溝式ステージの特徴について解説します。
