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【真空で使える】エンコーダ内蔵の高分解能位置決めステージ
内蔵の光学式リニアエンコーダでステージの位置を検出してフルクローズドループ制御を行っているため高分解能で位置再現性に優れています。 ステッピングモーターとボールねじを使用して駆動しているため 位置の保持性に優れています。 真空チャンバー内でアウトガスが発生しづらい部品などを使用しているため、真空チャンバー内にステージを配置することができます。 40mmの範囲を動作可能で「50nm」または「100nm」分解能で 制御することが可能です。（コントローラによって変わります）
【真空で使える】サブミクロン分解能のフィードバックステージ
内蔵の光学式リニアエンコーダでステージのテーブルの位置を検出して、コントローラに位置情報をフィードバックしているため高分解能で位置再現性に優れています。 ステッピングモーターとボールねじを使用して駆動しているため 位置の保持性に優れています。 アウトガス対策として潤滑材、線材やモーター等を真空対応品に変更しているため、真空チャンバー内で使用可能です。 20mmの範囲を動作可能で「50nm」または「100nm」分解能で 制御することが可能です。（コントローラによって変わります）
真空中で使用可能！回転方向調整用ステージ
光学式リニアエンコーダを内蔵しており、ステージの可動部分の位置を検出することができるため、その位置情報をもとにコントローラが降るクローズドループ制御を行うため位置の再現性に優れています。 分解能はコントローラによって「0.00005」または「0.0001」分解能で 動作させることができます。 アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。
リニアエンコーダでナノメートル分解能・高再現性・高保持性を実現！特注製作もOK
当社が設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置および 真空対応高分解能位置決め装置(フィードバックステージシステム)の総合カタログです。 フィードバックステージ・フィードバックステージコントローラ、 ケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。 特注品・カスタム品の製作も承っております。お気軽にご相談ください。 【大気用システムの特徴】 リニアスケールを内蔵した小型位置決め装置を開発・製造・販売しております。 半導体関連の装置、通信関連、先端研究の光学系などで使用されています。 【真空対応システムの特徴】 創業以来、特注品の製作で得た真空対応に対するノウハウを元に 真空用途で高分解能及び高精度な再現性をご提供致します。 ※「PDFダウンロード」より総合カタログをご覧いただけます。 ご要望などお問い合わせフォームよりお気軽にご連絡ください。 また、下記リンクではカスタム品の製作例を紹介しております。
速度・送りモード切替えの操作性をさらに向上したジョイスティック！
オープン制御でありながら、他社リニアスケール付電動ステージと同等の位置再現性を実現。 速度・送りモード切替えの操作性をさらに向上したジョイスティックに加え、微細な移動を可能にするボタン式キーパッドも付属。 【特徴】 ○ステージ移動速度や単位表示を任意に変更可能 ○K規格ホルダ標準対応（各社インキュベータおよびサーモプレート対応） →「LCI製ChamlideLC、TCシリーズ」、 「東海ヒット製Stage Top Incubator、Thermo Plateシリーズ」等 ○NIKON製倒立顕微鏡に搭載可能 ○イメージングソフトに対応 →「MDJ製Metaシリーズソフトウェア（MetaMorph等）対応」、 「三谷商事製バイオイメージングソフトウェア LuminaVision対応」 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
ウエッジ角度によるエラーが皆無
FZくさび形ステージ（FZ080）は、くさび形機構による精密な垂直移動ステージです。80mmの正方形のステージは、直線移動するために精密なクロスローラーを利用しており、垂直方向に10mmの移動が可能です。くさび形機構は、高精度の光学位置センサーを使用して、垂直変位をエンコードしています。そのため、任意の方向からのアクセスを提供できます。
レーザー干渉計の高速レンズ位置決めや大口径ミラー位置決めに最適！
変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで、 高精度な位置決めが可能です。 その他詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
床面積を約2倍にも有効活用することができます
パレットステージとは、倉庫内部の空間利用効率化を目的とした中二階式の棚のことです。組み立て解体も容易で、工期も短く済みます。 【倉庫や工場、店舗の上部空間に必要最適な面積のラックをつくり保管効率を高めます】 倉庫の増築や拡張が困難な場合や、在庫品が増大した時、限られた床面積を約2倍に有効活用することができる積層棚・形鋼棚、パレットステージです。また、ユニット化された部材の組合わせによる自立構造で、短期間に設置できます。
お客様の声を元に、ヘキサポッドの駆動精度をより高めました！XY軸は40 nm、Z軸は20 nmのステップ動作を可能に
20年以上も前からヘキサポッドステージをご提供していますが、 お客様の声を元に、駆動精度を高めたヘキサポッドをリリースしました！ XY軸は40 nm、Z軸は20 nmのステップ動作を可能にします。 生産および測定技術における位置合わせおよび位置決めアプリケーションの最高の要求を満たすことが可能です。 ＜仕様＞ ・駆動軸 6軸 ・トラベルレンジ XY＝±50mm、Z=±25mm、θxθy＝±15度、θz＝±30度 ・最小移動量：XY＝40nm、Z=20nm、θxθy＝0.2µrad、θz＝0.4µrad ・最大速度：2.5mm/秒、30mrad/秒 ・耐荷重：40Kg（水平時） ・任意回転中心設定 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
PI社：ヘキサポッド位置決めシステムのグローバルカンパニー・高精度ヘキサポッド位置決めステージ一覧
PI社のヘキサポッド6軸ステージは、40年以上前から、ピエゾステージ同様に独自開発・自主生産をしており、ピエゾ位置決め製品と同様にヘキサポッドでもマーケットリーダーです。 ＜ヘキサポッドの特徴＞ ・回転中心を任意位置に簡単設定 ・パラレル駆動で累積誤差がない ・コンパクトで高剛性で高安定性 ・設置向きが任意でも可能 など ※製品につきましてはカタログや弊社HPをご参考にしてください。 ヘキサポッドの動画もございます。
位置決め精度が格段に向上！ストッパー不要で微動なし！
光学機器の精密な位置決め調整に最適な、アリ溝式ステージ『セルフロックステージ SLXシリーズ』をご紹介します。従来のステージでは、ストッパーやクランプ操作による微動や位置ずれが発生し、高精度な調整が難しいという課題がありました。SLXシリーズは、特許取得のセルフロック機構を搭載することで、これらの課題を解決し、高い位置決め精度を実現します。 【活用シーン】 - 光学顕微鏡、画像認識システム、レーザー加工機などの精密機器の調整 - 高精度な位置決めが求められる検査工程 - 長時間安定した位置決めが必要な実験や測定 - 限られたスペースでの設置が必要な場合 【導入の効果】 セルフロック機構により、微動や位置ずれを防止することで、高精度な位置決めを実現します。これにより、製品の品質向上、検査時間の短縮、作業効率の向上に貢献します。また、ストッパー不要のため、操作が簡単になり、作業者の負担軽減にも繋がります。
位置ずれを防ぐ、高精度セルフロックステージ
電子部品製造においては、精密な位置決めが求められます。ミラック光学の「セルフロックステージ SLXシリーズ」は、特許取得のセルフロック機構を搭載することで高い位置決め精度を実現します。 【活用シーン】 - 精密部品の検査・測定 - 自動化ラインにおける位置決め - 高精度な加工工程 - 長時間固定が必要な用途 【導入の効果】 - 位置ずれによる製品不良の防止 - 作業効率の向上 - 精密な位置決めによる加工精度の向上 - 検査・測定の精度向上
高精度動作を実現！止めた位置から微動しない、ロングストロークのセルフロックステージ
ロボット工学における高精度動作を実現するために、位置決め精度と安定性が重要な課題となっています。ミラック光学の「セルフロックステージ SLXシリーズ」は、特許取得のセルフロック機構を搭載し、位置調整後の微動を防止することで、安定した高精度動作を実現します。 【活用シーン】 - 自動搬送システムにおける正確な位置制御 - 検査装置における高精度なステージ移動 - 研究開発における微細な部品の取扱 【導入の効果】 位置決め精度向上による作業効率の改善 - 微動による誤動作や不良品の発生防止 - 長時間安定した動作を実現し、信頼性を向上 - 設置スペースの有効活用
止めた位置から微動しない！ロングストロークで高精度測定を実現
高精度測定に欠かせないアリ溝式ステージに、ロングストロークでストッパー不要の『セルフロックステージ SLXシリーズ』が新登場。特許取得のセルフロック機構により、位置調整後の微動や位置ずれを防ぎ、安定した測定環境を実現します。 【活用シーン】 - 高精度な測定や検査が必要な場面 - 長時間安定した位置決めが必要な場面 - 微動や位置ずれが許されない場面 - 限られたスペースでの作業 - 複雑な形状の測定 【導入の効果】 セルフロック機構により、位置調整後の微動や位置ずれを防ぐことで、測定精度を向上させます。また、ストッパー不要のため、操作が簡単になり、作業効率が向上します。さらに、スリムな形状で設置場所を選ばないため、限られたスペースでも使用できます。
高精度部品加工を支える、ストッパー不要のロングストロークステージ。
自動車製造における検査工程では、精密な位置決めと安定した固定が求められます。従来のアリ溝式ステージでは、手動ストッパーやクランプ操作による微動や位置ずれが発生し、検査精度に影響を与える可能性がありました。ミラック光学の『セルフロックステージ SLXシリーズ』は、特許取得のセルフロック機構を搭載することで、これらの課題を解決し、高精度な検査を可能にするアリ溝式ステージです。 【活用シーン】 - 自動車部品の寸法検査 - エンジン部品の表面検査 - 検査工程における精密な位置決め - 長時間固定が必要な検査 【導入の効果】 - 検査精度の向上 - 検査時間の短縮 - 作業効率の改善 - 人為的なミス削減 - 検査結果の信頼性向上
