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ピエゾステージの選定に！最高1nmの分解能と優れた応答性！応用例も掲載中
最高1nmの分解能をもった超高分解能・高速応答のピエゾステージです。 内蔵変位センサによるフィードバック制御で信頼性の高い位置決めを行うことが出来ます。 【使用例】 ■半導体･液晶検査装置、干渉計機器、分析装置、顕微鏡レンズフォーカス、超精密加工、レーザー関連機器、ナノメータポジショニングなど・・・ 【ここが選ばれる理由】 ■1品からのカスタム対応 ■真空・非磁性対応可 ■組み合わせユニット対応 豊富なラインナップ、応用例を多数掲載中！ 詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
最大30kgの耐荷重と±0.1µm再現性を両立した高精度6軸制御
H-840は、スチュワートプラットフォーム構造を採用した高精度ヘキサポッドで、6本のアクチュエータにより並列駆動されます。 Z軸±25mm、X/Y方向±50mm、回転±30°と柔軟な動作を実現し、光学アライメントやマイクロマニピュレーションなどの高度な位置制御が可能。 最大30kgまでの荷重に対応し、±0.1µmの位置再現性と高い制御精度を兼ね備えています。
ペルチェの駆動電源独自の回路方式を採用！小型・高効率で高精度なドライバ
『TDC-1640/1660 シリーズ』は大容量ペルチェ素子用の1ch デジタルコントローラ（1200Ｗ/1800W タイプ）です。 温度変換部・PID 制御部・バイポーラ高効率定電流駆動部が一体となっており、AC 電源を供給するだけでペルチェ素子の温度制御ができます。 さらに大電力タイプながら制御安定度±0.03℃を実現しました。 またパソコンとのインターフェイスを標準装備していますので、あらゆるシステムに対応することができます。 【特徴】 ○小型・高精度 ・マイコンによるソフトウェアディジタル制御を採用で高精度 ・ペルチェの駆動電源に当社独自の回路方式を採用し 小型・高効率で高精度 ○高速 ・ペルチェの温度コントロール専用に開発 ・制御サイクルが10 回/秒と高速 ○汎用性 ・表示パネルから温度センサ（Ｐt100，サーミスタ）を選択して使用可 ・パソコンとのインターフェースを利用し、種々の温調システムを構築 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
位置決め精度が求められる半導体製造に最適！ストッパー不要で微動なく固定。
半導体製造において、高精度な位置決めは欠かせません。しかし、従来のアリ溝式ステージでは、ストッパーによる微動や位置ずれが発生し、作業効率の低下や製品不良のリスクがありました。ミラック光学の『セルフロックステージ SLXシリーズ』は、特許取得のロック機構により、止めた位置から微動せず、高精度な位置決めを実現します。 【活用シーン】 - 半導体製造におけるウェハ搬送や検査工程 - 精密部品の加工や組立工程 - マイクロデバイスの製造工程 - 研究開発における精密位置決め - 自動化システムにおける高精度な位置制御 【導入の効果】 - 位置決め精度向上による製品不良率の低減 - ストッパー操作の省略による作業時間の短縮 - 微動による位置ずれ防止による作業効率向上 - 高精度な位置決めによる製品品質の向上 - 長時間安定した位置決めを実現
位置決め精度を追求！ストッパー不要で微動なし。高精度加工を支えるステージ。
精密な機械加工において、高い位置決め精度と安定した固定は不可欠です。しかし、従来のアリ溝式ステージでは、ストッパーやクランプ操作による微動や位置ずれが発生し、加工精度を阻害する要因となっていました。ミラック光学の『セルフロックステージ SLXシリーズ』は、特許取得のセルフロック機構を搭載することで、これらの課題を解決し、高精度な加工を実現します。 【活用シーン】 - 高精度な部品加工 - 検査工程における精密な位置決め - 長時間固定が必要な作業 - 限られたスペースでの作業 - 複雑な形状の加工 【導入の効果】 セルフロックステージ SLXシリーズを導入することで、加工精度向上、作業効率アップ、作業時間の短縮、不良品の削減など、様々なメリットが期待できます。
位置決め精度が求められる自動化システムに！ストッパー不要で微動なし！
自動化システムにおける高精度な位置決め作業に最適な、アリ溝式ステージ『セルフロックステージ SLXシリーズ』をご紹介します。SLXシリーズは、特許取得のセルフロック機構を搭載することで高い位置決め精度と安定性を提供します。 【活用シーン】 - 高精度な位置決めが求められる精密機器の製造現場 - 自動化された検査工程におけるサンプルの位置決め - ロボットアームによる部品の搬送や組立工程 - 研究開発における実験装置の精密な位置調整 【導入の効果】 - 位置決め精度向上による製品品質の向上 - 手動ストッパーやクランプによる作業時間の削減 - 位置ずれによる不良品の発生抑制 - 自動化システムの安定稼働と信頼性の向上
位置決め精度が求められる実験に！ストッパー不要で微動なく固定。
研究開発における高精度な実験や検査作業において、試料の位置決めは非常に重要です。ミラック光学の『セルフロックステージ SLXシリーズ』は、特許取得のセルフロック機構を搭載することで、ストッパー不要で確実な固定を実現。微動なく、高精度な位置決めを可能にするアリ溝式ステージです。 【活用シーン】 - 研究開発における精密な実験や検査 - 微細加工や組立作業 - 光学顕微鏡や測定機器のステージ - 自動化システムにおける位置決め機構 - 長時間安定した位置決めが必要な用途 【導入の効果】 - 位置決め精度が向上し、実験結果の信頼性が高まります。 - ストッパー操作が不要になり、作業効率が向上します。 - 微動や位置ずれによるミスを防ぎ、作業の安全性を高めます。 - スタイリッシュなデザインで、実験スペースをスッキリと見せることができます。
精密測定での位置ズレも回避可能。スリム形状で狭小スペースでも使いやすい！
バリエーション豊富で多彩な組み合わせができる「アリ溝式ステージ」に、 ロングストロークでストッパー不要の『SLXシリーズ』が加わりました。 ストッパー類を排した構造によりスリムな形状を実現し、 省スペース設計の治具や装置にも適しています。 精密測定での位置ズレも回避でき、半導体や電子部品の 生産設備メーカーにも導入実績がある製品です。 【特長】 ■ステージの移動はお手持ちの六角レンチまたは六角ドライバーを使用 ■±15mmの広い移動量で柔軟な位置調整が可能 ■水平方向以外の設置も可能 ■1軸と2軸タイプをラインアップ ■高い位置決め精度での加工・検査が求められる用途や、 位置調整後に長時間確実に固定したい用途で活躍 ★現在、弊社製ステージ全般の特長をわかりやすく紹介した動画を公開中です。 ※製品の詳細は資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
「バキュームチャック」や「ヒートコマ」などをラインアップ！半導体の製造に関連する製品をご紹介
当社が取り扱っている『多孔質吸着ステージ』をご紹介します。 「バキュームチャック」はダイボンディング時にウエハーを吸着。 また、ピックアップ時に近隣チップの浮きや回りの問題を解消するには 「ポーラスチャック」を推奨します。 この他、「ヒートコマ」はワーク搭載部に多孔質材を使用する事により、 吸着穴が無くても全面均一な吸着が可能です。 【特長】 ＜バキュームチャック＞ ■ダイボンディング時にウエハーを吸着 ■カスタムオーダーで様々な材質、形状、パターンの対応が可能 ＜ポーラスチャック＞ ■ウエハーシート(チップ)を全面均一に吸着が可能 ■ウエハーシートのたわみ解消 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
