センサのメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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センサ - メーカー・企業1443社の業務用製品ランキング | イプロスものづくり

更新日: 集計期間:2026年06月10日~2026年07月07日
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センサのメーカー・企業ランキング

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  1. 株式会社キーエンス 大阪府/産業用電気機器
  2. 因幡電機産業株式会社 産機カンパニー 大阪府/商社・卸売り
  3. プレシテック・ジャパン株式会社 東京都/試験・分析・測定
  4. 4 KELLER Pressure株式会社 日本支社 東京都/機械要素・部品
  5. 5 インタコンポ株式会社 東京本社、大阪支店、長野支店、横浜事業所 東京都/商社・卸売り

センサの製品ランキング

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  1. オールインワン スマート3次元センサー 《Gocator》 因幡電機産業株式会社 産機カンパニー
  2. クランプオン式流量センサ『FD-Hシリーズ』 株式会社キーエンス
  3. 3DラインセンサCHROCODILE CLS2シリーズ プレシテック・ジャパン株式会社
  4. 4 AI搭載 画像センサ『IV4シリーズ』 株式会社キーエンス
  5. 5 レーダー式レベルセンサ『FRシリーズ』 株式会社キーエンス

センサの製品一覧

6601~6630 件を表示 / 全 7680 件

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【燃料電池向け】水素対応 防爆圧力センサ

燃料電池の安全性を高める、防爆認証取得済みの圧力センサ

自動車の燃料電池システムにおいては、水素ガスの漏洩を検知し、安全を確保することが重要です。特に、高圧環境下での水素ガスの正確な圧力測定は、システムの効率性と安全性を両立させるために不可欠です。不適切な圧力測定は、システムの性能低下や、最悪の場合、爆発事故につながる可能性があります。当社の水素対応 防爆圧力センサは、JPEx, ATEX, IECEx, EACの防爆認証を取得しており、燃料電池システムの安全な運用をサポートします。 【活用シーン】 ・燃料電池自動車(FCV) ・水素ステーション ・水素製造プラント 【導入の効果】 ・水素漏洩のリスク低減 ・システムの安全性の向上 ・高い信頼性と耐久性

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【造船向け】水素貯蔵用 防爆圧力センサ

水素貯蔵の安全性を確保する、防爆認証取得済みの圧力センサ

造船業界における水素貯蔵では、安全性が最重要課題です。水素は可燃性が高く、漏洩による爆発のリスクを常に考慮する必要があります。圧力の正確な監視は、安全な水素貯蔵に不可欠であり、異常な圧力上昇を早期に検知し、事故を未然に防ぐために重要です。当社の水素対応 防爆圧力センサは、JPEx, ATEX, IECEx, EACの防爆認証を取得しており、危険エリア内での使用が可能です。水素貯蔵タンクの圧力監視に最適です。 【活用シーン】 ・水素貯蔵タンク ・水素供給システム ・水素燃料電池システム 【導入の効果】 ・水素漏洩のリスクを低減 ・プラントの安全性を向上 ・法規制への適合

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【トラック向け】自動車用圧力センサ

自動車用圧力センサ ETLシリーズ【高精度モデルあり】

トラックのエアブレーキシステムでは、安全性の確保が最重要課題です。ブレーキの正確な動作は、車両の制動距離や安定性に直結し、事故のリスクを低減するために不可欠です。圧力センサの故障は、ブレーキ性能の低下を招き、重大な事故につながる可能性があります。当社の自動車用圧力センサは、エアブレーキシステムの正確な圧力制御を可能にし、安全な運行を支えます。 【活用シーン】 ・エアブレーキシステム ・油圧システム 【導入の効果】 ・ブレーキシステムの信頼性向上 ・安全性の向上 ・メンテナンスコストの削減

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【建設機械向け】自動車用圧力センサ

自動車用圧力センサ ETLシリーズ【高精度モデルあり】

建設機械業界では、重量物の正確な制御が求められます。特に、油圧システムにおける圧力の正確な測定は、機械の安全な動作と効率的な作業に不可欠です。不正確な圧力測定は、過負荷による故障や作業効率の低下につながる可能性があります。当社の自動車用圧力センサは、高精度な圧力測定を実現し、建設機械の重量制御をサポートします。 【活用シーン】 ・油圧ショベル、クレーン、ブルドーザーなどの油圧システム ・重量物のリフト、移動、制御 ・建設現場での安全管理 【導入の効果】 ・高精度な圧力測定による安全性の向上 ・油圧システムの効率的な制御 ・機械の故障リスクの低減

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【工作機械向け】自動車用圧力センサ

自動車用圧力センサ ETLシリーズ【高精度モデルあり】

工作機械業界では、高い加工精度が求められます。特に、油圧システムにおける圧力制御は、加工精度に大きく影響します。圧力センサの故障や精度の低い測定は、不良品の発生や機械の停止につながる可能性があります。当社の自動車用圧力センサは、高精度な圧力測定を実現し、工作機械の安定稼働に貢献します。 【活用シーン】 ・油圧プレス ・切削加工機 ・研削盤 【導入の効果】 ・加工精度の向上 ・不良品率の低減 ・機械の安定稼働

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【飲料充填向け】AD-101シリーズ

飲料充填ラインの異物混入リスクを低減!

飲料業界では、製品の品質と安全性を確保するために、充填工程における異物混入の防止が重要です。特に、高速で稼働する充填ラインにおいては、液面や気泡の発生を正確に検知し、異常を早期に発見することが求められます。気泡の混入は、製品の外観不良や品質劣化につながる可能性があります。AD-101シリーズは、充填工程における液面や気泡の連続監視を行い、異物混入リスクを低減します。 【活用シーン】 ・飲料充填ライン ・液面監視が必要な工程 ・気泡の発生を検知したい工程 【導入の効果】 ・異物混入による製品不良の削減 ・品質管理の向上 ・生産効率の改善

  • その他計測・記録・測定器
  • センサ

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【化粧品配合向け】AD-101シリーズ

化粧品製造における配合管理をサポート!気泡の発生を確実に検知します。

化粧品業界では、製品の品質を一定に保つために、配合成分の正確な計量と混合が求められます。特に、製造プロセスにおける気泡の混入は、製品の見た目や品質に悪影響を与える可能性があります。AD-101シリーズは、配合液の流れの途切れや気泡の発生を確実に検知し、品質管理をサポートします。チューブを挟むだけで、液面または気泡の存在について連続監視を行うため、製造プロセスの効率化にも貢献します。 【活用シーン】 ・化粧品製造における配合液の供給ライン ・充填工程における気泡の検知 ・品質管理における異物混入の早期発見 【導入の効果】 ・配合液の品質安定化 ・不良品の削減 ・製造プロセスの効率化

  • その他計測・記録・測定器
  • センサ

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【インク製造向け】AD-101シリーズ

インク製造における粒子径管理をサポート!気泡の発生を連続監視。

インク製造業界では、インクの品質を安定させるために、粒子径の均一性が重要です。インク中の気泡は、粒子径の測定精度を低下させ、製品の仕上がりに悪影響を与える可能性があります。AD-101シリーズは、インク製造プロセスにおける気泡の発生を連続的に監視し、品質管理を支援します。チューブを挟むだけで、インクと接触することなく気泡を検知できるため、インクへの汚染リスクを低減します。 【活用シーン】 ・インク製造ラインにおける品質管理 ・インクの粒子径測定前処理 ・インクの充填工程 【導入の効果】 ・気泡の早期発見による品質向上 ・インクの無駄を削減 ・安定した製品供給

  • その他計測・記録・測定器
  • センサ

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【航空宇宙向け】digiVIT 渦電流式変位センサ

ボタン一つで感度調整・出力変換可能。高精度な振動監視に。

航空宇宙業界では、航空機の安全性と性能を維持するために、振動監視が不可欠です。特に、エンジンや構造部品の微小な振動を正確に測定し、異常を早期に発見することが重要です。digiVITは、高精度な測定能力と容易な操作性により、航空宇宙分野における振動監視の課題解決に貢献します。 【活用シーン】 ・航空機のエンジン振動監視 ・構造部品の振動監視 ・試験・研究における振動測定 【導入の効果】 ・高精度な振動データの取得 ・早期の異常検知による安全性の向上 ・試験・研究の効率化

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【工作機械向け】digiVIT 渦電流式変位センサ

ボタン一つで感度調整・出力変換可能な変位センサ

工作機械業界では、加工精度を維持するために、工具の摩耗状態を正確に把握することが重要です。工具の摩耗は、加工精度の低下や不良品の発生につながり、生産効率を低下させる可能性があります。digiVITは、工具の変位を非接触で高精度に測定し、摩耗の進行を早期に検知することで、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・工作機械の工具摩耗監視 ・切削工具の異常検知 ・研削盤の砥石摩耗監視 【導入の効果】 ・工具交換の最適化によるコスト削減 ・加工精度の向上 ・不良品の削減

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【航空宇宙向け】半導体加速度センサ 1201/1201F

DCから測定可能なMEMS式衝突用加速度センサ。ブラックボックスに最適。

航空宇宙業界のブラックボックスでは、衝撃や加速度を正確に記録することが重要です。事故原因の究明や、飛行データの分析に不可欠な情報源となります。信頼性の高い加速度センサは、過酷な環境下での使用に耐え、正確なデータを提供する必要があります。当社の半導体加速度センサ1201/1201Fは、±50 ~±2000 Gの広いレンジに対応し、NISTトレーサブルな精度で、ブラックボックスの記録要件を満たします。 【活用シーン】 ・航空機のブラックボックス ・ロケット、ミサイルの衝撃記録 ・宇宙船の衝撃測定 【導入の効果】 ・事故時の原因究明に貢献 ・飛行データの正確な記録 ・高い信頼性と耐久性

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【物流向け】衝突用加速度センサ 1201/1201F

貨物輸送中の衝撃を検知し、記録。輸送品質を守ります。

物流業界では、輸送中の貨物への衝撃を正確に把握し、品質を維持することが重要です。衝撃による破損は、顧客からのクレームや企業の信頼失墜につながる可能性があります。当社の半導体加速度センサ 1201/1201Fは、貨物輸送中の衝撃を検知し、記録することで、輸送品質の向上に貢献します。 【活用シーン】 ・トラック輸送中の貨物 ・航空輸送中の貨物 ・鉄道輸送中の貨物 ・倉庫内での貨物移動 【導入の効果】 ・輸送中の衝撃を可視化し、原因を特定 ・衝撃発生時の状況を記録し、証拠として活用 ・輸送ルートや梱包方法の見直しに役立て、輸送品質を向上 ・顧客からのクレーム対応を迅速化 ・企業の信頼性向上

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【医療機器向け】半導体加速度センサ 1201/1201F

患者モニタリングに。DCから測定可能なMEMS式加速度センサ

医療機器分野における患者モニタリングでは、患者の微細な動きや状態を正確に捉えることが重要です。特に、患者の体動や振動を検知し、早期の異常発見に役立てるためには、高精度な加速度センサが不可欠です。本製品は、DCからの測定に対応しており、患者の微細な動きを捉えることが可能です。 【活用シーン】 ・患者の体動モニタリング ・医療機器の振動検知 【導入の効果】 ・患者の状態を正確に把握 ・早期の異常発見に貢献

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透過型フォトセンサ KI5784

防塵タイプ!アナログ出力のフォトインタラプタです

KI5784はアナログ出力の防塵型フォトインタラプタです。 防塵構造のため粉塵の影響を受けにくいのが特徴です。 検出精度が高く、スリット幅は0.5mm。可視光カットタイプのため、外乱光の影響も受けにくくなっています。カード機器、両替機の物体通過検出や自動販売機、アミューズメント機器のコイン通過検出、OA機器等でご使用いただけます。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

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分離型フォトセンサ 完全防塵タイプ KB3820-14/24

受光側に高感度フォトトランジスタを採用した分離型フォトセンサです。

分離型フォトセンサ完全防塵タイプ KB3820-14/24は、発光側に赤外発行ダイオード、受光側に高感度フォトトランジスタを採用した分離型フォトセンサです。発光側、受光側単体としても使用可能です。発光、受光間ギャップを任意に設定可能(1~200mm)。防塵型で、レンズ内部への粉塵対策構造(樹脂封止タイプ)となっております。ローコストタイプです。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

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【製薬向け】アタッチ式顕微ラマンセンサー

顕微鏡に簡単装着、薬物分析を加速するラマンセンサー

製薬業界における薬物分析では、迅速かつ正確な物質同定が求められます。特に、医薬品の品質管理や研究開発において、微量成分の特定や結晶多形の確認は、製品の安全性と有効性を保証する上で重要です。高価なラマン顕微鏡システムに代わる、当社の「アタッチ式顕微ラマンセンサー」は、お持ちの顕微鏡にわずか1分で簡単装着でき、薬物分析を効率化します。 【活用シーン】 ・医薬品の品質管理 ・研究開発における物質同定 ・微量成分の分析 ・結晶多形の確認 【導入の効果】 ・迅速な分析による業務効率化 ・コスト削減 ・場所を選ばない分析環境の構築 ・データの可視化による分析の質の向上

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【半導体品質管理向け】アタッチ式顕微ラマンセンサー

顕微鏡に簡単装着!半導体製造の品質管理を強力サポート

半導体業界の品質管理では、製品の微細な構造や組成を迅速かつ正確に分析することが求められます。特に、ウェーハやチップの異物検出、材料の組成分析は、製品の歩留まりと信頼性を左右する重要な要素です。高価なラマン顕微鏡システムに代わる当社の「アタッチ式顕微ラマンセンサー」は、お持ちの顕微鏡にわずか1分で簡単装着でき、圧倒的なコストパフォーマンスを実現します。世界最小クラスのプラグインミニラマンデバイスで、顕微鏡を瞬時にラマンデバイスに変え、スマートフォンやタブレットで即座にラマン分光計測が可能です。 【活用シーン】 ・ウェーハの異物分析 ・チップの材料組成分析 ・製造工程における品質管理 【導入の効果】 ・迅速な分析による品質管理の効率化 ・コスト削減 ・リモート計測による利便性の向上

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【材料科学向け】アタッチ式顕微ラマンセンサー

顕微鏡に簡単装着、材料の構造解析をどこでも。

材料科学分野では、材料の特性評価のために、迅速かつ正確な構造解析が求められます。特に、新素材の開発や品質管理においては、微小領域の構造情報を非破壊で取得することが重要です。高価な大型ラマン顕微鏡システムに代わる、当社の「アタッチ式顕微ラマンセンサー」は、お持ちの顕微鏡にわずか1分で簡単装着できます。これにより、材料の構造解析を容易にし、研究開発の効率化に貢献します。 【活用シーン】 ・材料の組成分析 ・異物分析 ・表面分析 ・薄膜分析 【導入の効果】 ・迅速なデータ取得 ・コスト削減 ・ポータブル性による利便性向上

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【環境汚染物質分析向け】アタッチ式顕微ラマンセンサー

顕微鏡に簡単装着!汚染物質を迅速に特定

環境分野では、土壌や水質中の汚染物質の迅速かつ正確な特定が求められます。特に、微量な汚染物質の検出は、環境リスク評価において重要です。従来の分析手法では、時間とコストがかかる場合があり、迅速な対応を妨げる可能性があります。当社の「アタッチ式顕微ラマンセンサー」は、お持ちの顕微鏡に簡単に装着でき、汚染物質を迅速に特定できます。 【活用シーン】 ・土壌汚染調査 ・水質汚染調査 ・大気中の微粒子分析 【導入の効果】 ・迅速な汚染物質の特定による早期対応 ・高感度な分析による微量汚染物質の検出 ・コストパフォーマンスの向上

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【食品向け】アタッチ式顕微ラマンセンサー

食品中の異物を、顕微鏡で手軽にラマン分光分析。

食品業界では、製造過程における異物混入は、製品の品質を損なうだけでなく、消費者の健康被害や企業の信頼失墜につながる重大な問題です。異物検出は、食品の安全性を確保する上で非常に重要な課題です。従来の異物検査では、専門的な知識や高価な分析機器が必要とされていました。当社の「アタッチ式顕微ラマンセンサー」は、お持ちの顕微鏡に簡単に装着でき、食品中の異物を迅速かつ簡便に特定することを可能にします。これにより、異物混入リスクを低減し、食品の安全性を向上させることができます。 【活用シーン】 ・食品製造ラインでの異物検査 ・原材料の受け入れ検査 ・製品の品質管理 【導入の効果】 ・異物検出の迅速化 ・分析コストの削減 ・食品安全性の向上

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赤外線温度センサ(8点計測)

ひとつのセンサで8箇所を計測可能!タイヤ表面などの温度分布状況を計測

「赤外線温度センサ(8点計測)」は、ひとつのセンサで8箇所を計測可能で、タイヤ表面などの温度分布状況を計測可能な温度センサです。8点計測・CAN出力・小型・軽量・ブロックタイプなどの特徴があります。1CAN ID、放射率、ボーレート、応答速度、応答周波数は、CAN通信ツールで設定変更が可能です(CAN通信ツールは別売)。 モータースポーツの世界トップカテゴリークラス・実験・開発において、タイヤの表面温度計測や温度分布計測に採用実績があります。 主な用途は、モータースポーツ・一般産業・実験などです。 【特徴】 ○小型・軽量・CAN出力 ○8点計測 ○1CAN ID、放射率、ボーレート、応答速度、応答周波数は  CAN通信ツールで設定変更が可能(CAN通信ツールは別売) ○ボディカラー:赤 ○測定対象例:タイヤの表面温度・工業用タンクの表面温度・外壁 ○製品ラインナップ →測定範囲:-20~140℃、-20~200℃ 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

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【鉱業向け】POSITEK SENSORS

過酷な環境に対応する傾斜センサー

鉱業の現場では、重機の稼働状況や地盤の傾斜など、正確な傾斜検知が不可欠です。過酷な環境下での使用に耐え、安全な作業を支える信頼性の高いセンサーが求められます。POSITEK SENSORSは、鉱業における安全管理と効率的な作業を支援します。 【活用シーン】 ・鉱山機械の傾斜検知 ・地盤の傾斜監視 ・掘削作業における安全管理 【導入の効果】 ・重機の転倒リスクを低減 ・作業効率の向上 ・安全な作業環境の実現

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【造船向け】POSITEK SENSORS

過酷な環境に対応する直線・回転・傾斜センサー

造船業界における構造監視では、船体の歪みや傾斜を高精度に測定し、安全性を確保することが重要です。過酷な海洋環境下では、センサーの耐久性と正確なデータ取得が不可欠であり、故障や誤作動は重大な事故につながる可能性があります。POSITEK SENSORSは、過酷な環境下での使用を前提に設計されており、造船における構造監視のニーズに応えます。 【活用シーン】 ・船体の歪み測定 ・船体の傾斜測定 ・構造物の異常検知 【導入の効果】 ・高精度な測定による安全性の向上 ・過酷な環境下での長期的な利用 ・故障リスクの低減

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【風力発電向け】POSITEK SENSORS

過酷な環境に対応する、風力発電ブレード角度計測センサー

風力発電業界では、ブレードの角度を正確に計測し、風力エネルギーの最大効率化を図ることが求められます。特に、強風や低温などの過酷な環境下では、センサーの耐久性と精度の維持が重要です。角度計測の誤差は、発電効率の低下や、ブレードの損傷につながる可能性があります。POSITEK SENSORSは、過酷な環境下での使用を想定し、高い耐久性と精度を実現しています。 【活用シーン】 ・風力発電所のブレード角度計測 ・風力タービンの性能評価 ・ブレードの異常検知 【導入の効果】 ・発電効率の最適化 ・ブレードの損傷リスク低減 ・メンテナンスコストの削減

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【自動車向け】回転計測用光学式スピードセンサ 152 G7-E

自動車の速度計測に特化した光学式スピードセンサ

自動車業界において、正確な速度計測は、車両の性能評価、安全性の確保、そして開発プロセスの効率化に不可欠です。特に、モータースポーツや車両試験の現場では、高速回転体の精密な速度計測が求められます。従来の計測方法では、ノイズの影響を受けやすく、正確なデータが得られない場合がありました。Optel-Texysの「152G7-E」は、光ファイバー技術により、電磁ノイズの影響を受けにくい設計で、過酷な環境下でも安定した測定を実現します。 【活用シーン】 * モータースポーツ車両の速度計測 * 車両試験における速度データ取得 * 自動車部品の回転速度測定 【導入の効果】 * 正確な速度データの取得による車両性能の最適化 * ノイズに強い設計による安定した計測 * コンパクト設計による多様な現場への対応

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【航空宇宙エンジン向け】回転計測用光学式スピードセンサ

航空宇宙エンジンの回転計測に最適。高精度・高耐久性スピードセンサ

航空宇宙エンジン業界では、エンジンの性能と安全性を確保するために、回転数の正確な計測が不可欠です。過酷な環境下での使用に耐えうる、信頼性の高い計測ソリューションが求められます。当社の回転計測用光学式スピードセンサは、最大300kHzの高帯域に対応し、高速回転体の精密な計測を可能にします。電磁ノイズの影響を受けにくい設計により、過酷な環境下でも安定した測定を実現します。 【活用シーン】 ・航空宇宙エンジンの回転数測定 ・エンジン試験 ・回転体の速度監視 【導入の効果】 ・高精度な回転数計測によるエンジンの性能最適化 ・過酷な環境下での安定した計測 ・エンジンの安全性向上

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【鉱業向け】光学式スピードセンサ

搬送システムの速度管理に。高精度光学式スピードセンサ

鉱業における搬送システムでは、正確な速度管理が不可欠です。ベルトコンベアやその他の搬送装置の速度を正確に測定し、制御することは、効率的な運用と安全性の確保に繋がります。速度測定の精度が低い場合、過積載や詰まり、あるいは搬送物の破損といった問題を引き起こす可能性があります。光学式スピードセンサ 152M-1MHz/OPTEL TEXYSは、搬送システムの速度を正確に測定し、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・ベルトコンベアの速度監視 ・選鉱ラインの速度制御 ・鉱石搬送車の速度測定 【導入の効果】 ・搬送効率の向上 ・過積載や詰まりの防止 ・安全性の向上

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【ナノテク向け】高分解能静電容量センサー D-050・D-100

サブナノメートル分解能でナノ変位測定を実現。ナノ材料評価・ナノ位置決めに最適な非接触変位センサー

ナノテクノロジー分野では、材料や構造の微小な変位や変形をナノメートルレベルで正確に測定することが重要です。特に、ナノ材料評価やナノ計測、ナノポジショニングでは、わずかな変位の変化を高分解能で検出できるセンサーが求められます。 D-050 / D-100は、静電容量方式による非接触変位測定を採用した高分解能センサーです。最大0.01nmの分解能により、ナノスケールの変位測定や高精度位置制御を実現し、ナノテクノロジー研究やナノ計測システムにおける高精度測定を可能にします。 【活用シーン】 ・ナノ材料の特性評価 ・薄膜の厚さ測定 ・表面形状の精密測定 【導入の効果】 ・ナノメートルスケールでの高精度な測定が可能 ・非接触測定による材料への影響を最小化 ・多軸制御によるリアルタイム補正が可能

  • センサ
  • 変換機・トランスデューサ
  • その他電子部品
  • センサ

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【精密機械向け】サブナノ分解能・静電容量変位センサー D-510

サブナノメートル分解能の非接触変位測定。精密加工装置の位置制御と加工精度向上に貢献

精密加工分野では、加工精度や装置性能を向上させるために、ナノメートルレベルの高精度な変位測定が求められます。わずかな振動や位置ずれでも、加工精度や製品品質に大きな影響を与える可能性があります。 D-510は、静電容量方式による非接触変位測定を採用した高分解能センサーです。サブナノメートル分解能により、精密加工装置における位置フィードバックや振動測定を高精度に行うことができ、加工プロセスの安定化と精度向上に貢献します。 【活用シーン】 ・精密加工装置の位置フィードバック ・微細加工プロセスの位置制御 ・精密位置決めシステム ・半導体製造装置 ・精密振動測定 【導入の効果】 ・ナノレベルの高精度変位測定 ・非接触測定による対象物への影響低減 ・加工精度の向上 ・装置振動の高精度モニタリング

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【半導体装置向け】ナノ変位測定 静電容量センサー D-510

サブナノメートル分解能・最大10 kHz帯域。ウェーハ位置制御に最適な非接触静電容量センサー

半導体製造では、ウェーハステージや精密位置決め機構のわずかな変位や振動が、加工精度や製品歩留まりに大きく影響します。微細化が進む半導体プロセスでは、ナノメートルレベルの変位を高精度に測定することが重要です。 D-510 PISecaは、静電容量方式による非接触変位測定を採用した高分解能センサーです。サブナノメートル分解能と最大10 kHzの高帯域測定により、ウェーハステージの微小変位や装置振動を高精度に検出し、半導体製造装置における位置制御の高精度化とプロセス安定化に貢献します。 【活用シーン】 ・ウェーハステージの位置フィードバック ・半導体製造装置のナノ位置制御 ・ウェーハ表面の振動測定 ・精密アライメントシステム ・半導体検査装置 【導入の効果】 ・ナノレベルの高精度変位測定 ・非接触測定によるウェーハへの影響低減 ・装置振動の高精度モニタリング ・半導体プロセスの安定化と歩留まり向上

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