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300mm、450mm対応の半導体製造装置内等のウエハなどの搬送に最適
スーパークリーンルーム用多軸タイプ、4軸水平多関節型クリーンロボットGCR4280-AMシリーズは、300mm、450mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ、小型ガラス基板などの搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能
医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能 マイクロプレート搬送も可能 チルト機構によりシャーレを傾けて、培養液などの吸引可能 当社各ロボットに搬送部を取り付け可能（本仕様は水平多関節型ロボットへの搭載としています）
半導体製造装置内などのウエハ搬送に最適なツインアームロボット！
『STHR4000シリーズ』は、スーパークリーンルーム用の4軸円筒座標型 クリーンロボットです。 2本のアーム装備により、短時間でのウエハ交換が可能で主に半導体製造 装置内、検査装置などのウエハ搬送に適しております。 その他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っております ので、是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■アームバリエーションは95mmと156mmの二種類 ■Z軸バリエーションは200mmと300mm ■可搬重量はアーム第3関節換算3kgf以下 ■ツインアーム採用によりウエハ交換時間短縮 ■装置レイアウトに合わせてベースタイプとフランジタイプの選択可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
酸・アルカリの雰囲気中のウエハ搬送に最適な防水対応クリーンロボット！
『SWHR3156シリーズ』は、300mmウエハ対応反転+エッジグリップ機能 付の3軸円筒座標型防水対応クリーンロボットです。 保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中の ウエハ搬送に適しております。 他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、 是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■アームバリエーションは156mm ■Z軸バリエーションは200mmと300mm ■可搬重量はアーム第3関節換算3kgf以下 ■アーム部はテフロンコーティングにより耐蝕性を確保 ■アーム関節部防水構造にVシール使用 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
装置レイアウトの小型化が可能なクリーンロボット！
『SCR3100S-PMシリーズ』は、スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型 クリーンロボットです。 小フットプリント化により、半導体製造装置内、検査装置などの小径ウエハ 搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。 他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、 是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■アームバリエーションは100mm ■Z軸バリエーションは200mmと300mm ■可搬重量はアーム第3関節換算0.5kgf以下 ■装置レイアウトに合わせてベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ■動作モニター装備 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
小フットプリント化・軽量化を実現したクリーンロボット！
『SSCR3115Sシリーズ』は、スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型 クリーンロボットです。 装置レイアウトの小型化が可能。また小フットプリント化と軽量化により、 半導体製造装置内部、検査装置及びLED製造装置等の小型ウエハ搬送に 最適です。 他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、 是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■可搬重量はアーム第3関節換算0.2kgf以下(ワークのみ) ■動作モニター装備 ■制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/O ■全軸2相ステッピングモータ使用 ■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送に最適なクリーンロボット！
『SCR3000CSシリーズ』は、スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型 クリーンロボットです。 半導体装置内、検査装置などのウエハ搬送に適しており、被搬送物、装置 レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、 是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■アームバリエーションは100mm、130mm、160mm、200ｍｍ ■Z軸バリエーションは200mm～選択可能 ■可搬重量はアーム第3関節換算3kgf以下 ■動作モニター装備 ■制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/O ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送に適したクリーンロボット！
『STCR4000Sシリーズ』は、スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型 クリーンロボットです。 2本のアームにより短時間でウエハの交換が可能。使用用途は半導体製造 装置内、検査装置などのウエハ搬送に適しています。 他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、 是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■アームバリエーションは100mm～選択可能 ■Z軸バリエーションは200mm～選択可能 ■可搬重量はアーム第3関節換算3kgf以下 ■ツインアーム採用によりウエハ交換時間の短縮 ■装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
短納期対応！高い動作性能と低価格を両立したハイコストパフォーマンスモデル
『YK-XEシリーズ』は、最大可搬質量10kgで、自動車部品などの搬送・ 組み立てに好適な製品です。 アーム構造の見直しによる振動低減の実現やモーションの最適化により、 標準サイクルタイムを短縮。高速かつ振動の少ない俊敏な動作で生産性 向上に寄与します。 また、ビジョンシステムを簡単追加でき、ロボットもグリッパも照明も ひとつのコントローラで一括制御可能です。 【特長】 ■ハイスピード動作で生産性向上 ■高い動作性能と低価格を両立 ■コストパフォーマンスの高い生産設備の構築が可能 ■多彩なフィールドネットワークに対応 ■ツール用に使用できる配線や配管の本数、太さはクラストップレベル ■配線・配管の取り回しを容易にし、断線のリスクを低減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
簡単据え付け、機械の前に置くだけ！ ワーク交換からチャック爪交換までを自動化！
『Smart Terrace AIO』は、加工機への投入・取り出しを変種変量生産に対応したノンストップ運転する産業用ロボットのパッケージです。 加工機側のラダープログラム変更不要で、NCを選びません。 2台の加工機を対面に置いて1、2工程の加工も可能。 また、既設機に取り付けや別機械への移動もできます。 【特長】 ■段取り替えを含む自動化 ■加工機側のラダープログラム変更不要 ■NCを選ばない ■RS232C 1本で接続完了 ■省スペース化(W:2 550mm D:1 460mm H:2 200mm) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
低コストと高機能を両立したロッドタイプ単軸ロボット
■コンパクト・・・ＹＭＳシリーズのビルトインモータは、カップリングレス構造のコンパクト設計。業界同クラス最短の全長を実現しました。 ■高いメンテナンス性・・・ビルトインモータはボールネジに直接設置する構造ながら、モータのみの取り外しも可能。高いメンテナンス性を確保し、万一の場合も短時間での復旧が可能です。 ■長寿命・・・ボールネジナット部には高含油ファイバーネットによる潤滑装置、ロッド支持部には接触スクレーパを装備し、長期メンテナンスフリーを実現。分解しての給脂作業が難しいロッドタイプだからこそ長期メンテナンスフリーが重要です。更に接触スクレーパはロッド伸長時のガタツキを小さくする動きも備えています。 ■高信頼性・・・位置検出機構にレゾルバを採用し高い環境性をも備えています。 ■低価格・・・高機能ながら低価格を実現。新たにパルス列入力機能を追加した多機能コントローラＥＲＣＤと併せ、システム構築に必要な時間とコストを軽減します。 ■アブソリュート機能・・・ＥＲＣＸコントローラを組み合わせることで、電源投入時の原点復帰が不要なアブソリュート機能を使用することができます。
ヤマハ小型スカラ型ロボット YK120XGシリーズ
完全ベルトレス構造で、超小型ながら 圧倒的な高剛性・高精度を実現！ 【特徴】 ○完全ベルトレス構造 ○驚きの許容慣性モーメント ・R軸慣性モーメント0.1kgfcms2 ○抜群の位置決め精度 ・XY軸位置決め精度±0.005ｍｍ ○圧倒的なスピードでタクトアップに貢献 ・標準サイクルタイム 0.33秒 ・最高速度 3.3ｍ/sec ○最大可搬質量 1ｋｇ ○位置検出器にレゾルバ採用 ○完全アブソリュート方式 ○超コンパクトサイズで省スペース化に貢献 ○落下防止ブレーキ標準装備 ○アーム長120ｍｍ、150ｍｍ、180ｍｍのバリエーション ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
小型 ヤマハ単軸ロボット F8/C8
4列サーキュラーアークを採用で、コンパクトなのに高剛性 小型単軸ロボットの決定版！ 【特徴】 ○新たに開発した小型100WACサーボモータとリニアガイドにより小型化を実現 ○幅広4列サーキュラアーク溝式2点接触ガイドにより 高剛性・高耐久性 リニアガイドに4列サーキュラアーク溝式2点接触ガイドを採用 自動調整能力が高く、取付面の剛性や精度が低くてもスムーズに動作 異常摩耗などの故障になりにくい ○2種類のボールネジ外径、豊富なリードバリエーション 同じフレームで外径が異なる2種類の、ボールネジが選択可能 性能・用途・ご予算に合わせて最適なモデル選択可能 ○信頼性抜群のアブソシステム レゾルバ（磁気式位置検出器）を採用 シンプルで堅牢な構造で、潜在的故障箇所がきわめて少ない ○高い対環境性と低い故障率 ○万が一の故障の時にもモータ交換が簡単 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
ヤマハリニアモーター単軸ロボット MF15/MF15D
薄型コンパクト・高推力・ロングストロークのMFタイプに さらにコンパクトなMF15/MF15Dがラインナップ 【特徴】 ○高可搬・高推力 可搬質量15kg、定格推力54Nと高スペックを実現 ○高速・ロングストローク 最長ストローク4000mm、最高速度2500mm/secを実現 ○軽量コンパクト 100×80mmの中に全ての主要部品を凝縮 コンパクトで効率の良い駆動が可能 ○ダブルキャリア標準対応 ダブルキャリアタイプを標準ラインナップ 同軸上に複数のキャリアをセットでき、設置面積を省スペース化に貢献 ○コンプリートキットで即稼働 モータ・位置検出スケール・コントローラをパッケージ 購入したその日から面倒なセッティングも要らずすぐに使用可能 ○セミアブソで原点復帰不要 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
ヤマハクリーン単軸ロボット C10
単軸ロボットFILP-XCタイプに高精度・高推力の中間機種がラインナップ クリーンロボットの選択を広げる、ヤマハクリーン単軸ロボットC10 【特徴】 ○高精度 繰り返し位置決め精度は±0.01mmと従来製品と同等の精度を確保 ○容易なメンテナンス ビルトイン構造でありながら、サーボモータやボールネジ等が単体で 交換でき、メンテナンスもスムーズ ○優れた操作性 従来のヤマハコントローラの使い易さと操作性を継承 プログラム資産の活用、プログラミングボックス、パソコンの共有が可能 ○高可搬・高推力 最大可搬質量60kg最大定格推力339Nと高スペックを実現 ○完全アブソリュート方式標準採用で、原点復帰動作が不要 ○クリーン度は0.1μmベース1cf当たりCLASS 10 優れた耐久性のステンレスシートを採用 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
