更新日： 集計期間:2025年03月26日～2025年04月22日
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様々な多槽式全自動洗浄装置を取り揃えております！
当カタログは、工業用洗浄装置等を取り扱っている富士ハイテック株式会社の 多槽式全自動洗浄装置を多数掲載している製品カタログです。 独自搬送機構でコンパクト化した「全囲い型自動洗浄乾燥装置」をはじめ、 炭化水素系洗浄液・水系洗浄液、個々に対応することが可能な 「簡易囲い型自動洗浄乾燥装置」、ユニット型洗浄装置に搬送装置を 追加した自動機の「簡易囲い型自動洗浄乾燥装置（ユニット洗浄装置+ 搬送装置）」などを掲載しております。 【掲載内容】 ■多槽式全自動洗浄装置 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
エアナイフシステムによりワークを完全乾燥できる洗浄装置！
当社では、超高圧ジェットによる洗浄を行う『LCD超高圧洗浄装置』を 取り扱っております。 20MPaの超高圧ジェットで、洗浄力アップ。 その他、回転ブラシにより洗浄を行う『LCDブラシ洗浄装置』も ご用意しております。 【特長】 ■独自の搬送システムでスモールLCD（0.4t/30×30mm）基板を枚葉搬送 ■エアナイフシステムによりワークを完全乾燥 など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
【デモ機貸し出し可能！】Φ300まで対応可能なディップタイプの枚葉式洗浄装置です
本機はディップ型の枚葉処理機であり、ローダー部でワークを縦に起し、搬送ロボットで各処理を行います。 最終洗浄が終わったのち、反転機構によりワークを横に戻し、スピン乾燥を行う、カセットtoカセットの洗浄機です。 詳しくはお問い合わせ下さい。
インラインタイプの洗浄機です。
コンベヤによる横搬送からリフトダウンしワークを引き込みます。固定ノズルにより、洗浄、エアーブローを行います。 ワーク大きさは、さまざまなワークに対応しています。
通い箱に付着した汚れを取るのに最適
通い箱に付着したホコリを取るのに最適な通い箱洗浄機です。 工場間や関連企業、別部署などへの製品などの搬送過程で汚れた通い箱を装置内に通すだけで、簡単にホコリを除去することが可能です。 ※詳細・仕様は「ダウンロード」にて、ご確認下さい。
【デモ機貸し出し可能！】各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作！
カセットレス自動洗浄装置は、ワーク投入から乾燥までを一貫して行う精密洗浄処理装置です。 機器はカセットレス、ボート搬送方式を選択でき、各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致します。
【デモ機貸し出し可能！】バッチタイプ、スクラブ洗浄等多彩なオプションにて対応いたします
本機はローダーに収納されたマスクを自動的に搬送し、各処理槽を経てアンローダーに収納する装置です。 バッチタイプ、スクラブ洗浄等多彩なオプションにて対応いたします。 詳しくはお問い合わせ下さい。
2流体でウェーハを徹底洗浄します。
純水とエアーの2流体でダイシング後のウェーハ表面を洗浄する装置です。 独自開発の洗浄カップで浮遊系ダストの再付着を制御します。 ご使用用途に応じ、様々なアレンジに対応します。 【特徴】 ■搬送部をコンパクトにすることで、装置の小型化に成功 ■純水とエアーの2流体でウェーハを徹底洗浄が可能 ■歩留まりに貢献
連続搬送式でランダム投入可能！人にも環境にも優しい精密洗浄機
『APS-HQシリーズ』は、洗浄ワークを上下から洗浄することでムラのない 洗浄が可能な精密洗浄機です。 洗浄ワークは水中を貫通するため、汚れの再付着を防ぎます。 また、中高圧揺動シャワーでムラのない洗浄ができ、洗浄ワークに合った ノズルを選定いたします。 【特長】 ■上下対向超音波波振動子 ■サインジェット ■吹き飛ばし乾燥 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。
自動ライン内に設置し、搬送装置が自動でワークを搬出入します。
2種類のワークを同時にセットし、ノズルを下降し回転させながら電子ビーム前脱脂洗浄をしています。
基板を水平搬送にて、各種洗浄、乾燥処理を行います。
WETプロセス装置 枚葉基板洗浄装置は、基板を水平搬送にて、UV洗浄、ブラシ洗浄、シャワースプレー洗浄、超音波洗浄、乾燥処理を行います。 株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。 【特徴】 ○UV/O3によるシャワースプレー洗浄前の親水性を向上 ○UV洗浄/シャワースプレー洗浄/乾燥等のプロセスを並列処理 ○基板傾斜水洗機能による自然落下、置換の高効率化 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
ウェハをチャンバー内でウォータージェットにより1枚ずつ剥離分離する装置
「ウエハ剥離洗浄装置 ME-5700」は、ウエハを手動で搬送アームにセットし、チャンバー内でウォータージェットにより、1枚ずつ剥離分離後、手動で回収する装置です。外形寸法はL1300×W1200×H2100です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
ワークの表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。
ポリッシュ後の研磨スラリーを界面活性剤、純水によるスクラブ後、メガソニックスポットシャワーによるリンス、スピン乾燥までを行う枚葉装置。ワーク表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。同時に端面のスクラブ洗浄も行います。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ ： シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径 ：φ2”～φ8” 厚みについては要相談 ■透明ウエハにも対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
ワークの表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。
ポリッシュ後の研磨スラリーを界面活性剤、純水によるスクラブ後、メガソニックスポットシャワーによるリンス、スピン乾燥までを行う枚葉装置。ワーク表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。同時に端面のスクラブ洗浄も行います。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ ： シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径 ：φ2”～φ8” 厚みについては要相談 ■透明ウエハにも対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
ワークの表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。
ポリッシュ後の研磨スラリーを界面活性剤、純水によるスクラブ後、メガソニックスポットシャワーによるリンス、スピン乾燥までを行う枚葉装置。ワーク表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。同時に端面のスクラブ洗浄も行います。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ ： シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径 ：φ2”～φ8” 厚みについては要相談 ■透明ウエハにも対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
