『枚葉式洗浄装置-2』
多種多様なニーズに柔軟に対応!クリーンルーム使用の洗浄機分野で実績多数!
『枚葉式洗浄装置』は、1.5インチから10世代まで対応可能な大型セル対応の洗浄装置です。 大型化に伴い、新たな問題点(ギャップ部の洗浄・乾燥)を重点課題に、洗浄ユニット (ブラシ、HPMJ、2流体など)を組み合わせ、乾燥でもエアーナイフ、スポットナイフ、 IRなどを組み合わせることにより、より優れた洗浄と乾燥を実現しています。 また、メンテナンス性、コストパフォーマンスにおいても優れた装置になっています。 PC・テレビ等の液晶パネル、自動車ガラス、ソーラーパネル等に適しています。 【主な洗浄方式】 ■接触式:ロールブラシ、ディスクブラシ ■非接触式:中圧シャワー、高圧シャワー、2流体シャワー、 US(低周波・中周波)、MS(高周波) ■ドライ:紫外線照射(エキシマ・低圧水銀)、プラズマ照射、超音波 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:ICM株式会社
- 価格:応相談