更新日： 集計期間:2026年03月18日～2026年04月14日
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故障解析アプリケーションに適した真空環境スキャニング
『Park NX-Hivac』は、故障解析および環境の影響を受けやすい材料向けの 高真空原子間力顕微鏡(AFM)です。 高濃度ドープの半導体の正確な故障解析が可能。 また、当社のすでに認められた技術を用いることによって、高分解能で 高い再現性と操作性による低ノイズ計測を可能にした製品です。 【故障解析の為の高真空計測】 ■高速スキャンのための進化したStepScan自動機構とレーザーアライメント機構 ■マルチサンプルチャック ■Park独自の容易なチップ交換機能 ■大型真空チャンバー(300mm×420mm×320mm) ■超長距離観察を実現した直上光学顕微鏡 ■感度が向上された高真空SSRMモード ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測
AFMは、微細な探針で試料表面を走査し、ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測する手法です。 ・金属・半導体・酸化物など、絶縁体から軟質の有機物まで幅広い試料を測定可能 ・接触圧力が弱いタッピングモードを用いることで、試料ダメージを最小限に抑えることが可能
アクティブ防振内蔵！ステージ交換だけで電気化学測定や環境制御などに対応します
『CoreAFM』は、高いパフォーマンスと、どのような測定にも対応する 拡張性を兼ね備えた多機能コンパクト原子間力顕微鏡です。 トップビューカメラにより測定対象への位置合わせを容易に行うことができ、 サイドビューカメラによりカンチレバーとサンプル間の距離を目視可能。 また、カンチレバーホルダーはAFMヘッドユニットから簡単に着脱可能で、 ホルダーだけを安全に清掃したり洗浄することができます。 【特長】 ■コントローラ、電源、USBケーブルの接続ですぐに使用可能 ■高分解能24bitADC/DAC ■最大走査範囲(X,Y,Z)：100μm、100μm、12μm ■Zノイズレベル：40pm RMS値 ■液中測定を含めた32の標準測定モードと数々のオプションモードを搭載可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
自動欠陥検査機能、低ノイズ、高スループット！正確な原子間力顕微鏡をご紹介！
『Park NX-Wafer』は、欠陥のイメージングと解析を完全自動で行う AFM計測手法により、欠陥検査における生産性を1,000％向上する 原子間力顕微鏡です。 正確でハイスループットのCMPプロファイル測定のための低ノイズ 原子間力プロファイラー。 サブÅの表面粗さを極めて正確に測定し、チップ間のバラツキを最小化します。 【特長】 ■欠陥のイメージングと解析を完全自動で行うAFMソリューション ■欠陥レビューにおける生産性を最大1000％向上 ■低ノイズ原子間力プロファイラーで正確且つ高スループットなCMP計測を実現 ■非常に正確で、チップーチップ間のバラツキも最小にしたサブÅ表面粗さ計測 ■原子間力プロファイラー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
弊社が得意とする【半導体分野向けソリューション】をお客様に合わせてご提案致します！
弊社が得意としているナノオーダーの表面解析機器の他、 半導体プロセス向けのレジスト液、マスクレス露光装置をご提案致します。
コストパフォーマンスに優れた超高真空常温SPM
超高真空 (10-8Pa以下)、常温でのSTM・AFM・SNOMなど幅広い応用に対応可能な走査型プローブ顕微鏡 (SPM) システムです。 コンパクトでシンプルな構造と優れた除振機構により高分解能なSPM測定を容易に実現します。
USM1300型をコンパクトにした極低温強磁場対応SPMのミドルエンドモデル
全高が低く、操作性とコストパフォーマンスに優れた新型極低温強磁場対応SPMシステムです。AFM測定もオプションにて対応可能です。
SEMとAFMを組み合わせた相関分析！材料表面の理解がより深化
『LiteScope 2.0』は、走査電子顕微鏡に容易に統合可能な 原子間力顕微鏡です。 SEMへの搭載は容易ですぐに使用可能、かつスタンドアロンAFM としても利用可能。 FIB、GIS、EDSやその他一般的なSEMアクセサリにも互換性が あります。 【特長】 ■SEMの機能拡張 ■非常に精密な相関イメージング ■迅速かつ容易な関心領域への位置合わせ ■サンプル汚染のリスクを排除 ■2DSEM像を3Dに拡張 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
AFMにより、皮膚表面におけるナノスケールの凹凸を可視化
医薬品・化粧品の有効性・安全性試験において、近年動物実験代替法の開発が進められており、中でも三次元培養皮膚による試験方法が注目されています。本事例では、化粧品（ローション剤）の経皮吸収試験を実施した三次元培養ヒト皮膚を、AFM（原子間力顕微鏡法）で測定しました。皮膚表面の微小形状を視覚的に評価でき、また、任意の箇所の粗さを数値データで評価することも可能です。大気条件下で測定することにより、真空条件下での試料変質を抑えた観察が可能です。
CIQTEK SNVM (走査型NVセンタープローブ顕微鏡)
CIQTEK SNVM (Scanning Nitrogen-vacancy Probe Microscope) は、ダイヤモンド NV センターと AFM のイメージング技術を統合した、先進の計測機器/分析装置です。 ダイヤモンドNVセンター搭載の量子プローブによって可能になった磁気イメージング技術により、高い空間分解能と優れた感度での磁場測定が可能になります。スピントロニクス、マルチフェロイック、2D 磁性材料、超伝導体などの研究で用いられています。 常温タイプの「Ambient Version」と極低温タイプの 「Cryogenic Version」があります。
技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。
【要旨】 近年、医薬品の副作用の軽減や有効性の向上を目指し、ドラッグデリバリーシステム（DDS：Drug Delivery System）に着目した研究・開発が進められている。DDSに用いられるキャリアとして、リポソーム、高分子ミセル、無機ナノ粒子といったバイオマテリアルやDrug Conjugates（ADC等）が挙げられる。その中でも当社はリポソームの分析・評価技術の確立に注力しており、難易度が高いTEM（透過型電子顕微鏡）、AFM（原子間力顕微鏡）を中心にリポソームの分析事例を紹介する。 【目次】 １．はじめに ２．DDSによる基礎技術と各種キャリアの特徴 ３．リポソームの分析・評価事例 ４．おわりに
欠陥の特定、走査および解析の自動欠陥検査を10倍迅速化する原子間力顕微鏡システム
『Park NX-HDM』は、メディア及び基盤用の自動欠陥検査及びサブオング ストローム表面粗さ測定が可能な原子間力顕微鏡です。 広範な光学検査装置と直接リンクし、自動欠陥検査のスループットを 大幅に向上させます。 また、繰り返し測定においてもサブオングストロームの正確な 表面粗さ測定を提供します。 【特長】 ■メディアおよび基板用の自動欠陥検査 ■正確なサブオングストロームの表面粗さ測定 ■真の非接触モードによるコスト削減 ■低ノイズZ検出器による正確なAFMトポグラフィー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
表面形状の測定を短時間・簡潔に！防塵・防風用シールド、防振機構が標準搭載
『NaioAFM』は、表面形状の測定に必要な要素技術を標準搭載しつつ、 装置のセットアップやカンチレバー交換が簡単に行えるなど、 機能性と操作性を両立したコンパクトタイプの原子間力顕微鏡です。 スキャン前に必要な再チューニングやサンプルへのアプローチ、 サンプル平面の傾斜補正はソフトウェアが自動的に行うため、 サンプルにカンチレバーを近づければ、スキャンが開始されます。 【特長】 ■コントローラ、XYステージ・防風シールド・防振機構が一体化 ■高分解能トップビュー光学カメラ搭載・場所決め用サイドビュー観察 ■ニーズに応じて測定モードの追加が可能 ■お客様先に装置を持参してのデモも受付中 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 デモをご希望の方はお問い合わせフォームよりお申込み下さい。
かんたん操作でコンパクト・壊れにくい！低コストな“All-in-one”AFM装置をご紹介
『NaioAFM』は、大学や専門学校におけるナノテクノロジー教育や、 研究開発または品質管理の現場で、表面形状を短時間に簡潔に測定したい ユーザーに好適なコンパクトタイプ原子間力顕微鏡です。 当製品特有の“Flip-over”スキャンヘッドと専用交換ツールにより、短時間に そしてシンプルに、カンチレバーの交換が可能。 機能性と操作性を両立し、どなたでも、どこでも使える“All-in-one”AFM装置 として、世界中で広くご利用いただいております。 【特長】 ■コントローラ、XYステージ・防風シールド・防振機構が一体化 ■高分解能トップビュー光学カメラ搭載、場所決め用サイドビュー観察 ■ニーズに応じて測定モードの追加搭載が可能 ■シンプルなカンチレバー交換：レーザや検出器の調整不要 ■設置後すぐに測定可能：USBケーブルを接続しソフトウエアを立ち上げるだけ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
![[PFM]圧電応答顕微鏡](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/82b/2001512029/IPROS3629037656067593219.jpg?w=280&h=280)
導電性膜でコートされたプローブを用いサンプル表面に交流電圧を印加させることにより、サンプル表面を振動させ電気機械的情報を得ます
・圧電体試料の電気双極子作用による引力や斥力を画像化可能 ・圧電応答による試料の伸縮具合の定量評価は参考値 ・AFM像も同時に取得可能
≦100nm分解能 光学顕微鏡 非破壊、フルカラーで観察可能
回折限界を超えて観察ができます100nm以下の空間分解能で、ナノスケールの構造を非破壊・フルカラーで観察できます。半導体研究開発および先端材料イメージング、またはSEMやAFMの代わりとしてご使用いただけます。対物レンズのみでの販売も可能です。
デバイス特性に関わるトレンチ側壁の粗さを定量評価
近年、高耐圧デバイスの材料としてSiCが注目されています。Trench MOSFET構造は、素子の高集積化に必要であり、SiCデバイスへの応用展開が進められています。 Trench MOSFET構造のチャネル領域はトレンチ側壁であるためトレンチ側壁の平坦性がデバイスの信頼性に関わってきます。本資料ではSiC Trench MOSFETのトレンチ側壁の粗さについて、AFM（原子間力顕微鏡）を用いて定量的に評価した例を紹介します。
![[MFM]磁気力顕微鏡法](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/8b9/2000475543/IPROS6176896315983391970.jpg?w=280&h=280)
MFMは、磁性膜でコートされたプローブを用いて、サンプル表面近傍に生じている漏洩磁場を測定し、磁気情報を得る測定手法です。
・サンプルの磁気特性の情報を定性的に取得可能 ・漏洩磁場による引力・斥力をイメージング可能 ・漏洩磁場の勾配の大きさに比例した磁気力の信号を得られるが、定量評価は不可 ・AFM像の取得も同時に取得可能
![[SMM]走査型マイクロ波顕微鏡法](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/c8e/2000240833/IPROS87788558864251994557.png?w=280&h=280)
Scanning Microwave Microscopy
SMM は、導電性プローブを用いて計測試料を走査し、その凹凸形状を観察します。同時に、マイクロ波を探針から試料に照射して、その反射応答を計測することで、特に半導体の場合にはキャリア濃度に相関した信号を得ることができる手法です。SMM 信号の強度はキャリア濃度に線形に相関するため、定量性が高いことが特徴です。 ・Si デバイスの場合、1015～1020cm-3程度のキャリア濃度に感度がある ・キャリア濃度に線形に相関した信号が得られるため、仮定のもとに定量 評価(半定量)が可能 ・AFM像の取得も可能 ・Si、 SiC、 GaN、 InP、 GaAs 等の各種半導体が計測可能 この資料では、適用例や原理、データ例などを紹介しています。 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
イオン注入後のアニール条件の違いによる差異を確認
酸化ガリウムGa2O3は、SiCやGaNよりもバンドギャップが広く、優れた物性を有することから、高効率・低コストが期待できるパワーデバイス材料として注目を集めています。デバイスの開発には、特性を左右する不純物濃度や結晶性の制御が重要です。本資料では、イオン注入による結晶構造の乱れから生じるダメージ層及び表面粗さの変化を、アニール条件毎に観察した結果を示します。 測定法：TEM・AFM 製品分野：酸化物半導体・パワーデバイス 分析目的：形状評価・構造評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
前処理・分析技術を駆使して課題解決！種々の材料解析と分析評価で開発を支えます
当社は、データ解析(AI/機械学習等)を活用し、製品の付加価値向上や 業務改善をサポートいたします。 目前にある課題やお困りごとを、材料開発、分析、データ解析の専門家が スピーディーに解決。 専門家集団がプロジェクトを組みワンストップでご要望にお応えします。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【当社の主な保有設備】 ■FE-TEMTEM(3D、プリセッション)、FE-SEM 、FE-EPMA ■FT-IR、ラマン、NMR、AFM、レーザー顕微鏡 ■X線CT、XPS、XRF、XRD ■TG/DTA(水蒸気ガス化)、DSC ■GC(MS)、LC(MS)、TOFMS、HPLC、IC、ICP、GPC、DART、AAS ■VMS等各種磁気測定装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【日本版カタログ進呈中】低コスト・高機能・短納期が可能な新製品！当社が取り扱う原子間力顕微鏡をご紹介！
『Park NX7』は、Park Systemsが持つ新技術がすべて搭載されており、 かつお手頃な価格でお求め頂けます。 当製品は細部に至るまで上位モデル同様に設計されており、 研究を促進することが可能。 また、ボーイングのないフラットな直交XYスキャンができます。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■拡張性の高いAFMソリューション ■ボーイングのないフラットな直交XYスキャン ■低ノイズZ検出器 ■True Non Contactモードによるチップの寿命、 サンプルの保存、繰り返し精度の向上 ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
30nmから5μmの切片作製が可能！材料系解析事例を複数ご紹介した資料です！
当資料は、株式会社花市電子顕微鏡技術研究所が行った材料系解析を まとめた事例集です。 「ウルトラミクロトーム」では、生物組織、金属メッキ層や無機蒸着 層を含む複合材料、ナノ粒子など幅広い分野における高品質な超薄切片 および断面作製に適応可能です。 当社では、受託分析を始めました。協力機関とタイアップして材料分析を 実施致します。 【掲載事例】 ■リポソームの構造解析 ■HIPSの構造解析 ■レンズ断面の構造解析 ■菓子袋の断面観察 ■分散法による金属粒子の形態観察（金属微粒子/金属担持カーボン） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【ハイエンドモデル】高感度・高波数分解能・高拡張性を持つ最高レベルの顕微ラマン分光装置
【特長】 ・高空間分解能 ： XY < 300 nm、Z < 600 nm (@532 nm) ・高波数分解能 ・高速イメージングモード ： ガルバノスキャン 1000ｘ1000ピクセル/3秒 ・自動化機能 ： レーザー出力、ビーム径、ピンホールサイズ、グレーティングの切り替えなど ・高拡張性 ： CARSモデル、AFMラマン/TERS、蛍光寿命測定、オートフォーカス機能、SERS基板 など ・低波数ラマン測定オプション ・ブリルアン散乱(ブリュアン散乱)測定オプション 共焦点ピンホールなどの一連の光学配置を自動切り替え可能であり、共焦点光学配置を持つ本装置は、微小粒子のスペクトル分析または高空間分解能を有するマクロ物体のラマンイメージングを行なうことを可能にします。 豊富な機能追加オプションがあり、拡張性に優れたラマン顕微鏡です。
何処にでも連れて行ける奥行き幅、共に１５ｃｍの超小型ＡＦＭ
原子間力顕微鏡「ハンディＡＦＭ」は、高倍率の光学顕微鏡の変わりに使用できます。測定モードも標準で、スタティックフォースモード、ダイナミックフォースモード、フェイズコントラスト、位相測定、フォースモデュレーション、スプレッディングレジスタンス、外部入力が可能です。走査ヘッドは、高分解能、広域タイプの２種類が選択でき、その交換も、瞬時に行えます。プローブの交換も数秒です、交換後の調整は全く必要有りません。また、カーボンナノチューブプローブもオートアプローチが可能です。スキャンに電磁スキャナー（特許取得済み）を使用することにより、スキャン時にワークを移動させることが有りません。一般にＡＦＭで使用されているピエゾの持つ、非線形クリープ、経年変化は有りません。オプションで、小型の自動ステージとの組み合わせも可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
光熱励振を用いたオフレゾナンス測定モード「WaveMode」搭載！高い安定性と性能を実現します！
『DriveAFM』は、マテリアルサイエンス・ライフサイエンス両者において 劇的に研究を加速させるハイパフォーマンス原子間力顕微鏡です。 原子分解能での高速イメージングを可能にしつつ、100μmという非常に広いスキャン範囲をカバー。液中においても高い安定性を誇ります。 「WaveMode」により20倍以上の速度でオフレゾナンス測定が可能で、1視野の撮像にかかる時間は1分以下となっています。 【特長】 ■独自技術「Direct drive」ピエゾスキャナによる広範囲かつ高分解能スキャニング ■Nanosurf社独自開発の光熱励振を用いたオフレゾナンスモード「WaveMode」 ■WaveModeはポリマーのような柔らかいサンプルにおいても有用 ■カンチレバーの光熱励振「Clean-Drive」搭載 ■DNAの周期的な二重らせん構造を明確にイメージングできる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
非破壊でナノメートル以下迄の３次元測定が可能な唯一の顕微鏡
原子間力顕微鏡「ステージ付ＡＦＭ」は、大気中にて、非破壊でナノメートル以下迄の３次元測定が可能な唯一の顕微鏡です。サンプルを傷つけることなく、測定が可能です。電磁スキャナーを使用することにより、非戦形クリープや経年変化を気にせず、長期に渡り安定測定が可能になりました。大型ステージ付きで、ワークを切断することなく、サンプルをセットするだけで非破壊で測定可能です。測定モードも多種用意されており、高価なＡＦＭ装置と同等の機能を有します。測定ワークの材質に関係無く、導体から絶縁体迄、コーティング無しで、ナノレベルの測定が直ぐに可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
表面測定機器＆ツールの世界市場：原子間力顕微鏡（AFM）、スタイラスプロフィロメーター、3D光学顕微鏡、機械テスター、光 ...
本調査レポート（Global Surface Measurement Equipment and Tools Market）は、表面測定機器＆ツールのグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界の表面測定機器＆ツール市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規模、主要地域別市場規模、流通チャネル分析などの情報を収録しています。 表面測定機器＆ツール市場の種類別（By Type）のセグメントは、原子間力顕微鏡（AFM）、スタイラスプロフィロメーター、3D光学顕微鏡、機械テスター、光学座標測定機を対象にしており、用途別（By Application）のセグメントは、光学、自動車、電気・電子、その他を対象にしています。地域別セグメントは、北米、アメリカ、ヨーロッパ、アジア太平洋、日本、中国、インド、韓国、東南アジア、南米、中東、アフリカなどに区分して、表面測定機器＆ツールの市場規模を算出しました。 主要企業の表面測定機器＆ツール市場シェア、製品・事業概要、販売実績なども掲載しています。
いろんな会社に見積依頼？そんなことはもう必要ありません。豊富な知識とチャンネルを有する当社が最良のメーカーをご提案いたします。
当社では、豊富な知識とチャンネルで御社に適したメーカーをご提案する 分析価格の比較サイト『分析アイミツ.com』を展開しております。 いろんな会社に見積依頼をする必要はもうありません。 まずはお気軽にご相談ください。 【分析手法】 光学顕微鏡/レーザー顕微鏡/SEM/3D-SEM/in-situ SEM/TEM（STEM）/3D-TEM/ in-situ TEM/XPS/EPMA/AES/TOF-SIMS/D-SIMS/GD-OES/GD-MS/LA-ICP-MS/ XRF/XRD/in-situ XRD/X線CT/３D－X線CT/XAFS/中性子回析/HAXPES/IR/イメージングIR/ NMR/ガスクロマトグラフ（GC-MS）/液体クロマトグラフ（HPLC）/ICP-MS/ICP-AES/ イオンクロマトグラフ（IC）/IC-MS/TG/DTA/AFM/ナノインデンテーション/FT-IR/ ラマン散乱分光/EBSD/SAT/TMA/IR-OBIRCH/EMS/DSC/GPC 等 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
